為保證叉指電極的良率和性能，所有工藝步驟均在超凈間內(nèi)完成，采用剝離工藝進(jìn)行電極制作。首先，利用熱氧化生長500 nm 二氧化硅硅片以確保襯底的絕緣性。將硅片用乙醇、超純水超聲清洗，并氮吹干燥保證表面潔凈。然后旋涂光刻膠，前烘后進(jìn)行光刻，其中不同尺寸的叉指電極選用不同尺寸的掩膜版。在光刻、顯影將電極圖形轉(zhuǎn)移至二氧化硅襯底后，用氧等離子體刻蝕去除殘膠。然后電子束蒸發(fā)沉積一層 10nm/70nm 的Cr/Au，其中Cr為金電極的黏附層。依次在乙醇、超純水中進(jìn)行超聲清洗，完成剝離后切片即得到叉指電極傳感器。容性生物電極的一個很大的優(yōu)勢便是能夠借助介電層的隔離保護(hù)作用，避免漏電流存在而造成觸電損害。沈陽叉指電極生產(chǎn)

叉指電極制備方法包括四個步驟：(1)襯底清洗。首先需要對基片進(jìn)行清洗,本工作中所用二氧化硅硅片在購得潔凈硅片的基礎(chǔ)上，再依次進(jìn)行乙醇、去離子水的超聲清洗。 (2) 光刻。光刻是一種將掩膜版上圖形轉(zhuǎn)移到襯底表面的技術(shù)，在大規(guī)模集成電路制造中有應(yīng)用，其主要利用紫外光照射光刻膠使其化學(xué)性質(zhì)改變，然后去除相應(yīng)光刻膠，得到掩模版上的圖形，進(jìn)而作為后續(xù)工藝的掩模。(3) 薄膜沉積。主要包括物理方法和化學(xué)方法沉積。(4) 剝離(lift-of)。剝離是在襯底上進(jìn)行薄膜沉積后，通過去除光刻膠的方法使附著在光刻膠上的金屬脫附，直接沉積在襯底的金屬被保留，形成電極圖形。剝離工藝的優(yōu)勢是操作簡單、成本低廉，而且去膠過程中不會對襯底產(chǎn)生刻蝕損傷。Au叉指電極研發(fā)微電極具有微創(chuàng)、無痛或微痛、成本低、和操作簡易、可降解的特點。

心血管疾病是人類死亡的首要病因，為了有效預(yù)防，需要對患者進(jìn)行實時的心電監(jiān)測。心電信號能夠直接反映心臟的工作狀態(tài)，是發(fā)現(xiàn)及預(yù)防房顫、心率失常和心肌缺血等心臟異常活動的重要依據(jù)。心電叉指電極可以將人體內(nèi)離子流轉(zhuǎn)變?yōu)榭蓹z測的電子流信號，心電電極需要具有良好的導(dǎo)電性、佩戴舒適性、出色的拉伸彎曲性能，以滿足皮膚的變形通常皮膚的形變量在 30%以內(nèi)）以及低皮膚電極阻抗，減少心電測試過程中的噪聲和運動偽影。采用納米纖維基心電電極作為技術(shù)路徑，通常由具有納米結(jié)構(gòu)的基底材料和導(dǎo)電材料制得，納米纖維基心電電極主要通過靜電紡絲制備，擁有良好的心電信號采集能力。將熱塑性聚氨酯（TPU）與聚（苯乙烯-b-丁二烯-苯乙烯）（SBS）混合液靜電紡絲制成納米纖維網(wǎng)，然后化學(xué)鍍銀制成心電電極。

柔性叉指電極由柔性襯底材料和柔性導(dǎo)電材料構(gòu)成，導(dǎo)電層作為重要部件，具有采集和傳導(dǎo)電信號的作用。目前制備柔性微電極常用的導(dǎo)電層材料包括：1、碳系材料，如碳納米管、碳纖維、碳黑、石墨烯等，其優(yōu)點是成本低、導(dǎo)電性好，化學(xué)穩(wěn)定性好；2、導(dǎo)電聚合物，如聚苯胺、聚吡咯、聚噻吩、聚乙炔等，其優(yōu)點在于良好的穩(wěn)定性和生物相容性；3、金屬氧化物，如二氧化錳、氧化鎳、四氧化三鈷等，其優(yōu)點是比熱容較高，發(fā)生化學(xué)反應(yīng)是可逆的；4、金屬，如金、鉑、銀和銠等，其優(yōu)點是優(yōu)異的導(dǎo)電性、耐熱性、受溫度影響小。叉指電極微型化、陣列化是發(fā)展趨勢。

隨著全球糖尿病患者的增多，全球血糖儀的市場也逐漸龐大，達(dá)到了近 200 億美元，在國內(nèi)的血糖儀市場中，外國企業(yè)擁有優(yōu)勢，其中以強生，羅氏，雅培這幾個常見品牌為首占據(jù)了超六成的市場份額，國產(chǎn)品牌以三諾，硅基動感為主，近年魚躍醫(yī)療也逐步開始進(jìn)入血糖市場。1968年血糖儀被發(fā)明之后，血糖儀技術(shù)逐步完善，經(jīng)歷了如水洗式、擦血式血、比色法、電化學(xué)法等幾代的技術(shù)更新，并開始向可穿戴式連續(xù)血糖儀發(fā)展。如今，市面上使用的自測血糖儀大多是電化學(xué)法血糖儀，而近年來科技的進(jìn)步，智能化的可穿戴式設(shè)備也逐步被普及，隨著人們養(yǎng)生意識的強化和對健康生活方式的追求，可穿戴式生命健康設(shè)備的需求量也在迅速提高，現(xiàn)在的血糖儀研究也開始向多部位血糖儀的方向發(fā)展，旨在實現(xiàn)對血糖變化數(shù)據(jù)的實時監(jiān)測。連續(xù)血糖檢測技術(shù)能提供隨時間變化的血糖濃度曲線，并能預(yù)測血糖濃度下一時刻的變化趨勢。叉指電極將生物檢測具有的特異性與電化學(xué)技術(shù)的準(zhǔn)確、快速等優(yōu)點，制作出集成度高、攜帶方便的微型傳感器。湖州金叉指電極

叉指電極導(dǎo)電層為金屬層，采用物理方法制備，包括蒸鍍、磁控濺射、絲網(wǎng)印刷、噴墨打印。沈陽叉指電極生產(chǎn)

電化學(xué)傳感器是一種通過傳感器與水體中相關(guān)物質(zhì)發(fā)生電化學(xué)反應(yīng)來定量測量的一種檢測 手段，以電極為載體，當(dāng)水體中某些粒子與電極表面 的物質(zhì)發(fā)生電化學(xué)反應(yīng)時，其中交流阻抗法是通過電極間的阻抗值來反映水溶液的特定物質(zhì)濃度的變化，從而可以實現(xiàn)實時測量。目前，傳感器逐步走向小型化和集成化的方向，其中叉指電極具有阻抗低，快速建立穩(wěn)態(tài)信號，信噪比高等優(yōu)點。現(xiàn)有研究表明，叉指電極的寬度、間距和厚度都是會影響傳感器靈敏度的重要參數(shù)。沈陽叉指電極生產(chǎn)

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