7、端子排應無損壞，固定牢固，絕緣良好，端子正面朝向應能保證運行或檢修人員從柜外能看到端子兩旁的號碼管；8、配電箱上配有相應的電控圖紙以便維修人查閱。9、PLC程序地址符號用中文標注且清楚明了，電控箱內有詳細的IO地止使用及注解記錄表;10、各段輸送鏈、頂升裝置、自動移行機構、必須設有手動和自動模式，可以聯動也可以手動控制該設備。七.總體技術要求:1．線體結構為模塊化拼裝結構。2．線體有良好的接地保護,接地線線徑應符合國家有關標準要求。3．生產線（包括各單機，以下同）總體布局合理，人流物流通暢能滿足產品生產的工藝流程需要，并有充分的維修空間。4．生產線各運動部分運轉靈活,平穩,安全,可靠,無爬行,跳動現象,無異常聲音,工件無碰撞擺動現象.5．生產線各銜接部分,單機設備與生產線之間應銜接良好,工作節拍協調一至,且各單機的工作節拍應小于生產線的工作節拍。6．生產線整體設計為鋼型材架結構,做到結構美觀,牢固耐用,整體色調簡潔明快.7．各驅動,傳動部位潤滑情況良好,無漏油現象.8．線體著色：按照客戶提供色板確定9．輸送周邊過道部分安裝黃色護欄,采用膨脹螺絲固定于地面.10.系統控制使用安全電壓（DC24V）。單門精密紅外線烤箱。南京無氧化工業烤箱

二.溫度范圍:1.最高溫度：60℃2.使用溫度：50℃三．機器精度:儀表控制精度:±0.3全刻度.溫度分布均勻度:±5~10℃.(空爐測量恒溫段有效區域內為準)配置熱風循環（手動變頻調節）四.機械板金結構：1.內部材質：SUS1.0t不銹鋼板.2.外部材質:SS41+粉體金屬漆。3.保溫材質:高溫耐熱巖棉(最高耐溫700℃)。4.烘干爐設有排氣系統，及時將爐內廢氣排出爐外，可調節大小。五.加熱系統:1.采用不銹鋼，均布式平面布局，保證均溫性.2.完全單獨系統，不影響控制線路.六.電路控制系統:1.PID溫度控制器。2.溫度傳感器采用KTYPE.3.無熔絲電源開關，鐵線槽堅固耐用.4.控制系統附電源燈、風車指示燈，加熱指示燈…….七.安全保護系統:1.附有施耐德無熔絲保護開關.2.超溫控制超過設定最大值,自動斷電.3.控制器超溫控制接點+蜂鳴.4.控制線路電源加裝保險絲.蘇州無塵工業烤箱費用精密送風循環預熱爐。

首先確定烘箱工作溫度。典型的預處理程序為：打開真空泵抽真空，待腔內真空度達到某一高真空度后，開始充入氮氣，充到某低真空度后，再次進行抽真空、充入氮氣的過程，到達設定的充入氮氣次數后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達設定時間后，停止充入HMDS藥液，進入保持階段，使硅片充分與HMDS反應。當達到設定的保持時間后，再次開始抽真空。充入氮氣，完成整個作業過程。HMDS與硅片反應機理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個反應持續到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進一步反應。

6、左右承載軌道50方管,表面鋪設鋼板，8#槽鋼橫梁支撐,M16調整腳調整水平;7、小車橫移采用12A鏈條帶動方式.減速馬達驅動。8、小車采用鋼制滾輪支撐，滾輪內安裝精密軸承，承載大無噪音。9、滾輪兩側自帶擋邊，卡住軌道兩側，左右橫移不脫軌。10、移載鏈條采用12A滾子鏈，安裝在移載軌道上，鏈條軌道采用8*10方鋼固定在方管上。11、橫移馬達布置在移載機一側，馬達固定孔上設置長孔，可用于鏈條調節。12、移動小車上設置拖鏈，用于布置線路。樣式參考下圖以上圖作為參考示意，實際制作依后續設計為準六.電氣部分:1、控制系統采用品牌PLC，邏輯控制方式;2、所有電氣元件名稱、編號標識清楚，和圖紙對應；3、位于電箱內以及設備內的導線，應使用線槽加以保護，其他所有裸露的導線必須穿金屬管，金屬管連接處必須經絲扣連接牢固，經由線槽引出，套管使用卡扣整齊固定在機體上；4、電箱內走線槽使用灰色硬質PVC塑料線槽，電箱外線槽需使用金屬線槽或者穿鍍鋅管，線槽連接入必須裝有跨接線;5、線槽應大小合適、長短適宜，走線槽兩端應切割整齊，線槽蓋應和線槽長度相等；6、線槽內導線應排列整齊，并且在線槽兩頭應將導線綁扎固定好；工業烘箱品牌生產廠家。

1)外殼SUS304不銹鋼材質，內膽316L不銹鋼材料；采用不銹鋼加熱管，加熱管4個，總功率2650W,均勻分布在內膽外壁，上下左右四面加熱，內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置；采用鋼化、防彈雙層玻璃觀察窗,便于觀察工作室內物品實驗情況。無發塵材料，適用百級光刻間凈化環境使用。2)箱門閉合松緊能調節，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內保持高真空度。3)溫度采用微電腦PID控制,系統具有自動控溫,定時,超溫報警等,LCD液晶顯示,觸摸式按鈕,簡單易用,性能穩定可靠.4)智能化觸摸屏控制系統配套PLC模塊可供用戶根據不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時間。5)HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計，使真空箱密封性能極好，確保HMDS氣體無外漏顧慮。精密熱風千級烤箱SMO-3。太倉性價比高工業烤箱市場

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3.11、賣方嚴格按照國家有關標準、合約的承諾進行生產製造、檢驗。3.12、買方可隨時到現場對賣方的生產製造進行監督。4、技術檔在賣方設備安裝結束後向買方提供以下技術檔：4.1設備說明書：包括設備操作說明、電氣操作說明、設備總圖、電氣原理圖。4.2其它資料：用戶驗收書等。5、培訓和技術服務5.1、.向使用者提供及時、***和高品質的技術服務，對工程項目來說十分重要，這也是我公司在以往工程項目中的一貫做法。實施責任工程師制，負責本次專案。5.2.技術服務工作的保證措施①設計階段，設計人員下現場，結合現場條件，細緻做好設計前的資料調查收集，充分聽取工廠各方面的意見，***安排，精心佈置，做出高品質的設計。②設備安裝、設計人員下工地現場監督、服務。③設計人員參加調試、試運行和驗收試驗，並認真做好調試記錄。④在保質期內，正常運行過程中出現的技術故障，我方無償進行維修服務。5.3.技術培訓為保障各系統安全、連續、正常運行，對操作人員及維修人員的培訓是十分重要。賣方負責為買方提供的免費培訓，培訓地點在使用現場，負責培訓操作和基本維護，達到操作設備和基本的維護能力。南京無氧化工業烤箱

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