HMDS預處理系統的原理：HMDS預處理系統通過對烘箱HMDS預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。HMDS預處理系統的一般工作流程：首先確定烘箱工作溫度。典型的預處理程序為：打開真空泵抽真空，待腔內真空度達到某一高真空度后，開始充入氮氣，充到某低真空度后，再次進行抽真空、充入氮氣的過程，到達設定的充入氮氣次數后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達設定時間后，停止充入HMDS藥液，進入保持階段，使硅片充分與HMDS反應。當達到設定的保持時間后，再次開始抽真空。充入氮氣，完成整個作業過程。HMDS與硅片反應機理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個反應持續到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進一步反應。熱處理高溫熱風循環烤箱。太倉工業工業烤箱行價

材質1.爐膛采用全不銹鋼爐膛，棉保溫，具有升溫快，節能等特點2.不銹鋼爐膛內箱干凈，抗腐蝕，便于清理3.外部采用冷板加烤漆，外觀整潔送風系統方式1.專業的送風，排風系統，確保爐膛溫度均勻。2.熱風循環溫度均勻，換熱迅速，廢氣帶出及時。加熱系統溫控器1.采用PID+SSR控制2.多點溫度實時監測，工作室的溫度工藝容易掌握加熱器◇箱體上部安裝加熱管。◇加熱管材質為，不銹鋼304加熱器。材質1.爐膛采用全不銹鋼爐膛，棉保溫，具有升溫快，節能等特點2.不銹鋼爐膛內箱干凈，抗腐蝕，便于清理3.外部采用冷板加烤漆，外觀整潔送風系統方式1.專業的送風，排風系統，確保爐膛溫度均勻。2.熱風循環溫度均勻，換熱迅速，廢氣帶出及時。加熱系統溫控器1.采用PID+SSR控制2.多點溫度實時監測，工作室的溫度工藝容易掌握加熱器◇箱體上部安裝加熱管。◇加熱管材質為，不銹鋼304加熱器。省電工業烤箱費用高溫中溫低溫箱式氣氛爐。

以上圖作為參考示意，實際制作依后續設計為準。回流滾筒線：1000L*1048W*800H數量:1條1、輸送線支架焊接框架結構，鏈條拖動滾筒輸送方式;2、線體支架采用8#槽鋼支架焊接,表面油漆處理;3、線體橫梁支架8#槽鋼制作，與支架螺絲連接固定。4、輸送滾筒采用鍍鋅滾筒，一端配置雙鏈鏈輪傳動;5、滾筒上安裝導向輪邊，直徑120MM，滾筒間距266.7MM;6、滾筒之間傳動采用12A滾子鏈條傳動7、輸送寬度:910MM,滾筒總長約960MM;8、動力采用0.37KW齒輪減速馬達驅動，動力布置滾筒下方;9、電機使用歐邦/東元馬達，馬達配套減速機使用。10、滾筒線輸送速度約5米/分鐘，可以采用變頻調速。樣式參考下圖以上圖作為參考示意，實際制作依后續設計為準。兩端移載小車1000L*1048W行程2500MM。數量:2臺.1、輸送線支架焊接框架結構，鏈條拖動滾筒輸送方式;2、輸送軌道機身采用8#槽鋼支架焊接制作,表面烤漆處理;3、輸送滾筒采用鍍鋅滾筒，一端配置雙鏈鏈輪傳動;4、滾筒上安裝導向輪邊，直徑120MM，滾筒間距257MM;5、滾筒之間傳動采用12A滾子鏈條傳動

培訓工作將分為二個階段：①基礎培訓階段基礎培訓在買方所在地進行，主要培訓以下內容：對操作人員及維修人員講解有關專業基礎知識；詳細講解各系統工作原理；各系統的使用、維護及有關注意事項。②現場培訓現場培訓在買方設備現場進行，主要培訓以下內容：對照設備講解各系統工作原理；進行實際操作、維護講解；設備安裝調試階段，使用者可派人參加調試，為今後熟練的操作、維護創造良好的條件。5.4賣方為買方提供設備的操作和維護規範。6、安裝調試與驗收6.1本次買方負責基礎製作，賣方在合同生效10日內提供設備基礎設施圖，並負責施工的技術指導；賣方負責設備安裝調試，買方提供必要的配合。6.2賣方工作人員在現場安裝調試服從買方的管理，遵守買方的廠紀廠規。否則買方有權停止賣方的工作，並有權要求賣方更換工作人員。6.3設備安裝調試後，由買賣雙方依據國家有關標準和技術要求共同對設備外觀、安裝品質進行檢查驗收，設備整體性能參數和各個零部件要達到驗收標準，達到驗收標準方可以正式交付使用。7、裝運在現場基礎做好後，需方通知供方發貨并現場施工，運輸方式為由供方用汽車輸送到需方指定場地，費用包含在總價內。精密送風循環隧道烤箱。

