由于硅加工技術的快速發展，早期微針的加工技術研究更多地圍繞硅材料展開。MEMS微針是直徑為幾十微米、長度在100μm以上的針狀結構。因為微針的尺寸小，在刺入皮膚中不易觸及痛覺神經而產生痛疼感，因此用這種MEMS微針來給藥具有無痛、可以自我給藥操作的技術優勢。由于微針需要具有良好的力學性能和生物相容性才能滿足其應用的安全性要求，所以微針的選材、結構設計及其相應的制備技術直接關系到微針的功效。MEMS微針從問世以來由于其顯而易見的技術優勢引起了研究人員的關注。空心微針可以分為異面中空微針和共面中空微針。浙江微針生產

利用化學溶液濕法腐蝕的微針可以降低微針的制作成本，制作過程中不需要大型的刻蝕設備，在普通實驗室就能夠完成工藝制作。但腐蝕過程比較難以精確控制，并且需要進行實時觀察，而且不確定因素還較多。溶液濕法腐蝕對硅片的晶向、腐蝕的溫度、腐蝕的時間和掩膜形狀的要求都是非常嚴格的。由于掩膜形狀和腐蝕晶向的選擇性，溶液濕法腐蝕形成的微針形狀像山峰，所以比干法刻蝕形成的微針短，直徑比較大，所以單位面積的微針數量比干法刻蝕的微針數量少。蘇州美容微針電極微針可與其他促滲方法聯合，聯合應用極大拓寬了經皮給藥藥物的應用范圍。

微針透皮給藥不僅可以更好地處理因化學和物理滲透給人體帶來的疼痛感和創傷,而且還能提高給藥效率。空心微針就可有效實現透皮給藥,就像注射時所使用的針頭一樣搭載輸送液體藥物。和其他類型的微針相比,空心微針更加適用于高劑量藥物和生物大分子藥物的傳輸。空心微針分為單一空心微針和面積較大的微針陣列。單一空心微針與普通注射針頭相比起來沒有痛感,讓患者的接受度更高;面積較大的微針陣列是由多個微針排列所構成的,在一次給藥過程中可以覆蓋的皮膚面積更大,相較于單一空心微針而言起效更快、效率更高,因而有著較高的生物利用率。

20世紀90年代,微針由硅制成。硅具有晶體結構，硅的濕法腐蝕是各向異性。其性質取決于晶格中的排列,顯示出不同的彈性模量。物理特性使硅成為一種通用材料。硅襯底可以精確制造,且能批量生產,因此可以生產不同尺寸和形狀的微針。但硅的成本及其耗時復雜的制造工藝限制了硅在微針中的應用。此外,還有一些生物相容性問題,因為硅很脆,可能會一部分斷裂并留在皮膚中,從而導致出現健康問題。為了改善硅微針的脆性、提高微針的生物相容性,可以用濺射方法在其表面沉積一層金屬膜。微針給藥時可以將藥物涂抹在針尖處。

隨著人們物質生活水平的提高，大家對生命健康越來越重視，醫療領域得到了空前發展，微針陣列器件應運而生，為生物醫學領域注入了新的活力，形成了新的安全高效 的治方法，具有以下優點：一是微針陣列具有尺寸小，生物相容性好等特點。可以應用于傳統醫療器械不能觸及的狹小空間；二是微針陣列的接觸面積小，可以為患者提供更好的運動自由度，給使用者帶來更小的損傷；三是微針的精度高，能夠準確控制刺入皮膚的深度，可應用于精密醫療儀器。微針可代替傳統的注射給藥的方式。浙江固體微針樣品

硅微針的制造方法已經趨于完善。浙江微針生產

電極微針陣列結構應滿足以下特點：1）微針陣列高度應該大于15um小于300um。 根據皮膚的結構特點，如果微針陣列的高度小于10um則不能穿過絕緣角質層，從而無法正常提取電信號。如果微針陣列的高度大于300um，則會觸及到包含大量血管和神經的真皮層，會使人產生疼痛感。2）微針陣列的密度應當適中。如果微針陣列密度太小，就會導致電極的阻抗過大，影響提取的信號質量。如果微針陣列的密度太大，就會為微針陣列刺入皮膚充分跟體液接觸造成障礙，也會影響提取的信號質量；3）微針應該具有尖銳的針尖并且其表面要盡量平滑。平滑的表面使對皮膚的損傷降低到小；4）微針陣列的結構應該盡量簡單，這樣就可以避免繁瑣的工藝步驟，降低電極的制作成本。浙江微針生產