首先確定烘箱工作溫度。典型的預處理程序為：打開真空泵抽真空，待腔內真空度達到某一高真空度后，開始充入氮氣，充到某低真空度后，再次進行抽真空、充入氮氣的過程，到達設定的充入氮氣次數后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達設定時間后，停止充入HMDS藥液，進入保持階段，使硅片充分與HMDS反應。當達到設定的保持時間后，再次開始抽真空。充入氮氣，完成整個作業過程。HMDS與硅片反應機理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個反應持續到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進一步反應。雙門雙控烤箱SCMO-8WS。上海省電工業烤箱商家

無塵烘箱雙門雙控XSTS-940*2規格書一、箱體結構尺寸1.內尺寸（W*D*H）mm： 2室2.外尺寸（W*D*H）mm：按照實際尺寸3.控制器：位于機臺右部4.門、門扣：雙門，由中間往兩邊開5.內膽材質：質量不銹鋼鏡面板6.外箱材質：冷板靜電粉末烤漆（米白色）7.保溫材質：采用質量高溫耐熱巖棉（最高耐溫700℃），保溫性能佳，節能省電，環保無污染8.爐門保溫材質：高溫耐熱巖棉（最高耐溫700℃），配備硅膠門條，有效防止熱量流失，保持溫度平穩，節能效果佳9.底部配可調節的腳杯和可移動的腳輪10.箱體各2支凹槽，方便千層架進出（千層架由客戶自備）11.內部背后設置防撞裝置電子工業烤箱生產廠家蘇州自動化隧道爐（標準）。

六、電源裝置1.電壓：三相380V五線制50Hz2.功率/電流：40KW（80A）3.電器組件：采用中國臺灣臺安與中國臺灣天得，日本歐姆龍中間繼電器4.電源引線：由客戶自備七、安全保護系統1.高溫保護系統：當由于外力原因導致溫度失控時，本系統會在超過設定溫度10度時自動停止加熱，從而保護你的產品及機器的安全。2.過流保護系統：當由于外加電壓過高或其它原因導致整機的功率超出正常功率時，本系統會自動斷電保護整機的工控組件不被損壞。八、安裝場地要求1.烘箱左右后側距離墻壁不得小于600mm，用戶須提供的配電開關并負責設備外部的電源連接。2.正常工作環境條件：（1溫度：5℃~45℃（2相對濕度：不大于85%（3周圍無強烈的振動和氣流存在（4電源：三相交流380±38V，頻率：50±10Hz（5無腐蝕性氣體存在3.請務必接地4.不能在箱內烘烤易燃易爆物品，可燃氣體及性物品九、其它1.保固期：整機1年(天災、電力異常、人為使用不當、保養不當造成的損壞外，本公司完全免費維修)。電話響應時間1小時，售后服務到達到現場響應時間為24小時。2.出貨文件：機器規格書，儀表操作說明書，電氣圖，機臺的操作說明書（含日常維護保養，簡易故障的排除）。

四、設備說明及結構設計1、工作原理步進式砂芯烘烤爐採用風路佈置管道的方式，即通過風機將外部新鮮空氣經燃氣燃燒機加熱後，送到預先佈設的加熱風管，熱空氣進入到烘烤爐內，自頂部吹進烘烤爐，除吸進少量新鮮空氣外，絕大部分熱空氣通過迴圈被繼續加熱利用，送入到烘烤爐內部，使得烘烤爐內溫度逐步升高，當溫度達到設定溫度時，燃氣燃燒機自動調節大小火，使烤房內溫度保持恒定。2設備總成l本烘烤爐的烘乾功能，且烘乾時具有自動升溫、恒溫定時、以及具有運風。該設備由爐體、迴圈風機系統、加熱系統、安全系統及電控系統等組成。（選配：過濾系統、廢氣處理系統）3設備說明3.1烘烤爐系統：烘烤爐主體材料必須具有保溫性能好，密封性能優越的優點。3.1.1烘烤爐保溫結構的側板和頂板外板均為鋼板，用型鋼做骨架保證室體的強度。烘烤爐壁板選用複合巖棉保溫板，板厚150mm，室體底部採用巖棉上設高品質耐溫鍍鋅板。其內外面層為彩鍍鋼板，中間填充巖棉保溫材料，整體結構牢固可靠、外形美觀、保溫效果好，不會因受熱而發生形變，設備使用壽命長。3.1.2結構裝置：烘烤爐為通過式，多層結構，在烘烤爐的二端設閘門，很大程度節能，降低成本，材料與側板同質。精密送風循環隧道爐。

10-5．電器控制控制柜位于爐體的右側（顏色平光白），內裝空氣開關、（日本歐姆龍）繼電器、等主控電器控制電路?？刂泼姘蹇刂泼姘灏惭b加熱開關，送風開關、溫度控制器YUDIAN、故障報警燈等。操作面板上可以設定所有的參數及控制狀態；若不正常，有聲或光報警并可控制加熱器、馬達等停止工作。備注◇發熱管的安裝應考慮維修方便?！蟛季€整齊，電線都放入線槽內；并標明線號?！笏须娋€接頭用線耳方式銜接。十一、主要用料說明：11-1．保溫墻體為硅酸鋁棉隔熱材料，主體為冷板、鍍鋅板、不銹鋼材料組成。外板為SS415.0T&2.0T&1.5T電箱為SS411.2T其他材料為SUS1.0T&2.0T&3.0T耐熱不銹鋼。結構穩固、耐用。11-2．電機為“德東”電機。11-4．溫控器程序表為“YUDIAN”系列產品。11-5．接觸器為中國臺灣“東元”系列產品。11-7．中間繼電器、“歐姆龍”系列產品。11-8.空開為質量“正泰”系列產品。11-9．其它主輔助元器件均采用品牌質量件。十二、設備其它各段及通用技術規格:12-2.所有風機、馬達都標有旋轉方向。12-3.設備應有緊急和異常報警裝置。12-4.加熱功率、尺寸及整體設計方案均保證清洗效果達到廠家要求，保證生產能力達到廠家要求。石墨烯應用技術隧道爐。常熟重型工業烤箱商家

半導體無塵烤箱MOL-2DS。上海省電工業烤箱商家

不管是現在還是未來，工業烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐都不會過時，因為工業烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐所涵蓋的范圍比較寬泛，能夠為個人家庭、工廠生產、商業建設、家庭裝修裝飾等各個領域提供諸多的產品與服務，因此機械行業的未來發展前景相當不錯，可以作為一項長遠的事業來加入進去。行業內生產型企業普遍通過增加科技加入、提高產品科技含量的方式提升產品性能和質量，擺脫同質化困境，以期在日益激烈的市場競爭中占據主動。這一情況客觀推動了我國工程機械技術水平的提升，自主品牌企業競爭力得到增強。生產型企業圍繞生產源頭、制造過程和產品性能三個方面加強科技研發，應用制造工藝，實現綠色制造。推廣節能低碳技術，采用制造工藝，發展循環經濟，形成低加入、低消耗、低排放的業態模式，實現低碳制造。加快推進人工智能技術、機器人技術、物聯網技術在機械工業全過程中的應用，促進生產過程的數字化操控、模仿優化、狀態實時監測和自適應操控，從而提高產品的智能化水平，使工業烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐工業產業鏈水平由中低端向中高環節邁進。上海省電工業烤箱商家

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