很早之前就有人提出了微針電極的概念，但由于當時半導體加工領域技術的限制，還無法將其制造出來。經過了多年的摸索，其制作和封裝技術依然不夠成熟。有人研究了不同類型的微針陣列的應用場景：一種用于體表提取生理信號的干電極實心微針陣列，它不需要通過復雜的外科手術植入體內，只是將其貼在皮膚表面就可以獲得心電、腦電、肌電等生理信號。與傳統的體表電極相比，皮膚干電極使用過程非常簡單，不需要皮膚準備和涂抹導電膏。另一種是用于藥物緩釋的中空微針電極，這種電極可以通過皮膚將某種藥物按固定劑量勻速地遞送到病人的體內，從而避免了靜脈注射和打針為患者帶來的痛苦。涂層微針是將藥物涂抹于整個針體。常州低晶微針晶圓

電極微針陣列結構應滿足以下特點：1）微針陣列高度應該大于15um小于300um。 根據皮膚的結構特點，如果微針陣列的高度小于10um則不能穿過絕緣角質層，從而無法正常提取電信號。如果微針陣列的高度大于300um，則會觸及到包含大量血管和神經的真皮層，會使人產生疼痛感。2）微針陣列的密度應當適中。如果微針陣列密度太小，就會導致電極的阻抗過大，影響提取的信號質量。如果微針陣列的密度太大，就會為微針陣列刺入皮膚充分跟體液接觸造成障礙，也會影響提取的信號質量；3）微針應該具有尖銳的針尖并且其表面要盡量平滑。平滑的表面使對皮膚的損傷降低到小；4）微針陣列的結構應該盡量簡單，這樣就可以避免繁瑣的工藝步驟，降低電極的制作成本。北京硅微針研發合作空心微針可以分為異面中空微針和共面中空微針。

使用微針來調節脫發的原理是利用微針擁有超微針頭的特點,在頭部表層皮膚打開無數的微小通道,它能夠對人體自身的內源性生長因子進行刺激從而產生釋放,達到促進頭皮營養敷料中的有效成分滲透、吸收而發揮作用,提升吸收效果,使頭發快速生長。Chang發現局部應用丙戊酸滾針可刺激生長期的毛孔,增加5-溴脫氧尿嘧啶核苷和成纖維細胞生長因子,并可以上調血管內皮生長因子受體、FGF-2、表皮細胞生長因子等生長因子m-RNA水平,從而促進生長期毛孔形成。

微針在醫學、美容等領域的應用和更多類型微針的不斷涌現,促使著這項科技的進一步發展。從原來的單一空心微針到現如今的空心微針陣列,使用起來也更為高效。微針陣列不僅結構堅固,而且針尖鋒利、作用面積大,因此更加便于穿刺且無疼痛感。微針的制作方法也在與時俱進,成品率高、成本低的優點也為其批量化生產帶來幫助。經皮給藥等依靠微針陣列技術作為輔助工具的手段，價格也因此下調,可以進入大眾市場。此外,電解質分析裝置也可以用到微針陣列,達到無痛感少量抽血并能有效分析其中各種離子濃度。隨著新型加工材料和技術的進展,可以建立統一的微針技術標準,以提高微針技術的安全性。

制備硅微針的工藝流程如下。首先通過濕法氧化在硅片兩面形成二氧化硅層, 對正面的 二氧化硅層進行圖形化; 接著進行深反應離子刻蝕, 當硅片被刻穿時,二氧化硅層阻止了刻蝕, 刻蝕只能向其他方向進行, 從而形成半球形結構,這就是沖孔效應; 再對硅片進行氧化, 去除底部的二氧化硅層, 后面刻蝕硅片得到微針陣列。該法充分利用硅深 刻蝕能力及硅和二氧化硅兩種材料間的選擇性加工得到批量化中空硅微針陣列, 剩余的硅成為二氧化硅微針的支撐體,并可進一步與微流體系統鍵合集成。微針可以用作透皮給藥的輔助工具。南京實心微針陣列

微針既需要有足夠的機械強度穿透皮膚，又需要制造微針的材料有一定的安全性。常州低晶微針晶圓

首批微針是用硅加工工藝制備的，但是其他的材料如不銹鋼、玻璃、陶瓷、麥芽糖、半乳糖和各種聚合物等也可以用來加工制備微針。在過去的幾年里，研究人員用了大量的方法來制備各種各樣的微針，包括傳統的微電子制造工藝如化學各向同性刻蝕、注模、反應離子刻蝕、表面處理技術、多晶硅微鑄造、光刻-電鑄-復制技術和激光束鉆孔。除此之外微針的制備還有著不同的設計以及不同的類型，兩種基本的設計是同平面微針和異平面微針。當然也有同平面和異平面的相結合的微針。同平面微針的設計中，微針平行于微加工表面，而在異平面微針設計中微針垂直于微加工表面。常州低晶微針晶圓