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高精度激光干涉儀多層厚度

來源: 發布時間:2023-08-23

升降變差1能耐受機械力作用的儀表、儀表正面部分比較大尺寸小于75MM的可攜式儀表、正面比較大尺寸小于40MM的安裝式儀表、用直流進行檢驗的電磁系和鐵磁電動系儀表,其指示值的升降變差不應超過表7規定值的1.5倍。其它儀表的升降變差不應超過表的規定。2測定升降變差時,應在極性不變(當用直流檢驗時)和指示器升降方向不變的前提下,首先使被檢表指示器從一個方向平穩地移向標度尺某一個分度線,讀取標準表的讀數;然后再從另一個方向平穩地移向標度尺的同一個分度線,再次讀取標準表的讀數,標準表兩次讀數之差即為升降變差。允許根據被檢表讀數之差測定升降變差,這時應維持被測量之值不變。測定儀表升降變差時應遵守規定,若被測之量連續可調,可與測定基本誤差一同進行。角度和迴轉測量,檢測軸承間隙。高精度激光干涉儀多層厚度

干涉儀技術參數:5D/6D標準型:

1.線性:0.5ppm.

2.測量范圍:40米(1D可選80米)

3.線性分辨力:0.001um.

4.偏擺角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值

5.比較大范圍:800角秒

6.滾動角精度:1.0角秒

7.直線度精度:(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值

8.直線度比較大范圍:500um

9.垂直度精度:1角秒

10.溫度精度:0.2攝氏度

11.濕度精度:5%

12.壓力精度:1mmHg從激光器發出的光束,經擴束準直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。 高精度激光干涉儀測量探頭安裝 在線性導軌上,在一個軸上移動探頭,而線性導軌則集成在一個橋中。

1、一次線圈串聯在電路中,并且匝數很少,因此,一次線圈中的電流完全取決于被測電路的負荷電流.而與二次電流無關;2、電流互感器二次線圈所接儀表和繼電器的電流線圈阻抗都很小,所以正常情況下,電流互感器在近于短路狀態下運行。電流互感器一、二次額定電流之比,稱為電流互感器的額定互感比:kn=I1n/I2n因為一次線圈額定電流I1n己標準化,二次線圈額定電流I2n統一為5(1或0.5)安,所以電流互感器額定互感比亦已標準化。kn還可以近似地表示為互感器一、二次線圈的匝數比,即kn≈kN=N1/N2式中N1.N2為一、二線圈的匝數。 

穿心式電流互感器其本身結構不設一次繞組,載流(負荷電流)導線由L1至L2穿過由硅鋼片搟卷制成的圓形(或其他形狀)鐵心起一次繞組作用。二次繞組直接均勻地纏繞在圓形鐵心上,與儀表、繼電器、變送器等電流線圈的二次負荷串聯形成閉合回路,由于穿心式電流互感器不設一次繞組,其變比根據一次繞組穿過互感器鐵心中的匝數確定,穿心匝數越多,變比越小;反之,穿心匝數越少,變比越大,額定電流比I1/n:式中I1——穿心一匝時一次額定電流;n——穿心匝數。     膨脹計:熱膨脹和磁致伸縮測量。

雙頻激光干涉儀:在氦氖激光器上,加上一個約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應和頻率牽引效應,激光器產生1和2兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。雙頻激光干涉儀是應用頻率變化來測量位移的,這種位移信息載于f1和f2的頻差上,對由光強變化引起的直流電平變化不敏感,所以抗干擾能力強。它常用于檢定測長機、三坐標測量機、光刻機和加工中心等的坐標精度,也可用作測長機、高精度三坐標測量機等的測量系統。利用相應附件,還可進行高精度直線度測量、平面度測量和小角度測量。環境補償模塊(ECU)。天津激光干涉儀高精度測量

規定電動機的振動小于100nm。高精度激光干涉儀多層厚度

微型電流互感器稱之為“儀用電流互感器”。(“儀用電流互感器”有一層含義是在實驗室使用的多電流比精密電流互感器,一般用于擴大儀表量程。)電流互感器原理線路圖微型電流互感器與變壓器類似也是根據電磁感應原理工作,變壓器變換的是電壓而微型電流互感器變換的是電流罷了。繞組N1接被測電流,稱為一次繞組(或原邊繞組、初級繞組);繞組N2接測量儀表,稱為二次繞組(或副邊繞組、次級繞組)。

根據不同的需要,組合式電流電壓互感器分為V/V接線和Y/Y接線兩種,以計量三相負荷平衡或不平衡時的電能。 高精度激光干涉儀多層厚度

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