加工陶瓷吸盤要注意什么?陶瓷吸盤因為其硬度高、耐磨、耐腐蝕等諸多優良特性,在各領域中得到了普遍使用。隨著技術發展,各種新型特種陶瓷也漸漸進入大家的視野,現在特種陶瓷已成為良好的結構材料和功能材料。它們具有比傳統陶瓷更高的耐溫性能,力學性能,特殊的電性能和優異的耐化學性能。而陶瓷吸盤其本身材料就是特種陶瓷之一——氧化鋯陶瓷。氧化鋯陶瓷是一種新型高技術陶瓷,除了有強度高的、硬度、耐高溫、耐酸堿腐蝕及高化學穩定性等性質,同時還具有抗刮耐磨、散熱性能優良等特點,這一系列的特點,導致其在加工過程中難度直線上升。氧化鋯陶瓷的硬度可以說是只次于金剛石,所以不能用加工普通金屬的方法去加工氧化鋯陶瓷。陶瓷吸盤加工精度高,光潔度好,因為陶瓷吸盤當工件在加工過程中發熱而變形時,能夠自由伸長。上海陶瓷吸盤
在進行解鍵合工藝時會用多孔吸盤來吸附100um厚度的半導體晶圓,此項工藝作業時會將鍵合粘結劑與鍵合wafer上的金屬殘留在多孔吸盤上。殘留的有機粘結劑雜質在溫度120℃時處于完全液態,易被吸附進多孔吸盤的孔洞內,而其中無機物金屬顆粒(例如ni-auge合金)通常是附著在多孔吸盤的表層。有機粘結劑在加熱狀態下液化,受真空吸附力影響會流動到多孔吸盤的孔洞內,金屬顆粒會在此加熱狀態下進行一定程度延展拉伸式的合金化,合金化金屬結合力會增強,從而造成有機粘結劑在多孔吸盤的孔洞內和表面存在,合金化金屬覆蓋在有機粘結劑表面并將有機粘結劑進行包裹。廣州精密陶瓷吸盤供貨報價陶容吸盤又稱多孔陶瓷,同時稱之為納米微孔真空吸盤。
傳統的陶瓷吸盤都是一體式結構,直接安裝在工作臺上。在晶片磨削過程中,往往伴隨著大量顆粒和污水,并且會進入吸盤和工作臺之間,造成精度誤差;在晶圓拋光和清洗過程中,拋光液和水霧進入工作臺,還會引起設備的腐蝕生銹;在晶片的加工中,由于碎片導致工作臺堵塞會影響設備運轉,極大地降低了生產效率。然而,當發生以上設備常見問題時,傳統的一體式真空吸盤,拆卸清理維修時又必須將整個吸盤,以及連接在吸盤上的各種真空接頭,管路一起拆卸,極為不便。并且由于一體式的結構,防水布置困難,易發生工作臺系統腐蝕生銹,也難以局部更換。
陶瓷吸盤是利用真空吸附原理固定工件的承載平臺,經過特殊的納米粉體工藝制作而成,通過高溫燒結在材料內部彼此連接或閉合。公司生產的微孔陶瓷吸盤可以和國內外主流設備配套使用,具有優越的性能。陶瓷吸盤的主要特點:孔徑分布均勻,組織致密均勻,顆粒粗細均勻,透氣性好,吸附力均勻,表面光滑平整。多種孔徑規格可選,方形\圓形可選。可加工2英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸、12英寸半導體片,可配套減薄機、劃片機、清洗機等設備。陶瓷吸盤的基本尺寸精度可以控制在0.01mm左右。
陶瓷真空吸盤的吸附性能隨孔徑的變化而變化。對于超微孔陶瓷和超微孔陶瓷,孔徑是分子直徑的幾倍。在吸附過程中,孔壁圍繞著被吸附的分子,孔中的范德華力非常強;對于中孔和大孔,孔徑比吸附分子的直徑大10倍以上,并且發生典型的毛細管冷凝。根據孔隙的形狀,有時會出現吸附滯后等一系列現象。為了正確分析材料孔隙體積和孔徑,需要對材料孔隙結構有清楚的了解,選擇正確的預處理方法(溫度、大氣、真空等)和適當的分析模型,然后獲得準確科學的實驗結果。由于其特殊的結構,對多孔陶瓷材料具有高比表面積、高孔隙率、高吸附性等許多優異的物理化學性能,普遍應用于半導體、化工、環保、功能材料等領域。氣體吸附是表征多孔材料孔隙結構的重要方法之一。多孔陶瓷真空吸盤是密封的空氣來維持傳輸,裝置應用于平坦,無孔表面的工作平臺。深圳碳化硅多孔陶瓷吸盤供應費用
陶瓷吸盤主要材料包括95-99.9%氧化鋁,氧化鋯,以及氮化硅,碳化硅,氮化鈦陶瓷。上海陶瓷吸盤
微孔陶瓷吸盤在防腐蝕,抗氧化,抗冷熱沖擊這幾方面擁有的優勢:微孔陶瓷吸盤的熱容量小,它本身不蓄熱,可以直接散熱,微孔陶瓷吸盤不會像金屬散熱片一樣形成“熱 階梯”,影響它的散熱性能。微孔陶瓷吸盤比較大的特點,它本身就是微孔洞的結構,這種工件增加了與空氣接觸的面積,可以大幅度增強它的散熱性效果,同比條件下,微孔陶瓷材料的散熱效果比超銅、鋁,密閉環境下,主動輻射散熱能力8.8倍與金屬材料,散熱優勢更加明顯。微孔陶瓷吸盤本身具備有絕緣、耐高溫、抗氧化、耐酸堿、耐冷熱沖擊、熱膨脹系數低,從而還保證了在高低溫環境或者其他惡劣環境下陶瓷散熱片的穩定性。上海陶瓷吸盤
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