用于高靈敏免疫分析的微間距叉指陣列電極,如96孔U型板，用于酶或者細胞的批量檢測。微間距叉指陣列電極制備采用傳統的光刻顯影鍍膜方法，在清潔光刻基片（石英、陶瓷或玻璃材料）上用甩膠機上涂上一層光刻膠，然后在光刻機中將掩膜版與基片對準，紫外曝光將掩膜版上的圖形轉移到基片上，顯影去掉曝光部分的光刻膠，采用真空濺射在基片上依次噴涂30nm厚的Ti層和120nm厚的Au層，用有機溶劑氯仿除去基片上的感光膠后，可制備得到微間距叉指陣列金電極。電化學叉指電極是一類以微生物作為識別元件的生物傳感器。福州叉指電極技術

電極結構是影響傳感器性能的重要因素之一，電極的結構參數包括形狀、指寬度、間距、指長、厚度，指對數、指寬比和電極表面的狀態，即是否有功能化修飾等。電極厚度對信噪比影響明顯，但指數對其影響極小，減小電極寬度和間距可以提高信噪比。被測對象的形態和在傳感器表面的分布狀態也是設計微叉指電極結構的考慮因素，有研究發現電極間距約為細胞直徑的4倍時傳感器有較好的靈敏度，在一定范圍內增加電極的厚度、減小寬度也能提高傳感器的精度。細胞與電極的相對位置也影響測量靈敏度，這種客觀的影響因素為微流控技術在微又指電極傳感器_上的應用提供了機遇，微流控技術可以控制被測細胞在微叉指電極傳感器表面的位置分布。河北MEMS叉指電極生物傳感器是一種以生物活性單元為敏感元件, 結合化學、物理轉換元件。

叉指電極制備方法包括薄膜沉積，通過化學或物理方法把厚度在微納米級別的薄膜沉積在襯底表面的微納加工方法。化學方法如化學氣相沉積、外延、熱氧化等，通常伴有副產物的產生。物理方法包括蒸鍍和濺射，是利用物理過程使被沉積材料直接沉積到襯底表面形成薄膜，不發生化學反應。本工作中薄膜沉積為電子束蒸發，是在真空條件下利用電子束進行直接加熱蒸發材料，使蒸發材料氣化并向襯底輸運，在襯底上凝結形成薄膜的方法。電子束蒸發沉積法可以制備高純薄膜同時在同一蒸發沉積裝置中可以安置多個堆塌，實現同時或分別蒸發，沉積多種不同的物質。通過電子束蒸發，任何材料都可以被蒸發，不同材料需要采用不同類型的堆塌以獲得所要達到的蒸發率。

三電極體系需要配備一種可以實現控制參比電極的電路，維持施加在工作電極上的電壓恒定，以保證三電極始終工作在穩定狀態下。為防止采集到的電化學原始信號受到工頻信號以及電極表面附著的離子等其他干擾因素的影響，需要對采樣信號進行濾波處理，通過 IV 轉換電路將微弱的電流信號放大并轉換成電壓信號供 ADC 模塊讀取，同時通過補償模塊檢測對系統產生的干擾因素。經過 MCU 內部的數據處理濾波與校準得出更加準確的血糖濃度，通過藍牙通信模塊將實時記錄的血糖濃度傳輸至設備端，記錄下血糖濃度變化曲線。生物叉指電極一般分為生物電檢測電極與刺激電極。

柔性襯底電極主要采用絲網印刷工藝進行制備，再經低溫固化即得成品，用于采集生物電信號的傳感器。目前常使用的柔性基底材料主要有聚二甲基硅氧烷(PDMS)，聚對苯二甲酸乙二醇(PET)，聚亞胺(PI)，聚丙烯(PP) 或聚氨基甲酸醋(PU) 等。影響柔性襯底電極性能的因素主要有電極漿料的配比,導電聚合物的組成，電極結構的設計，低溫固化的溫度及時間等。具有設計靈活、小巧輕便、結構簡單、制備簡便，成本低廉等優點。低溫固化型銀漿一般是由片狀銀粉、球狀銀粉（含量較少，一般為控制滑移添加保障電學性能）、有機溶劑（稀釋劑）、樹脂（一般為環氧樹脂）、固化劑以及部分助劑組成。容性生物電極通過介電層形成電容耦合完成信號采集。哈爾濱PI叉指電極

對醫用叉指電在低成本、可設計、柔性化等方面等提出更高的要求。福州叉指電極技術

作為人體健康的重要指標之一,葡萄糖的檢測一直是研究熱點。傳統的葡萄糖檢測主要以血液中的葡萄糖為檢測對象，其優勢在于待測物濃度較高，是臨床診斷的金標準。但是，血糖檢測的有創取樣方式既會給患者帶來痛苦。相比之下。組織間液中的葡萄糖檢測的采集過程具有無創、連續的優點。在檢測方法方面，CGM傳感器多基于葡萄糖氧化酶,這種方法具有靈敏度高、選擇性好的優點，但由于酶的使用易受環境溫度、pH 值以及濕度等條件的影響限制了其應用。福州叉指電極技術

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