4、技術參數：序號項目單位規格1砂芯烘乾烤爐結構型式1座多層通過式2加熱能源，正英20萬大卡天然氣3工件加熱方式熱風4送風方式不可調節風管運風5烘乾時間min90(可調)6總功率55Kw依據設計圖紙7有載升溫速度（20→150℃）min<508烘乾溫度℃環境溫度～150（可調）9溫度控制方式honeywell多組PID自動獨立控制10廢氣處理方式活性炭吸附(選配)11傳動方式大功率傳動座12溫度控制honeywell數位式和機械式溫控儀13噪音dB（A）≤8514迴圈風量m3/h依據設計圖紙五、配套設施說明：1.設備土建基礎設施由甲方負責，乙方提供設備基礎圖紙。2.甲方負責施工現場的水電氣配套工作。3.甲方負責設備調試前把電、壓縮空氣、水等接到各設備用電、用氣點及用水點上，並派專人協調安裝調試工作。6.設備移交時，乙方需提供產品說明書、等技術資料。7.乙方負責無償培訓甲方安排的操作維護人員至能正常操作及維護所提供設備。8.以上規化是設計構思，具體定案后以圖紙和雙方負責人確定規格為準。六、優化改善：1.側拉式閘門（配啟用開關）2.電控：人機+PLC（規範配電）3.獨立電櫃厚板1.5T，IP54標準（防塵設計），雙門設計。工業烤箱馳名品牌生產廠家。吳中區工業工業烤箱電話

一、設備名稱：75寸老化烤箱二、設備型號： 三、設備用途：電子元件，電子玻璃等老化測試。五、溫度要求：5．1熱間有效范圍內，溫控的控制精度正負5度，均溫性±5℃。5．2正常使用45度，六、設備能力:溫度到計時，時間到報警。七、七、設備工作原理及組成描述：7.1工作原理：運用大功率加熱器將空氣加熱，升溫到設定溫度后自動保溫計時，時間到報警提示。7.2設備組成：75寸老化爐一臺。八、工藝流程8.1加熱流程1上料→2關門密封→3加熱升溫→4溫度到計時保溫→5保溫時間到報警→6斷電降溫→7開門下料九、設備參數9-1.老化工件：名稱:電子元件，電子玻璃，電子陶瓷材料9-2.設備要求：設備電源:380V±10%/50Hz三相五線（接地接零）75寸老化烤箱技術規格書質量服務，設備各部分配置10-1．數量1個溫度正常使用45度，MAX60度。機臺體結構內有效徐州省電工業烤箱維修高溫隧道固化爐高溫鼓風干燥箱。

設備配置裡，要記得加入HMDS需求：1、流量監控，可監控進入腔體的藥液量；氣體流量計（進口的ASERT，型號是0-4000SLM），通過通訊傳輸到PLC.2、可實現自動調檔（拋檔內容如上次郵件）、自動上、下機，配置霍尼韋爾條碼(可根據客戶要求選擇品牌)，可掃描PDA上的一維條碼三、安全裝置l溫度過升防止器（設定上限，保護被試品和試驗箱體）l電機過負荷熱繼電器（設定上限，保護電機過負荷）l逆向防止器（確保電機轉動方向正確）l動力電流保護器（設定上限，保護電路設備安全）四、附屬部品（交機時附送）操作說明書電路圖管路圖BOM表清單五、交貨試驗項現場性能確認基本模式l溫度上升時間：室溫到150℃是55分鐘內。l溫度下降時間及降溫是自然降溫，受外界環境影響，少5個小時。l確認在無負荷無試樣情況下進行。l六點測試位置（使用：日本橫河多點記錄儀）。

二.溫度范圍:1.使用溫度：10℃~50℃三．機器精度:儀表控制精度:±0.3全刻度.溫度分布均勻度:±5~10℃.(空爐測量恒溫段有效區域內為準)配置風路循環（手動變頻調節）四.機械板金結構：1.內部材質：SUS1.0t不銹鋼板.2.外部材質:SS41+粉體金屬漆。3.保溫材質:高溫耐熱巖棉(最高耐溫700℃)。4.設有排氣系統，及時將爐內廢氣排出，可調節大小。五.恒溫系統:1.采用不銹鋼，均布式平面布局，保證均溫性.2.完全單獨系統，不影響控制線路.六.電路控制系統:1.PID溫度控制器。2.溫度傳感器采用KTYPE.3.無熔絲電源開關，鐵線槽堅固耐用.4.控制系統附電源燈、風車指示燈，加熱指示燈…….七.安全保護系統:1.附有施耐德無熔絲保護開關.2.超溫控制超過設定最大值,自動斷電.3.控制器超溫控制接點+蜂鳴.4.控制線路電源加裝保險絲.主要用于 Wafer 基板，OVEN 主要是在制程中。

首先確定烘箱工作溫度。典型的預處理程序為：打開真空泵抽真空，待腔內真空度達到某一高真空度后，開始充入氮氣，充到某低真空度后，再次進行抽真空、充入氮氣的過程，到達設定的充入氮氣次數后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達設定時間后，停止充入HMDS藥液，進入保持階段，使硅片充分與HMDS反應。當達到設定的保持時間后，再次開始抽真空。充入氮氣，完成整個作業過程。HMDS與硅片反應機理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個反應持續到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進一步反應。精密雙室雙控送風烤箱。常熟半導體工業烤箱維修

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3.4廢氣處理系統（選配）：採用活性碳吸咐法，活性炭吸附法是利用活性炭作為吸附劑，把氣體中的有害物質成分在活性炭龐大的固相表面進行吸附濃縮，從而達到淨化廢氣目的的方法。（選配，更具具體的廢氣處理方式，可設計各種處理系統。）3.5安全系統：l在爐體上加裝維修安全門，安全門上安裝了保護裝置，當有人進入設備或是勿入設備內部設備工作時，人員可以在近的維修安全門處開門逃生。l在溫度控制上採用機械式和電子式T4M雙階層控制，安全可靠，以確保生產的安全性。l加熱器與送風機連鎖，必須先打開送風風機，才可以加熱。l廢氣排放（選配）：有機廢氣經活性炭吸附處理，排出的廢氣符合國家《大氣污染物綜合排放標準》GB16297－1996標準。（選配）電控系統：控制櫃位於室體外部。溫控採用美國HONEYWELL燃控表，多段控溫。櫃內安裝斷路器、接觸器、端子、空開、延時器等電氣元件。櫃門上設置必要的操作器件、信號指示元件。操作器件包括控制回路電源開關、啟動及停止按鈕等。信號指示元件包括電源指示燈、運行狀態指示燈、故障指示燈等。操作者一次設定便可分別完烤漆操作過程。吳中區工業工業烤箱電話

昆山臺上品工業自動化有限公司發展規模團隊不斷壯大，現有一支專業技術團隊，各種專業設備齊全。致力于創造高品質的產品與服務，以誠信、敬業、進取為宗旨，以建HOTTSP產品為目標，努力打造成為同行業中具有影響力的企業。公司以用心服務為重點價值，希望通過我們的專業水平和不懈努力，將非標自動化設備研發、設計、生產、組裝、銷售、維修;加熱設備、通風集成設備、電氣控制軟件硬件的研發、設計、銷售;電氣元器件及配件、電線電纜、機械設備、五金制品的銷售;建筑安裝工程，室內室外裝飾工程;貨物及技術的進出口業務。(依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動)等業務進行到底。自公司成立以來，一直秉承“以質量求生存，以信譽求發展”的經營理念，始終堅持以客戶的需求和滿意為重點，為客戶提供良好的工業烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐，從而使公司不斷發展壯大。