干涉儀是根據光的干涉原理制成的一種儀器。分雙光束干涉儀和多光束干涉儀兩大類。其思想在于利用波的疊加性來獲取波的相位信息， 從而獲得實驗所關心的物理量。干涉儀并不僅只局限于光干涉儀。干涉儀在天文學(Thompson et al,2001)，光學，工程測量，海洋學，地震學，波譜分析，量子物理實驗，遙感，雷達等等精密測量領域都有廣泛應用（Hariharan，2007）。根據光干涉原理制成的儀器。所以干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的，其測量精度之高是任何其他測量方法所無法比擬的。使用干涉測量法進行旋轉運動誤差補償。光電激光干涉儀檢測

(4)計算機輔助測量理論。信號處理系統的標準化、模塊化、兼容和集成。例如，目前多數采用ISA總線、IEEE488口，今后計算機可能取消ISA總線，用于筆記本電腦的USB接口將廣泛應用。過去，中國生產的儀器滿足于數字顯示，沒有數據交換接口，難以進入國際市場。國外生產的儀器普遍配備IEEE488(GPIB)口。RS232：目前有可能成為替代物的高性能標準是USB、IEEE1394和VXI。在此轉折期為我們提供了機遇。目前虛擬儀器的工作頻段在千赫數量級，對于干涉信號處理顯得太低，可以采取聯合互補的方法形成模塊系列，同時降低成本，從總體上提高研發工作的效率。根據已有基礎，發展特長，有利于克服重復研究。安徽電子激光干涉儀不穩定的偏航和俯仰測量。

雙頻激光干涉儀：在氦氖激光器上，加上一個約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應和頻率牽引效應,激光器產生1和2兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。雙頻激光干涉儀是應用頻率變化來測量位移的，這種位移信息載于f1和f2的頻差上，對由光強變化引起的直流電平變化不敏感，所以抗干擾能力強。它常用于檢定測長機、三坐標測量機、光刻機和加工中心等的坐標精度，也可用作測長機、高精度三坐標測量機等的測量系統。利用相應附件，還可進行高精度直線度測量、平面度測量和小角度測量。

測控技術與儀器優先領域

在基礎研究的初期，對于能否有突破性進展是很難預測的。但是，當已經取得突破性進展時，則需要有一個轉化機制以進入市場。

（1）納米溯源技術和系統。

(2)介入安裝和制造的坐標跟蹤測量系統。

關鍵理論和技術：超半球反射器(n=2或在機構上創新)，快速、多路干涉儀(頻差3～5兆)，二維精密跟蹤測角系統(0.2″～0.5″)，通用信號處理系統(工作頻率5兆)，無導軌半導體激光測量系統(分辨率1μm)，熱變形仿真，力變形仿真。 低電子噪聲和良好的光學穩定性。

檢驗周期規定

A.控制盤和配電盤儀表的定期檢驗應與該儀表所連接的主要設備的大修日期一致，不應延誤。但主要設備主要線路的儀表應每年檢驗一次，其它盤的儀表每四年至少檢驗一次；

B.對運行中設備的控制盤儀表的指示發生疑問時，可用標準儀表在其工作點上用比較法進行核對；

C.可攜式儀表(包括臺表)的檢驗，每年至少一次，常用的儀表每半年至少一次。經兩次以上檢驗，證明質量好的儀表，可以延長檢驗期一倍。D.萬用電表、鉗形表每四年至少檢驗一次。兆歐表和接地電阻測定器每二年至少檢驗一次，但用于高壓電路使用的鉗形表和作吸收比用的兆歐表每年至少檢驗一次。 軸的直徑為10毫米，以每分鐘2160轉（RPM）旋轉。翹曲度激光干涉儀彩色共焦技術

晶圓表面測量可以在各種各樣的目標上進行測量。光電激光干涉儀檢測

光束里的光子所擁有的能量與光的頻率成正比。假若金屬里的自由電子吸收了一個光子的能量，而這能量大于或等于某個與金屬相關的能量閾（閥）值（稱為這種金屬的逸出功），則此電子因為擁有了足夠的能量，會從金屬中逃逸出來，成為光電子；若能量不足，則電子會釋出能量，能量重新成為光子離開，電子能量恢復到吸收之前，無法逃逸離開金屬。增加光束的輻照度會增加光束里光子的“密度”，在同一段時間內激發更多的電子，但不會使得每一個受激發的電子因吸收更多的光子而獲得更多的能量。換言之，光電子的能量與輻照度無關，只與光子的能量、頻率有關。光電激光干涉儀檢測