叉指電極制備方法包括薄膜沉積，通過化學(xué)或物理方法把厚度在微納米級別的薄膜沉積在襯底表面的微納加工方法。化學(xué)方法如化學(xué)氣相沉積、外延、熱氧化等，通常伴有副產(chǎn)物的產(chǎn)生。物理方法包括蒸鍍和濺射，是利用物理過程使被沉積材料直接沉積到襯底表面形成薄膜，不發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。本工作中薄膜沉積為電子束蒸發(fā)，是在真空條件下利用電子束進行直接加熱蒸發(fā)材料，使蒸發(fā)材料氣化并向襯底輸運，在襯底上凝結(jié)形成薄膜的方法。電子束蒸發(fā)沉積法可以制備高純薄膜同時在同一蒸發(fā)沉積裝置中可以安置多個堆塌，實現(xiàn)同時或分別蒸發(fā)，沉積多種不同的物質(zhì)。通過電子束蒸發(fā)，任何材料都可以被蒸發(fā)，不同材料需要采用不同類型的堆塌以獲得所要達(dá)到的蒸發(fā)率。陣列酶標(biāo)板和絲網(wǎng)印刷電極組成的電化學(xué)免疫傳感裝置。長沙MEMS叉指電極

電極類生物傳感器的工作分步驟大致分為以下三步:1) 由被測物的阻抗響應(yīng)可以得到正弦激勵小信號。2) 對傳感器的表面進行修飾，增強吸附被測物的能力。3) 分析目標(biāo)檢測物在傳感器表面吸附前后的阻抗變化得到量化關(guān)系。電極設(shè)計成叉指陣列形狀，可以極大提高反應(yīng)速率，有效的縮短檢測時間。同時，叉指電極具有阻抗降低、穩(wěn)定性快、信噪比高等優(yōu)點，與新技術(shù)結(jié)合構(gòu)成新型傳感器被應(yīng)用于檢測領(lǐng)域。將微叉指電極作為載體，通過電化學(xué)檢測方法與生物傳感技術(shù)相結(jié)合，能夠顯著提高電化學(xué)傳感器的檢測精度和靈敏度。浙江PI叉指電極柔性叉指電極自身的延展性實現(xiàn)與生物組織的良好接觸以保證信號監(jiān)測質(zhì)量。

在各類生物傳感器中，葡萄糖傳感器在食品、醫(yī)藥和生物等領(lǐng)域均有應(yīng)用。據(jù)資料顯示，到2030年，全球糖尿病患者達(dá)到5.5億。在診斷及*****的過程中，葡萄糖濃度檢測是必不可少的。現(xiàn)在檢測葡萄糖濃度的方法主要有比色法、熒光法、色譜法和電化學(xué)法等，其中電化學(xué)法以便捷、操作簡單、價格低廉等優(yōu)勢成為重要檢測手段。電化學(xué)法一般采用的為叉指電極或三電極系列作為檢測信號和電信號傳輸?shù)墓ぞ撸舨捎皿w內(nèi)葡糖糖檢測，則需要采用柔性電極。

叉指電極的電極部分作為電化學(xué)檢測時的平臺和電子傳遞的通道，一般使用惰性導(dǎo)電材料，用金、鉑、鋁、銀、ITO、鉻、碳等。電極材料的選擇與電極的應(yīng)用、檢測介質(zhì)的成分和檢測環(huán)境對材料的影響以及制造工藝的可行性相關(guān)，需根據(jù)實際應(yīng)用情況進行選擇。例如，ITO 導(dǎo)電玻璃電極因其透光性好、電阻低常被用于光電子器件，金電極能夠減少氧化產(chǎn)物，促進氧化還原循環(huán)常被用于污染物的檢測。目前，金仍然是電極制備的常用金屬，它突出的電學(xué)特性，可以提升微電極的導(dǎo)電性能，且兼具無毒，親和生物材料能夠偶聯(lián)疏基的特性使其擁有難以比擬的應(yīng)用優(yōu)勢。碳材料具有較寬的電位窗口而且形態(tài)多樣，有些甚至具有其他材料沒有的電學(xué)性能，因而在電極制備中是非常理想的電極材料。目前，多種新型碳基材料被用于微電極的制備，并對微電極傳感器的性能改進起到了重要作用。微叉指電極因其靈敏度高、響應(yīng)速度快、檢出限低、成本適中、攜帶方便等優(yōu)點。

叉指電極性能的影響因素主要有兩部分，一部分是電極構(gòu)成材料，主要材料有金、銀、ITO 等,金、銀電極性能較好，但是其價格較昂貴，性價比較低，而ITO電極不僅成本低，而且性能也不錯,是目前叉指電極研究較熱的材料。另一部分影響因素則是電極結(jié)構(gòu)，主要有叉指數(shù)、指長、指寬比、指間距以及電極厚度等,這些參數(shù)都會給傳感器的檢測效果帶來很大影響。用電化學(xué)方法在叉指電極上沉積納米 ZnO，隨后將鏈酶親和素修飾在納米 ZnO 上，并將生物素化的球菌抗體固定到傳感器的表面。容性生物電極通過介電層形成電容耦合完成信號采集。寧波叉指電極

柔性叉指電極具有可彎折、可延展等特性，可以模仿皮膚。長沙MEMS叉指電極

柔性叉指電極穩(wěn)定性好，靈敏度高，表面空間電場特性好，生物相容性好，在可穿戴領(lǐng)域、電子皮膚和生物測試領(lǐng)域應(yīng)用。柔性電極因具有阻抗低、快速建立穩(wěn)態(tài)信號、信噪比高等優(yōu)點，常被用作與生物非均勻體系接觸的媒介和信號轉(zhuǎn)換器。柔性叉指電極可嵌入衣物、貼附皮膚等方式感知外部環(huán)境。柔性電極是指可以承受彎曲、扭轉(zhuǎn)、拉伸、折疊等形變，并且在形變狀態(tài)下依然能夠正常工作的電極材料。其特點是具有高導(dǎo)電性、高柔韌性、使用上的耐久性等。長沙MEMS叉指電極

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