利用化學溶液濕法腐蝕的微針可以降低微針的制作成本，制作過程中不需要大型的刻蝕設備，在普通實驗室就能夠完成工藝制作。但腐蝕過程比較難以精確控制，并且需要進行實時觀察，而且不確定因素還較多。溶液濕法腐蝕對硅片的晶向、腐蝕的溫度、腐蝕的時間和掩膜形狀的要求都是非常嚴格的。由于掩膜形狀和腐蝕晶向的選擇性，溶液濕法腐蝕形成的微針形狀像山峰，所以比干法刻蝕形成的微針短，直徑比較大，所以單位面積的微針數量比干法刻蝕的微針數量少。為了提高微針的生物相容性，可以在表面沉積一層金屬。浙江微針生產

目前，文獻中報道較多的干電極的制作材料主要包括：單晶硅、金屬（鈦、鎳、不銹鋼）、 高分子聚合物和玻璃等。有人在單晶硅片上采用深反應離子刻蝕技術工藝制備了高度較高的實心微針陣列。有人在鈦薄板上利用微加工工藝制備了鈦微針用于經皮給藥系統的研究。有人利用深曝光的方法制備了甲基丙稀酸甲酯（PMMA）微針用于腦機接口系統。雖然干電極的制作材料多種多樣，其基材的選擇主要考慮以下幾個因素：1）材料的生物相容性；2）微針陣列的機械強度；3）材料加工工藝的復雜度及工藝成本。徐州中空微針設計隨著研究的深入，新型的微針也陸續被開發出來。

20世紀90年代,微針由硅制成。硅具有晶體結構，硅的濕法腐蝕是各向異性。其性質取決于晶格中的排列,顯示出不同的彈性模量。物理特性使硅成為一種通用材料。硅襯底可以精確制造,且能批量生產,因此可以生產不同尺寸和形狀的微針。但硅的成本及其耗時復雜的制造工藝限制了硅在微針中的應用。此外,還有一些生物相容性問題,因為硅很脆,可能會一部分斷裂并留在皮膚中,從而導致出現健康問題。為了改善硅微針的脆性、提高微針的生物相容性,可以用濺射方法在其表面沉積一層金屬膜。

用于藥物遞送的微針概念,首先出現在1971年美國申請的一項 (1976年授權),微針到現在已經發展了40多年。微針可以由多種材料制成, 包括聚合物、金屬、硅、陶瓷等?，F有制備的固體微針、涂層微針、中空微針、溶解微針和水凝膠微針用于遞送各種藥物分子。基于微針的疫苗與IM相比,除了具有一樣的免疫效果外,還有具有其他優勢,如提高患者的依從性、微創、緩解醫護人員的工作量外,還具有減少接種劑量、降低生產成本、提高疫 苗穩定性、簡化供應鏈等優勢。利用濕法腐蝕制作的硅微針為八邊形棱錐。

在使用紫外壓印原理制備固體實心微針模具時,通常采用MEMS技術,但此種方法會造成微針模具損傷,進而導致制作成本提高。秉承綠色化學的原則,盡可能地節約成本、降低原料損耗,就需要避免模具的損壞。因此在制備過程中,可通過使用二次轉模聚乳酸工藝,來制備新的聚二甲基硅氧烷(PDMS)微針模具,選用PDMS是因為其具有較為優越的脫模性和柔韌性。在進行微針的制備前,要對所使用材料進行預處理，包括用乙醇溶液來消毒、凈化PDMS微針模具,且風干后方可執行后續操作。中空微針可以用金屬、玻璃和硅等材料制成。浙江固體微針樣品

微針對生物相容性要求比較高。浙江微針生產

心電圖可記錄心臟的電活動過程,它對心臟基本功能及其病理研究方面具有重要的參考價值。傳統的生物電勢電極是由Ag/AgCl制作而成的, 這種電極有很多缺點: 1) 需要皮膚準備。 2)使用電解凝膠很不方便,會給人體帶來不適感。 3)一次性,不能重復使用。基于微針陣列的微電極可刺穿皮膚的角質層, 這樣就避開了皮膚角質層高阻抗的特性,與傳統電勢電極相比,不需要皮膚準備和電解凝膠,使用方便,有利于長期測量使用。 L.M.Yu利用空心硅微針制作出了用于心電圖測試的電極。這種電極能獲得高信噪比的信號,而且使用方便,對人體沒有什么副作用,比較適合老年人在家使用。浙江微針生產