干涉儀應用：幾何精度檢測可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。位置精度的檢測及其自動補償可檢測數控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償，比通常的補償方法節省了大量時間，并且避免了手工計算和手動數控鍵入而引起的操作者誤差，同時可比較大限度地選用被測軸上的補償點數，使機床達到比較好精度，另外操作者無需具有機床參數及補償方法的知識。擺動，θx（Φ）和θy（Φ），它是通過組合兩個XY-跳動誤差水平計算出來的。 其中Φ是圍繞Z軸的樣本旋轉。山東激光干涉儀測量

干涉儀主要特點

1.同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角2.設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器3.可選的無線遙控傳感器極長的控制距離可到25米4.可測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態特性5.全套系統重量只15公斤，設計緊湊、體積小，測量機床時不需三角架6.集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調整步驟，減少了調整時間7、激光干涉儀可以同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角等，以及測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態特性等。8、激光干涉儀的光源——激光，具有gao qiang度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。9、激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。 平臺校準激光干涉儀運動平臺其工作接近技術和物理的極限。

(4)計算機輔助測量理論。信號處理系統的標準化、模塊化、兼容和集成。例如，目前多數采用ISA總線、IEEE488口，今后計算機可能取消ISA總線，用于筆記本電腦的USB接口將廣泛應用。過去，中國生產的儀器滿足于數字顯示，沒有數據交換接口，難以進入國際市場。國外生產的儀器普遍配備IEEE488(GPIB)口。RS232：目前有可能成為替代物的高性能標準是USB、IEEE1394和VXI。在此轉折期為我們提供了機遇。目前虛擬儀器的工作頻段在千赫數量級，對于干涉信號處理顯得太低，可以采取聯合互補的方法形成模塊系列，同時降低成本，從總體上提高研發工作的效率。根據已有基礎，發展特長，有利于克服重復研究。

用作高分辨率光譜儀。法布里-珀luo gan涉儀等多光束干涉儀具有很尖銳的干涉極大，因而有極高的光譜分辨率，常用作光譜的精細結構和超精細結構分析。歷史上的作用。19世紀的波動論者認為光波或電磁波必須在彈性介質中才得以傳播，這種假想的彈性介質稱為以太。人們做了一系列實驗來驗證以太的存在并探求其屬性。以干涉原理為基礎的實驗極為精確，其中極有名的是菲佐實驗和邁克耳孫-莫雷實驗。1851年，A.H.L.菲佐用特別設計的干涉儀做了關于運動介質中的光速的實驗，以驗明運動介質是否曳引以太。1887年，A.A.邁克耳孫和E.W.莫雷合作利用邁克耳孫干涉儀試圖檢測地球相對jue dui靜止的以太的運動。對以太的研究為A.愛因斯坦的狹義相對論提供了佐證。低電子噪聲和良好的光學穩定性。

從激光器發出的光束，經擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號，經整形、放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數，再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數)，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩定狀態，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。在環境條件下懸臂的共振頻率，不施加壓電致動器的任何振蕩。浦東新區激光干涉儀形貌測量

基于壓電的定位器（頂部）只在x軸上移動（5 nm步長）。山東激光干涉儀測量

測控技術與儀器優先領域

在基礎研究的初期，對于能否有突破性進展是很難預測的。但是，當已經取得突破性進展時，則需要有一個轉化機制以進入市場。

（1）納米溯源技術和系統。

(2)介入安裝和制造的坐標跟蹤測量系統。

關鍵理論和技術：超半球反射器(n=2或在機構上創新)，快速、多路干涉儀(頻差3～5兆)，二維精密跟蹤測角系統(0.2″～0.5″)，通用信號處理系統(工作頻率5兆)，無導軌半導體激光測量系統(分辨率1μm)，熱變形仿真，力變形仿真。 山東激光干涉儀測量