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蘇州砷化鎵晶圓切割廠

來源: 發布時間:2025-07-21

中清航科創新性推出“激光預劃+機械精切”復合方案:先以激光在晶圓表面形成引導槽,再用超薄刀片完成切割。此工藝結合激光精度與刀切效率,解決化合物半導體(如GaAs、SiC)的脆性開裂問題,加工成本較純激光方案降低35%。大尺寸晶圓切割面臨翹曲變形、應力集中等痛點。中清航科全自動切割機配備多軸聯動補償系統,通過實時監測晶圓形變動態調整切割參數。搭配吸附托盤,將12英寸晶圓平整度誤差控制在±2μm內,支持3D NAND多層堆疊結構加工。中清航科切割工藝白皮書下載量超10萬次,成行業參考標準。蘇州砷化鎵晶圓切割廠

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隨著半導體市場需求的快速變化,產品迭代周期不斷縮短,這對晶圓切割的快速響應能力提出更高要求。中清航科建立了快速工藝開發團隊,承諾在收到客戶新樣品后 72 小時內完成切割工藝驗證,并提供工藝報告與樣品測試數據,幫助客戶加速新產品研發進程,搶占市場先機。晶圓切割設備的操作安全性至關重要,中清航科嚴格遵循 SEMI S2 安全標準,在設備設計中融入多重安全保護機制。包括激光安全聯鎖、急停按鈕、防護門檢測、過載保護等,同時配備安全警示系統,實時顯示設備運行狀態與潛在風險,確保操作人員的人身安全與設備的安全運行。宿遷砷化鎵晶圓切割測試晶圓切割后清洗設備中清航科專利設計,殘留顆粒<5個/片。

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中清航科注重與科研機構的合作創新,與國內多所高校共建半導體切割技術聯合實驗室。圍繞晶圓切割的前沿技術開展研究,如原子層切割、超高頻激光切割等,已申請發明專利 50 余項,其中 “一種基于飛秒激光的晶圓超精細切割方法” 獲得國家發明專利金獎,推動行業技術進步。晶圓切割設備的軟件系統是其智能化的中心,中清航科自主開發了切割控制軟件,具備友好的人機交互界面與強大的功能。支持多種格式的晶圓版圖文件導入,可自動生成切割路徑,同時提供離線編程功能,可在不影響設備運行的情況下完成新程序的編制與模擬,提高設備利用率。

面向磁傳感器制造,中清航科開發超導磁懸浮切割臺。晶圓在強磁場(0.5T)下懸浮,消除機械接觸應力,切割后磁疇結構畸變率<0.3%,靈敏度波動控制在±0.5%。中清航科電化學回收裝置從切割廢水中提取金/銅/錫等金屬,純度達99.95%。單條產線年回收貴金屬價值超$80萬,回收水符合SEMI F78標準,實現零廢液排放。針對HJT電池脆弱電極層,中清航科采用熱激光控制技術(LCT)。紅外激光精確加熱切割區至200℃,降低材料脆性,電池效率損失<0.1%,碎片率控制在0.2%以內。




中清航科切割實驗室開放合作,已助力30家企業工藝升級。

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針對小批量多品種的研發型生產需求,中清航科提供柔性化切割解決方案。其模塊化設計的切割設備可在 30 分鐘內完成不同規格晶圓的換型調整,配合云端工藝數據庫,存儲超過 1000 種標準工藝參數,工程師可快速調用并微調,大幅縮短新產品導入周期,為科研機構與初創企業提供靈活高效的加工支持。晶圓切割后的檢測環節直接關系到后續封裝的質量。中清航科將 AI 視覺檢測技術與切割設備深度融合,通過深度學習算法自動識別切割面的微裂紋、缺口等缺陷,檢測精度達 0.5μm,檢測速度提升至每秒 300 個 Die,實現切割與檢測的一體化流程,避免不良品流入下道工序造成的浪費。晶圓切割MES系統中清航科定制,實時追蹤每片切割工藝參數。蘇州砷化鎵晶圓切割廠

中清航科全自動切割線配備AI視覺定位,精度達±1.5μm。蘇州砷化鎵晶圓切割廠

通過拉曼光譜掃描切割道,中清航科提供殘余應力分布云圖(分辨率5μm),并推薦退火工藝參數。幫助客戶將芯片翹曲風險降低70%,服務已用于10家頭部IDM企業。中清航科技術結合機械切割速度與激光切割精度:對硬質區采用刀切,對脆弱區域切換激光加工。動態切換時間<0.1秒,兼容復雜芯片結構,加工成本降低28%。舊設備切割精度不足?中清航科提供主軸/視覺/控制系統三大模塊升級包。更換高剛性主軸(跳動<0.5μm)+12MP智能相機,精度從±10μm提升至±2μm,改造成本只為新機30%。蘇州砷化鎵晶圓切割廠

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