尾氣處理：多余的HMDS蒸汽（尾氣）將由底部真空泵抽出，背部1寸管路排除，品牌：慕泓DIM-4。排放到**廢氣收集管道。在無**廢氣收集管道時需做專門處理。設備配置試驗室用電源設備及注意事項電源：AC220V50Hz電壓允許變動范圍：額定值的±5%（但是可運行的范圍為±10%）（2）最大負荷容量：3KW（3）最大電流：15A（4）放置箱體時注意與墻面距離應大于300mm。特別要求：文檔到指定的網絡路徑：透過txt或者csv拋檔案到ip位置路徑。然後他生產使用量監控要求：通過流量計+電池閥延時控制，量化氣體，控制成本。剩馀量是從藥水那邊的液位監控,低位報警。HMDS藥液流量需可卡控上下限，超出范圍報警提醒，機臺拋檔使用TXT格式，數據：HMDS藥劑流量，溫度、壓力、作業批號、作業人員工號、作業開始時間、結束時間、報警信息、制程信息。load/unload高度/方向：(上下貨放cassette在機臺上的高度/備注cassette放置于設備前方或左右側）芯片傳送方式：（具備cassetteincassetteout)上下貨門需要能自動感測開啟程序自動調檔：（當cassette至于上貨平臺即能掃檔帶出該批貨的程序自動執行）軟件支持SEMI自動化標準SECS/GEM通訊接口高溫隧道固化爐高溫鼓風干燥箱。相城區恒溫工業烤箱電話

六、安全保護系統1.空氣開關（防止過流和短路）2.電機過流過熱保護3.超溫保護（防止工作室溫度過高，保護產品），報警七、安裝場地要求1.烘箱左右后側距離墻壁不得小于600mm，用戶須提供的配電開關并負責設備外部的電源連接。2.正常工作環境條件：（1溫度：5℃~45℃（2相對濕度：不大于85%（3周圍無強烈的振動和氣流存在（4電源：三相五線380V，50Hz（5無腐蝕性氣體存在3.請務必接地4.不能在箱內烘烤易燃易爆物品，可燃氣體及性物品八、其它1.保固期：整機1年(天災、電力異常、人為使用不當、保養不當造成的損壞外，本公司完全免費維修)。電話響應時間1小時，售后服務到達到現場響應時間為24小時。2.出貨文件：機器規格書，儀表操作說明書，電氣圖，機臺的操作說明書（含日常維護保養，簡易故障的排除）。鹽城重型工業烤箱電話高溫隧道固化爐燒銀爐。

設備配置裡，要記得加入HMDS需求：1、流量監控，可監控進入腔體的藥液量；氣體流量計（進口的ASERT，型號是0-4000SLM），通過通訊傳輸到PLC.2、可實現自動調檔（拋檔內容如上次郵件）、自動上、下機，配置霍尼韋爾條碼(可根據客戶要求選擇品牌)，可掃描PDA上的一維條碼三、安全裝置l溫度過升防止器（設定上限，保護被試品和試驗箱體）l電機過負荷熱繼電器（設定上限，保護電機過負荷）l逆向防止器（確保電機轉動方向正確）l動力電流保護器（設定上限，保護電路設備安全）四、附屬部品（交機時附送）操作說明書電路圖管路圖BOM表清單五、交貨試驗項現場性能確認基本模式l溫度上升時間：室溫到150℃是55分鐘內。l溫度下降時間及降溫是自然降溫，受外界環境影響，少5個小時。l確認在無負荷無試樣情況下進行。l六點測試位置（使用：日本橫河多點記錄儀）。

六、電源裝置1.電壓：三相380V五線制50Hz2.功率/電流：40KW（80A）3.電器組件：采用中國臺灣臺安與中國臺灣天得，日本歐姆龍中間繼電器4.電源引線：由客戶自備七、安全保護系統1.高溫保護系統：當由于外力原因導致溫度失控時，本系統會在超過設定溫度10度時自動停止加熱，從而保護你的產品及機器的安全。2.過流保護系統：當由于外加電壓過高或其它原因導致整機的功率超出正常功率時，本系統會自動斷電保護整機的工控組件不被損壞。八、安裝場地要求1.烘箱左右后側距離墻壁不得小于600mm，用戶須提供的配電開關并負責設備外部的電源連接。2.正常工作環境條件：（1溫度：5℃~45℃（2相對濕度：不大于85%（3周圍無強烈的振動和氣流存在（4電源：三相交流380±38V，頻率：50±10Hz（5無腐蝕性氣體存在3.請務必接地4.不能在箱內烘烤易燃易爆物品，可燃氣體及性物品九、其它1.保固期：整機1年(天災、電力異常、人為使用不當、保養不當造成的損壞外，本公司完全免費維修)。電話響應時間1小時，售后服務到達到現場響應時間為24小時。2.出貨文件：機器規格書，儀表操作說明書，電氣圖，機臺的操作說明書（含日常維護保養，簡易故障的排除）。圓型鐘罩燒結爐 2. 用 途 銅金屬基材熱導管燒結、退火熱處理用。

