HMDS預處理系統的原理：HMDS預處理系統通過對烘箱HMDS預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。HMDS預處理系統的一般工作流程：首先確定烘箱工作溫度。典型的預處理程序為：打開真空泵抽真空，待腔內真空度達到某一高真空度后，開始充入氮氣，充到某低真空度后，再次進行抽真空、充入氮氣的過程，到達設定的充入氮氣次數后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達設定時間后，停止充入HMDS藥液，進入保持階段，使硅片充分與HMDS反應。當達到設定的保持時間后，再次開始抽真空。充入氮氣，完成整個作業過程。HMDS與硅片反應機理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個反應持續到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進一步反應。工業烘箱品牌生產廠家。張家港半導體工業烤箱維保

九、設備參數9-1.回火工件：名稱:五金零部件9-2.設備要求：設備電源:380V±10%/50Hz三相五線（接地接零）額定功率為30KW9-3.占地要求：設備整機尺寸：約W1767×D1560×H2317（mm）（配電柜在右側面）主機占地尺寸：約L3500×W2500（mm）廠房高度要求：約3.5米9-4.環境要求：空氣溫度：5～40℃相對濕度：≤80%十、設備各部分配置10-1．數量1個溫度正常使用500度，MAX600度。機臺體結構內有效尺寸層架結構，貴司現有設備樣式（見附件圖紙）材質保溫墻體為硅酸鋁棉隔熱材料，主體為冷板、鍍鋅板、不銹鋼材料組成。外板為SS415.0T&2.0T&1.5T電箱為SS411.2T其他材料為SUS1.0T&2.0T&3.0T不銹鋼。結構穩固、耐用。送風系統方式采用電機帶動皮帶使風輪轉動&加長軸散熱系統。電機功率為1/2HP加熱系統溫控器YUDIAN自動數顯程序溫控器，溫控范圍：RT~500℃MAX600℃。加熱器◇箱體兩側安裝加熱管、加熱功率25KW。◇加熱管材質為，耐高溫鎳鉻特制加熱器，耐溫1200度。鎮江半導體工業烤箱高溫隧道固化爐高溫鼓風干燥箱。

600度高溫回火爐技術規格書一、設備名稱：HOTTSP-HT600度高溫回火爐二、設備型號：HOTTSP-HT600三、設備型號定義：HOTTSP-昆山臺上品工業自動化有限公司簡稱；600—整機最高溫度600度；HT—H表示高溫設備；T表示非標設備。四、設備用途：五金件、電子零件、精密零部件產品前后的熱間加工。五、溫度要求：5．1熱間有效范圍內，溫控的控制精度正負5度，均溫性2%。5．2正常使用500度，比較大溫度600度。六、設備能力:溫度到計時，時間到報警。（后改為程式表，并增加了電壓表）七、設備工作原理及組成描述：7.1工作原理：運用大功率加熱器將空氣加熱，升溫到設定溫度后自動保溫計時，時間到報警提示。7.2設備組成：HOTTSP-HT600高溫回火爐一臺。八、工藝流程8.1加熱流程1上料→2關門密封→3加熱升溫→4溫度到計時保溫→5保溫時間到報警→6斷電降溫→7開門下料

十、設備各部分配置10-1．數量1個溫度正常使用45度，MAX60度。機臺體結構內有效尺寸（W*H*D）材質1.爐膛采用全不銹鋼爐膛，巖棉保溫，具有升溫快，節能等特點2.不銹鋼爐膛內箱干凈，抗腐蝕，便于清理3.外部采用冷板加烤漆，外觀整潔送風系統方式1.專業的送風，排風系統，確保爐膛溫度均勻。2.熱風循環溫度均勻，換熱迅速，廢氣帶出及時。加熱系統溫控器1.采用PID+SSR控制2.多點溫度實時監測，工作室的溫度工藝容易掌握加熱器◇箱體上部安裝加熱管。◇加熱管材質為，不銹鋼304加熱器。10-5．電器控制控制柜位于爐體的右側，內裝空氣開關、（日本歐姆龍）繼電器、等主控電器控制電路。控制面板控制面板安裝加熱開關，送風開關、溫度控制器、故障報警燈等。操作面板上可以設定所有的參數及控制狀態；若不正常，有聲或光報警并可控制加熱器、馬達等停止工作。備注◇發熱管的安裝應考慮維修方便。◇布線整齊，電線都放入線槽內；并標明線號。◇所有電線接頭用線耳方式銜接。蘇州自動化隧道爐（標準）。

3.1.3骨架:在室體的長度方向上採用矩型方管作為結構框架,在長度方向上間隔的安裝焊接柱子，牆板和柱子用U形槽連接，在室體頂部採用矩型方管作為加固梁連接寬度方向倆邊的柱子，從而保證整套室體的結構性能。3.1.4送排風風道：在烘烤爐體二側面設有送風風道，送風風道採用高品質耐溫鍍鋅板製作，在烘烤爐體上側部設有排風風道，在排風風道上設有調節閥，用來調節室內溫度的均勻性。3.2迴圈風機系統：主要由風機、高品質耐溫鍍鋅板、型材框架等組成。由設計依據，本設計砂芯烘烤爐配置3組加熱送風系統。配置3臺離心式高溫風機。且迴圈風管採用高品質耐溫鍍鋅板製作，進風口處安裝風量調節板。3.3加熱系統：配3套加熱系統，使用燃氣燃燒機加熱方式，升溫速度快，成本低。從而保證砂芯烘烤爐溫度的需要。高精密隧道爐方案說明。太倉自動化工業烤箱

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自公司年成立以來，HOTTSP一直致力于為客戶提工業烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐解決方案，專業從事工業烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐生產、研發、銷售和服務。經過多年的努力，我們逐漸獲取到機械及行業設備行業內更多客戶的認可。機械及行業設備是動密集型產業，除了需要科技創新人才和管理人才以外，還需要高級技工工人等。HOTTSP擁有多名技術服務型人才，幫助客戶提供售前、售后技術支持。更豐富的產品工業烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐及更完善的服務為客戶創造價值；我們秉著持續改進產品為宗旨，不知疲倦的精神服務于廣大客戶。HOTTSP在長期發展過程中，憑借雄厚的實力和深入人心的服務理念，產品贏得了客戶認同和信賴。堅持不斷創新，不斷進步，不斷提升服務，持續追求每一個用戶的滿意度。張家港半導體工業烤箱維保

昆山臺上品工業自動化有限公司是一家集研發、制造、銷售為一體的高新技術企業，公司位于昆山市巴城鎮石牌中華路1083號，成立于2014-08-20。公司秉承著技術研發、客戶優先的原則，為國內工業烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐的產品發展添磚加瓦。公司主要經營工業烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐等產品，產品質量可靠，均通過機械及行業設備行業檢測，嚴格按照行業標準執行。目前產品已經應用與全國30多個省、市、自治區。我們以客戶的需求為基礎，在產品設計和研發上面苦下功夫，一份份的不懈努力和付出，打造了HOTTSP產品。我們從用戶角度，對每一款產品進行多方面分析，對每一款產品都精心設計、精心制作和嚴格檢驗。昆山臺上品工業自動化有限公司嚴格規范工業烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐產品管理流程，確保公司產品質量的可控可靠。公司擁有銷售/售后服務團隊，分工明細，服務貼心，為廣大用戶提供滿意的服務。