以上圖作為參考示意，實際制作依后續設計為準。兩側銜接緩沖滾筒線：1000L*1048W*800-1280H數量:2條1、輸送線支架焊接框架結構，鏈條拖動滾筒輸送方式;2、線體支架采用8#槽鋼支架焊接,表面油漆處理;3、線體橫梁支架8#槽鋼制作，與支架螺絲連接固定。4、輸送滾筒采用鍍鋅滾筒，一端配置雙鏈鏈輪傳動;5、滾筒上安裝導向輪邊，直徑120MM,滾筒間距257MM;6、滾筒之間傳動采用12A滾子鏈條傳動7、輸送寬度:810MM,滾筒總長約960MM;8、動力采用0.37KW齒輪減速馬達驅動，動力布置滾筒下方;9、電機使用歐邦/東元馬達，馬達配套減速機使用。10、滾筒線輸送速度約5米/分鐘，可以采用變頻調速。下圖為參考端面示意圖以上圖作為參考示意，實際制作依后續設計為準。兩端升降滾筒線：1000L*1048W*800-1280H數量:2套1、升降裝置采用方管焊接框架結構方式。2、升降導向立柱采用80方管，與框架焊接成整體。3、導向輪采用度尼龍輪，強度好耐磨性優。4、軸承采用國家質量品牌哈爾濱軸承。5、升降采用鏈條升降方式，運行平穩。6、升降動力齒輪減速馬達驅動。7、輸送線結構同滾筒線輸送線結構。升降裝置樣式參考下圖VC均熱板輸送氣氛燒結爐。工業園區電子工業烤箱

（燃氣加熱）規範書昆山臺上品工業自動化有限公司部分、設備規範及其服務的說明1、設備名稱及數量：步進式砂芯烘烤爐及其輸送系統、加熱控制系統、送風系統，2套。2、交貨期交貨期為合同生效75工作日天完成設備製造。3、品質保證3.1、我公司以品質體系運作，我們對合約承諾範圍內的一切設備從設計、製造、安裝、調試至交付驗收均按照規定體系程式執行，在全過程中充分聽取用戶方意見，接受用戶方監督。在之前設備設計的基礎上進行改善。3.2、我們在加熱設備系統設計方面有豐富的經驗，完全能夠按時優質地完成整個工程，確保交期和產品品質。3.3、施工品質控制措施（1）品質目標的制定及論證施工組織設計由技術質檢部會同工地主任進行論證，科學地確定目標管理值。（2）目標的分解及方案以品質指標為依據，按專案施工的管理層次進行分解開展，落實到有關責任者成為施工過程中的品質職責。品質職責包括品質責任與品質許可權。品質職責是建立品質管制網路、品質責任制的一部分，而品質責任制是品質目標、計畫待以落實的保證。3.4、計量器具的配備計畫（1）按施工組織設計中的實際工程量的需要及安裝的技術品質要求，配備好工地的計量器具。（太倉無氧化工業烤箱電話升降式垂直熱風循環隧道爐。

7、端子排應無損壞，固定牢固，絕緣良好，端子正面朝向應能保證運行或檢修人員從柜外能看到端子兩旁的號碼管；8、配電箱上配有相應的電控圖紙以便維修人查閱。9、PLC程序地址符號用中文標注且清楚明了，電控箱內有詳細的IO地止使用及注解記錄表;10、各段輸送鏈、頂升裝置、自動移行機構、必須設有手動和自動模式，可以聯動也可以手動控制該設備。七.總體技術要求:1．線體結構為模塊化拼裝結構。2．線體有良好的接地保護,接地線線徑應符合國家有關標準要求。3．生產線（包括各單機，以下同）總體布局合理，人流物流通暢能滿足產品生產的工藝流程需要，并有充分的維修空間。4．生產線各運動部分運轉靈活,平穩,安全,可靠,無爬行,跳動現象,無異常聲音,工件無碰撞擺動現象.5．生產線各銜接部分,單機設備與生產線之間應銜接良好,工作節拍協調一至,且各單機的工作節拍應小于生產線的工作節拍。6．生產線整體設計為鋼型材架結構,做到結構美觀,牢固耐用,整體色調簡潔明快.7．各驅動,傳動部位潤滑情況良好,無漏油現象.8．線體著色：按照客戶提供色板確定9．輸送周邊過道部分安裝黃色護欄,采用膨脹螺絲固定于地面.10.系統控制使用安全電壓（DC24V）。

尾氣處理：多余的HMDS蒸汽（尾氣）將由底部真空泵抽出，背部1寸管路排除，品牌：慕泓DIM-4。排放到**廢氣收集管道。在無**廢氣收集管道時需做專門處理。設備配置試驗室用電源設備及注意事項電源：AC220V50Hz電壓允許變動范圍：額定值的±5%（但是可運行的范圍為±10%）（2）最大負荷容量：3KW（3）最大電流：15A（4）放置箱體時注意與墻面距離應大于300mm。特別要求：文檔到指定的網絡路徑：透過txt或者csv拋檔案到ip位置路徑。然後他生產使用量監控要求：通過流量計+電池閥延時控制，量化氣體，控制成本。剩馀量是從藥水那邊的液位監控,低位報警。HMDS藥液流量需可卡控上下限，超出范圍報警提醒，機臺拋檔使用TXT格式，數據：HMDS藥劑流量，溫度、壓力、作業批號、作業人員工號、作業開始時間、結束時間、報警信息、制程信息。load/unload高度/方向：(上下貨放cassette在機臺上的高度/備注cassette放置于設備前方或左右側）芯片傳送方式：（具備cassetteincassetteout)上下貨門需要能自動感測開啟程序自動調檔：（當cassette至于上貨平臺即能掃檔帶出該批貨的程序自動執行）軟件支持SEMI自動化標準SECS/GEM通訊接口單門精密紅外線烤箱。

l風機的啟動、停止；l電源指示，風機及燃燒器工作狀態的指示。l風機及加熱器的啟動、停止。l溫度的自動調節、顯示。l事故急停及故障狀況的指示。利用溫度感測器對溫度進行自動控制、顯示、上限報警。烘乾的溫度由數位式溫控儀顯示，顯示儀顯示並控制所需的溫度，還附有上限溫度報警功能。加熱器與風機連鎖，風機啟動後加熱器才能啟動；當風機發生故障時，加熱器不能啟動或停止供熱；當加熱器關閉時，風機能工作，使烤房內達到正常溫度。控制系統還具有以下優點：l操作直觀簡便，顯示。l自動聯鎖、安全生產方面，考慮周全，設計嚴密。一旦某種故障發生，控制系統立即報警。l電氣元件選型優良，確保整個設備長期可靠運行。電氣控制櫃：為前開門，外殼接地，材料：鋼板、烤漆。（提高電箱的品質規格，保證質量。）半導體無塵烤箱MOL-2DS。無錫智能工業烤箱維修

升降砸門烘干熱處理爐。工業園區電子工業烤箱

首先確定烘箱工作溫度。典型的預處理程序為：打開真空泵抽真空，待腔內真空度達到某一高真空度后，開始充入氮氣，充到某低真空度后，再次進行抽真空、充入氮氣的過程，到達設定的充入氮氣次數后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達設定時間后，停止充入HMDS藥液，進入保持階段，使硅片充分與HMDS反應。當達到設定的保持時間后，再次開始抽真空。充入氮氣，完成整個作業過程。HMDS與硅片反應機理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個反應持續到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進一步反應。工業園區電子工業烤箱

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