HMDS預處理系統的必要性：在半導體生產工藝中，光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節，涂膠質量直接影響到光刻的質量，涂膠工藝顯得更為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導致光刻圖形轉移的失敗，同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水，其疏水基可很好地與光刻膠結合，起著偶聯劑的作用。無氧化烤箱QMO-2DSF(整機304）。連云港恒溫工業烤箱價格
首先確定烘箱工作溫度。典型的預處理程序為：打開真空泵抽真空，待腔內真空度達到某一高真空度后，開始充入氮氣，充到某低真空度后，再次進行抽真空、充入氮氣的過程，到達設定的充入氮氣次數后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達設定時間后，停止充入HMDS藥液，進入保持階段，使硅片充分與HMDS反應。當達到設定的保持時間后，再次開始抽真空。充入氮氣，完成整個作業過程。HMDS與硅片反應機理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個反應持續到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進一步反應。相城區熱風循環工業烤箱市場精密送風循環烘干爐。
八.品管:1.重要五金配件.2.電控元件.3.生產物料經嚴格檢驗后入倉,投入使用.4.設備制造過程中,由工程師現場監制,質量有保障.九.環保:1.采用質量環保保溫制品.環保,無污染.2.噪音小.3.涂料中不含鉛等有害成分成份.非常感謝您的詢價，以上是我司規劃設備的資料。希望早日得到您的確認，如有任何問題，請聯系我們。
一、設備簡介：1.設備用途：本設備為冰水冷風急冷段生產線，用于產品制程后的恒溫處理。2.使得產品具有均勻一致的數據要求.3.設計、制造、安裝調試的技術標準和相關標準：產品在設計、制造、安裝調試驗收過程中，按照客戶的要求，在局限的空間和時間做出品質的性能.總功率：3P380V12KW/H電源：AC380V三相五線控制方式：SSR+PID進料高度：120MM內高度：320MM循環風機：1臺1/2HP（手動變頻調節）二、設備詳細需求：1.產品尺寸：用于將高密度聚乙烯片材，2米長度，20秒，可以恒溫設定，使用冰水機和加熱雙向調節。
二.溫度范圍:1.最高溫度：60℃2.使用溫度：50℃三．機器精度:儀表控制精度:±0.3全刻度.溫度分布均勻度:±5~10℃.(空爐測量恒溫段有效區域內為準)配置熱風循環（手動變頻調節）四.機械板金結構：1.內部材質：SUS1.0t不銹鋼板.2.外部材質:SS41+粉體金屬漆。3.保溫材質:高溫耐熱巖棉(最高耐溫700℃)。4.烘干爐設有排氣系統，及時將爐內廢氣排出爐外，可調節大小。五.加熱系統:1.采用不銹鋼，均布式平面布局，保證均溫性.2.完全單獨系統，不影響控制線路.六.電路控制系統:1.PID溫度控制器。2.溫度傳感器采用KTYPE.3.無熔絲電源開關，鐵線槽堅固耐用.4.控制系統附電源燈、風車指示燈，加熱指示燈…….七.安全保護系統:1.附有施耐德無熔絲保護開關.2.超溫控制超過設定最大值,自動斷電.3.控制器超溫控制接點+蜂鳴.4.控制線路電源加裝保險絲.網鏈式還原氣氛隧道爐。
十、設備各部分配置10-1．數量1個溫度正常使用45度，MAX60度。機臺體結構內有效尺寸（W*H*D）材質1.爐膛采用全不銹鋼爐膛，巖棉保溫，具有升溫快，節能等特點2.不銹鋼爐膛內箱干凈，抗腐蝕，便于清理3.外部采用冷板加烤漆，外觀整潔送風系統方式1.專業的送風，排風系統，確保爐膛溫度均勻。2.熱風循環溫度均勻，換熱迅速，廢氣帶出及時。加熱系統溫控器1.采用PID+SSR控制2.多點溫度實時監測，工作室的溫度工藝容易掌握加熱器◇箱體上部安裝加熱管。◇加熱管材質為，不銹鋼304加熱器。10-5．電器控制控制柜位于爐體的右側，內裝空氣開關、（日本歐姆龍）繼電器、等主控電器控制電路。控制面板控制面板安裝加熱開關，送風開關、溫度控制器、故障報警燈等。操作面板上可以設定所有的參數及控制狀態；若不正常，有聲或光報警并可控制加熱器、馬達等停止工作。備注◇發熱管的安裝應考慮維修方便。◇布線整齊，電線都放入線槽內；并標明線號。◇所有電線接頭用線耳方式銜接。步入式精密送風循環烤箱。揚州無塵工業烤箱生產廠家
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15米連續式烘烤爐規格書（燃氣加熱）規範書昆山臺上品工業自動化有限公司一、設備簡介：1.設備用途：本設備為連續式表面烘干生產線，用于產品制程后的烘干和輸送。2.干燥后的產品具有均勻一致的數據要求.3.設計、制造、安裝調試的技術標準和相關標準：產品在設計、制造、安裝調試驗收過程中，按照客戶的要求，在局限的空間和時間做出***的性能.總功率：3P380V5KW/H電源：AC380V三相五線控制方式：SSR+PID進料高度：400MM爐內高度：450MM加熱功率：5萬大卡循環風機：1臺風量4000CMH，壓力1000Pa耗能：1.燃燒機用燃氣比較大6立方每小時，保溫燃氣在30~50%。約1.8立方到3立方每小時，試實際工況而定。2.設備電力功耗：比較大5KW/H.連云港恒溫工業烤箱價格
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