尾氣處理：多余的HMDS蒸汽（尾氣）將由底部真空泵抽出，背部1寸管路排除，品牌：慕泓DIM-4。排放到**廢氣收集管道。在無**廢氣收集管道時需做專門處理。設備配置試驗室用電源設備及注意事項電源：AC220V50Hz電壓允許變動范圍：額定值的±5%（但是可運行的范圍為±10%）（2）最大負荷容量：3KW（3）最大電流：15A（4）放置箱體時注意與墻面距離應大于300mm。特別要求：文檔到指定的網絡路徑：透過txt或者csv拋檔案到ip位置路徑。然後他生產使用量監控要求：通過流量計+電池閥延時控制，量化氣體，控制成本。剩馀量是從藥水那邊的液位監控,低位報警。HMDS藥液流量需可卡控上下限，超出范圍報警提醒，機臺拋檔使用TXT格式，數據：HMDS藥劑流量，溫度、壓力、作業批號、作業人員工號、作業開始時間、結束時間、報警信息、制程信息。load/unload高度/方向：(上下貨放cassette在機臺上的高度/備注cassette放置于設備前方或左右側）芯片傳送方式：（具備cassetteincassetteout)上下貨門需要能自動感測開啟程序自動調檔：（當cassette至于上貨平臺即能掃檔帶出該批貨的程序自動執行）軟件支持SEMI自動化標準SECS/GEM通訊接口精密雙室雙控送風烤箱。淮安省電工業烤箱價格

7、端子排應無損壞，固定牢固，絕緣良好，端子正面朝向應能保證運行或檢修人員從柜外能看到端子兩旁的號碼管；8、配電箱上配有相應的電控圖紙以便維修人查閱。9、PLC程序地址符號用中文標注且清楚明了，電控箱內有詳細的IO地止使用及注解記錄表;10、各段輸送鏈、頂升裝置、自動移行機構、必須設有手動和自動模式，可以聯動也可以手動控制該設備。七.總體技術要求:1．線體結構為模塊化拼裝結構。2．線體有良好的接地保護,接地線線徑應符合國家有關標準要求。3．生產線（包括各單機，以下同）總體布局合理，人流物流通暢能滿足產品生產的工藝流程需要，并有充分的維修空間。4．生產線各運動部分運轉靈活,平穩,安全,可靠,無爬行,跳動現象,無異常聲音,工件無碰撞擺動現象.5．生產線各銜接部分,單機設備與生產線之間應銜接良好,工作節拍協調一至,且各單機的工作節拍應小于生產線的工作節拍。6．生產線整體設計為鋼型材架結構,做到結構美觀,牢固耐用,整體色調簡潔明快.7．各驅動,傳動部位潤滑情況良好,無漏油現象.8．線體著色：按照客戶提供色板確定9．輸送周邊過道部分安裝黃色護欄,采用膨脹螺絲固定于地面.10.系統控制使用安全電壓（DC24V）。虎丘區高溫工業烤箱工業烤箱***品牌生產廠家。

一、設備名稱：86寸老化烤箱二、設備型號：TSP202012ZA006-2三、設備用途：電子元件，電子玻璃等老化測試。五、溫度要求：5．1熱間有效范圍內，溫控的控制精度正負5度，均溫性±5℃。5．2正常使用45度，比較大溫度60度。六、設備能力:溫度到計時，時間到報警。七、七、設備工作原理及組成描述：7.1工作原理：運用大功率加熱器將空氣加熱，升溫到設定溫度后自動保溫計時，時間到報警提示。7.2設備組成：TSP202012ZA00686寸老化爐一臺。八、工藝流程8.1加熱流程1上料→2關門密封→3加熱升溫→4溫度到計時保溫→5保溫時間到報警→6斷電降溫→7開門下料九、設備參數9-1.老化工件：名稱:電子元件，電子玻璃，電子陶瓷材料9-2.設備要求：設備電源:380V±10%/50Hz三相五線（接地接零）

一、設備名稱：75寸老化烤箱二、設備型號： 三、設備用途：電子元件，電子玻璃等老化測試。五、溫度要求：5．1熱間有效范圍內，溫控的控制精度正負5度，均溫性±5℃。5．2正常使用45度，六、設備能力:溫度到計時，時間到報警。七、七、設備工作原理及組成描述：7.1工作原理：運用大功率加熱器將空氣加熱，升溫到設定溫度后自動保溫計時，時間到報警提示。7.2設備組成：75寸老化爐一臺。八、工藝流程8.1加熱流程1上料→2關門密封→3加熱升溫→4溫度到計時保溫→5保溫時間到報警→6斷電降溫→7開門下料九、設備參數9-1.老化工件：名稱:電子元件，電子玻璃，電子陶瓷材料9-2.設備要求：設備電源:380V±10%/50Hz三相五線（接地接零）75寸老化烤箱技術規格書質量服務，設備各部分配置10-1．數量1個溫度正常使用45度，MAX60度。機臺體結構內有效升降砸門烘干熱處理爐。

八.品管:1.重要五金配件.2.電控元件.3.生產物料經嚴格檢驗后入倉,投入使用.4.設備制造過程中,由工程師現場監制,質量有保障.九.環保:1.采用質量環保保溫制品.環保,無污染.2.噪音小.3.涂料中不含鉛等有害成分成份.非常感謝您的詢價，以上是我司規劃設備的資料。希望早日得到您的確認，如有任何問題，請聯系我們。

一、設備簡介：1.設備用途：本設備為冰水冷風急冷段生產線，用于產品制程后的恒溫處理。2.使得產品具有均勻一致的數據要求.3.設計、制造、安裝調試的技術標準和相關標準：產品在設計、制造、安裝調試驗收過程中，按照客戶的要求，在局限的空間和時間做出品質的性能.總功率：3P380V12KW/H電源：AC380V三相五線控制方式：SSR+PID進料高度：120MM內高度：320MM循環風機：1臺1/2HP（手動變頻調節）二、設備詳細需求：1.產品尺寸：用于將高密度聚乙烯片材，2米長度，20秒，可以恒溫設定，使用冰水機和加熱雙向調節。 網鏈式還原氣氛隧道爐。虎丘區無塵工業烤箱價錢

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HMDS預處理系統的原理：HMDS預處理系統通過對烘箱HMDS預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。HMDS預處理系統的一般工作流程：首先確定烘箱工作溫度。典型的預處理程序為：打開真空泵抽真空，待腔內真空度達到某一高真空度后，開始充入氮氣，充到某低真空度后，再次進行抽真空、充入氮氣的過程，到達設定的充入氮氣次數后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達設定時間后，停止充入HMDS藥液，進入保持階段，使硅片充分與HMDS反應。當達到設定的保持時間后，再次開始抽真空。充入氮氣，完成整個作業過程。HMDS與硅片反應機理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個反應持續到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進一步反應。淮安省電工業烤箱價格

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