以上圖作為參考示意，實際制作依后續設計為準。兩側銜接緩沖滾筒線：1000L*1048W*800-1280H數量:2條1、輸送線支架焊接框架結構，鏈條拖動滾筒輸送方式;2、線體支架采用8#槽鋼支架焊接,表面油漆處理;3、線體橫梁支架8#槽鋼制作，與支架螺絲連接固定。4、輸送滾筒采用鍍鋅滾筒，一端配置雙鏈鏈輪傳動;5、滾筒上安裝導向輪邊，直徑120MM,滾筒間距257MM;6、滾筒之間傳動采用12A滾子鏈條傳動7、輸送寬度:810MM,滾筒總長約960MM;8、動力采用0.37KW齒輪減速馬達驅動，動力布置滾筒下方;9、電機使用歐邦/東元馬達，馬達配套減速機使用。10、滾筒線輸送速度約5米/分鐘，可以采用變頻調速。下圖為參考端面示意圖以上圖作為參考示意，實際制作依后續設計為準。兩端升降滾筒線：1000L*1048W*800-1280H數量:2套1、升降裝置采用方管焊接框架結構方式。2、升降導向立柱采用80方管，與框架焊接成整體。3、導向輪采用度尼龍輪，強度好耐磨性優。4、軸承采用國家質量品牌哈爾濱軸承。5、升降采用鏈條升降方式，運行平穩。6、升降動力齒輪減速馬達驅動。7、輸送線結構同滾筒線輸送線結構。升降裝置樣式參考下圖升降砸門烘干熱處理爐。太倉工業工業烤箱行價

單門精密送風循環烤箱。太倉工業工業烤箱行價

（燃氣加熱）規範書昆山臺上品工業自動化有限公司部分、設備規範及其服務的說明1、設備名稱及數量：步進式砂芯烘烤爐及其輸送系統、加熱控制系統、送風系統，2套。2、交貨期交貨期為合同生效75工作日天完成設備製造。3、品質保證3.1、我公司以品質體系運作，我們對合約承諾範圍內的一切設備從設計、製造、安裝、調試至交付驗收均按照規定體系程式執行，在全過程中充分聽取用戶方意見，接受用戶方監督。在之前設備設計的基礎上進行改善。3.2、我們在加熱設備系統設計方面有豐富的經驗，完全能夠按時優質地完成整個工程，確保交期和產品品質。3.3、施工品質控制措施（1）品質目標的制定及論證施工組織設計由技術質檢部會同工地主任進行論證，科學地確定目標管理值。（2）目標的分解及方案以品質指標為依據，按專案施工的管理層次進行分解開展，落實到有關責任者成為施工過程中的品質職責。品質職責包括品質責任與品質許可權。品質職責是建立品質管制網路、品質責任制的一部分，而品質責任制是品質目標、計畫待以落實的保證。3.4、計量器具的配備計畫（1）按施工組織設計中的實際工程量的需要及安裝的技術品質要求，配備好工地的計量器具。（太倉工業工業烤箱行價

昆山臺上品工業自動化有限公司在同行業領域中，一直處在一個不斷銳意進取，不斷制造創新的市場高度，多年以來致力于發展富有創新價值理念的產品標準，在江蘇省等地區的機械及行業設備中始終保持良好的商業口碑，成績讓我們喜悅，但不會讓我們止步，殘酷的市場磨煉了我們堅強不屈的意志，和諧溫馨的工作環境，富有營養的公司土壤滋養著我們不斷開拓創新，勇于進取的無限潛力，昆山臺上品工業自動化供應攜手大家一起走向共同輝煌的未來，回首過去，我們不會因為取得了一點點成績而沾沾自喜，相反的是面對競爭越來越激烈的市場氛圍，我們更要明確自己的不足，做好迎接新挑戰的準備，要不畏困難，激流勇進，以一個更嶄新的精神面貌迎接大家，共同走向輝煌回來！