擴散型半導體應變片

這種應變片是將 P型雜質擴散到一個高電阻N型硅基底上，形成一層極薄的P型導電層，然后用超聲波或熱壓焊法焊接引線而制成（圖2）。它的優(yōu)點是穩(wěn)定性好，機械滯后和蠕變小，電阻溫度系數(shù)也比一般體型半導體應變片小一個數(shù)量級。缺點是由于存在P-N結，當溫度升高時，絕緣電阻大為下降。半導體應變片是將單晶硅錠切片、研磨、腐蝕壓焊引線，結尾粘貼在鋅酚醛樹脂或聚酰亞胺的襯底上制成的。是一種利用半導體單晶硅的壓阻效應制成的一種敏感元件。新型固態(tài)壓阻式傳感器中的敏感元件硅梁和硅杯等就是用擴散法制成的。 三坐標測量機和加工中心的校準。模切尺寸激光干涉儀缺陷檢測儀器

(3)非接觸測頭以及各種掃描探針顯微鏡。航空航天行業(yè)對此已經提出迫切要求，這是今后坐標測量機發(fā)展的關鍵技術。目前接觸式測頭已完全被國外所壟斷，非接觸測頭還沒有發(fā)展成熟，我們有參與競爭的機遇。以前較多采用的激光三角法原理受到很多限制，難以有突破性進展，但可在原理創(chuàng)新上下功夫。應該突破0.1～0.5μm分辨率。

(5)新器件，新材料。過去，科研評價體系存在偏重于整機和系統(tǒng)，忽視材料和器件的趨向。新的突破點可能出現(xiàn)在新光源、新型高頻探測器。目前探測器的響應頻率只有10的9次方，而光頻高達10的14次方，目前干涉儀實際上是起著混頻器的作用，適應探測器的不足(如果探測器的響應果真能超過光頻，干涉儀也就沒有用了)。如果探測器的性能得到顯著提高，對于通訊也是很大的突破。 深圳激光干涉儀位移激光電流以高頻調幅（~MHz）。

數(shù)控轉臺分度精度的檢測:數(shù)控轉臺分度精度的檢測及其自動補償現(xiàn)在，利用ML10激光干涉儀加上RX10轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置，以任意角度間隔進行全自動測量，其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術。它比傳統(tǒng)用自準直儀和多面體的方法不僅節(jié)約了大量的測量時間，而且還得到完整的回轉軸精度曲線，知曉其精度的每一細節(jié)，并給出按相關標準處理的統(tǒng)計結果。知曉其精度的每一細節(jié)，并給出按相關標準處理的統(tǒng)計結果。

5 指針不應彎曲，與標度盤表面間的距離要適當。對裝有反射鏡式讀數(shù)裝置的儀表應不大于(0.02L+1)MM；其余儀表應不大于(0.01L+1)MM。指針與標度尺在同一水平面上的儀表，其指針前列與標度尺邊緣的間隙應不超過(0.01L+0.8)MM。其中L 是標度尺長度，MM。刀形和絲形指針的前列至少應蓋住標度尺上較短分度線的1/2，矛形指針可為1/2～3/4；

6 檢查有無封印，外殼密封是否良好。

三相儀表應在對稱電壓和平衡負載的條件下檢驗。三相系統(tǒng)中每一個線電壓或相電壓以及電流與系統(tǒng)中相應量的平均值之差均不應大于1%。各個相電流與對應相電壓的相位差之間的差值不大于2°。 傳感頭的緊湊和模塊化設計，以及柔性玻璃纖維使得能夠在整個工作范圍內快速安裝和快速對齊。

(6)半導體激光器計量特性的研究和創(chuàng)新。半導體激光器用于計量需要解決很多問題(如線寬、定標、變頻等)。但如果解決了諸多問題以后，半導體激光系統(tǒng)比氣體激光系統(tǒng)更復雜，就不會有競爭力。有些問題在物理層面上也沒有完全解決。例如半導體激光器如果能形成雙頻，無疑是一種十分重要的特性，如果既能掃頻又有兩個相近的頻率掃描，就會成為一種新的無導軌測量工具。本專業(yè)培養(yǎng)具備精密儀器設計制造以及測量與控制方面基礎知識與應用能力，能在國民經濟各部門從事測量與控制領域內有關技術、儀器與系統(tǒng)的設計制造、科技開發(fā)、應用研究、運行管理等方面的高級工程技術人才。不穩(wěn)定的偏航和俯仰測量。天津非接觸激光干涉儀

定位器的觸發(fā)運動控制。模切尺寸激光干涉儀缺陷檢測儀器

精密機械技術

專科大學的專業(yè)課程

精密機械技術是一個大學專業(yè)課程，培養(yǎng)掌握精密機械與儀器的基礎理論和專業(yè)知識，事精密儀器與機械的設計制造，以及設備的測量控制和維護管理的高級技術應用性專門人才。

中樞能力：精密機械設計制造、信息處理、測量和控制的技能。

專業(yè)中樞課程與主要實踐環(huán)節(jié)：機械設計基礎、電工與電子學、互換性和技術測量、微機原理與應用、傳感器、信號分析與處理、控制工程基礎、工程光學基礎、精密機械與儀器設計、精密機械制造工藝學、精密測量與控制、金工實習、電工電子實習、測試與檢測實習、精密機械課程設計、畢業(yè)實習（設計）等，以及各校的主要特色課程和實踐環(huán)節(jié)。 模切尺寸激光干涉儀缺陷檢測儀器