10-5．電器控制控制柜位于爐體的右側（顏色平光白），內裝空氣開關、（日本歐姆龍）繼電器、等主控電器控制電路。控制面板控制面板安裝加熱開關，送風開關、溫度控制器YUDIAN、故障報警燈等。操作面板上可以設定所有的參數及控制狀態；若不正常，有聲或光報警并可控制加熱器、馬達等停止工作。備注◇發熱管的安裝應考慮維修方便。◇布線整齊，電線都放入線槽內；并標明線號。◇所有電線接頭用線耳方式銜接。十一、主要用料說明：11-1．保溫墻體為硅酸鋁棉隔熱材料，主體為冷板、鍍鋅板、不銹鋼材料組成。外板為SS415.0T&2.0T&1.5T電箱為SS411.2T其他材料為SUS1.0T&2.0T&3.0T耐熱不銹鋼。結構穩固、耐用。11-2．電機為“德東”電機。11-4．溫控器程序表為“YUDIAN”系列產品。11-5．接觸器為中國臺灣“東元”系列產品。11-7．中間繼電器、“歐姆龍”系列產品。11-8.空開為質量“正泰”系列產品。11-9．其它主輔助元器件均采用品牌質量件。十二、設備其它各段及通用技術規格:12-2.所有風機、馬達都標有旋轉方向。12-3.設備應有緊急和異常報警裝置。12-4.加熱功率、尺寸及整體設計方案均保證清洗效果達到廠家要求，保證生產能力達到廠家要求。工業烘箱品牌生產廠家。鎮江工業烤箱服務

主要用于 Wafer 基板，OVEN 主要是在制程中。相城區恒溫工業烤箱電話

加熱管采用質量電加熱器加熱。空氣加熱方式1.由烘箱進氣口進風至加熱器風槽內；2.空氣經加熱后在烘箱內部做循環運風，廢氣從排氣口排出。（外排風管由客戶自備）控溫溫控器1.采用臺上品HOTTSP微電腦自動演算單段溫控器，有PV與SV雙LED顯示功能；2.自帶PID自動整定演算輸出，控制精細。超溫保護器1.采用超溫保護器；2.當溫度超過超溫保護器設定值時，自動切斷加熱電源。時間控制0~99.9小時可任意設定，時間到達后有報警并自動停止加熱。加熱管控制采用SSR固態繼電器控制加熱器，節能效果佳，控溫效果更穩定，性能更。溫度傳感器采用K型熱電偶，測溫精細。時控開關附一個時控開關，可設置定時開關機。低壓電氣組件主要電器采用施耐德，日本歐姆龍中間繼電器。記錄儀配1臺國產6通道無紙記錄儀，有效記錄烘箱溫度。()安全和防護空氣開關防止過流和短路電機過流保護防止電機燒毀超溫保護防止工作室溫度過高，保護產品接地保護結構件安全接地保護。電源缺相相序保護配有相序保護器環境條件環境溫度-5℃-45℃相對濕度≤85%RH安裝場地烘箱左右后側距離墻壁不得小于600mm。周圍無強烈的振動和氣流存在，不含鹽分氣體、有毒及腐蝕性氣體，沒有導電性塵埃。相城區恒溫工業烤箱電話

昆山臺上品工業自動化有限公司匯集了大量的優秀人才，集企業奇思，創經濟奇跡，一群有夢想有朝氣的團隊不斷在前進的道路上開創新天地，繪畫新藍圖，在江蘇省等地區的機械及行業設備中始終保持良好的信譽，信奉著“爭取每一個客戶不容易，失去每一個用戶很簡單”的理念，市場是企業的方向，質量是企業的生命，在公司有效方針的領導下，全體上下，團結一致，共同進退，**協力把各方面工作做得更好，努力開創工作的新局面，公司的新高度，未來昆山臺上品工業自動化供應和您一起奔向更美好的未來，即使現在有一點小小的成績，也不足以驕傲，過去的種種都已成為昨日我們只有總結經驗，才能繼續上路，讓我們一起點燃新的希望，放飛新的夢想！