硅基微針是采用單晶硅材料加工制備而成，采用半導體光刻、刻蝕等加工工藝，頂端直徑可以達到幾十納米。硅微針一般長度在80～300um，主要穿刺表皮層，達到皮膚的真皮層，但不會刺到皮下組織，不會接觸到皮下組織的末梢神經，所以使用過程一般無疼痛感，并且不會有出血現象。硅微針也用來作為注塑模具，通過翻模注塑工藝，制備可溶性微針產品。目前我司生產的微針分為低晶微針、中晶微針、高晶微針和超高晶微針，其中低晶微針針高范圍在100um~120um，針間距為400um；中晶微針針高范圍在120um~180um，針間距為400um；高晶微針針高范圍在180um~250um，針間距為650um；超高晶微針針高范圍在250um~300um，針間距為650um；芯片尺寸可根據客戶要求定制。水溶性微針是使用可生物降解的材料制成。徐州中空微針技術

空心微針與微米級的注射針較為相似,一樣是輸送液體成分至皮內。蔣宏民探索出了一種利用MEMS技術結合傳統光刻和傾斜旋制備環氧樹脂中空微針陣列的方法。首先,把玻璃基片旋涂上SU8膠,將基片傾斜,在傾斜的基片和掩模版上設置微針的頂角，角度為基片和掩模版傾斜角度的二倍,進行紫外光旋轉曝光;第二步,將基片和掩模版經熱烘處理,在基片表面上旋涂第二層SU8光刻膠,再次經熱烘處理后進行旋轉曝光,經第三次熱烘處理后,顯影得到SU8膠凹錐結構層;第三步,在SU8膠凹錐結構層上制備下模層,在下模層上濺射,制得鉻銅復合金屬層;第四步,在鉻銅復合金屬層上采用與第三步相同的方式制備上模層,即可得到完整的空心微針陣列模具。環氧樹脂填充入空心微針陣列模具中,經真空固化后再進行打磨處理,然后脫模,就可得到由環氧樹脂制成的空心微針陣列。江蘇中空微針生產微針需要穿透皮膚的角質層才能有效果。

隨著人們物質生活水平的提高，大家對生命健康越來越重視，醫療領域得到了空前發展，微針陣列器件應運而生，為生物醫學領域注入了新的活力，形成了新的安全高效 的治方法，具有以下優點：一是微針陣列具有尺寸小，生物相容性好等特點。可以應用于傳統醫療器械不能觸及的狹小空間；二是微針陣列的接觸面積小，可以為患者提供更好的運動自由度，給使用者帶來更小的損傷；三是微針的精度高，能夠準確控制刺入皮膚的深度，可應用于精密醫療儀器。

Lee 在 US.Pat.No.5250023 中公開了一種透皮藥物釋放器件，包含許多直徑在 50~400 微米，長度在 200~2000 微米的皮膚針 (skin needle)，針的材質是不銹鋼的，用于改進蛋白質或核酸的透皮釋放。Prausnitz 在 US Pat.No6503231公開了一種用MEMS技術在單晶硅材料上制作圓錐形多孔微針的方法，該器件用于改進藥物的透皮釋放效率。該方法具體是利用光刻技術在單晶硅表面形成圖案，然后利用深離子反應蝕刻技術形成圓錐形微針，但是該方法制作的微針太尖，在使用過程中有的針頭會折斷。為了更好地滿足藥物釋放對器件的要求，即產生更小的創傷或切口，以更大的效率傳遞藥物，使藥物的管理和使用更加容易，開發具有生物相容性的微針是非常有必要的。微針在醫學、生物、美容等領域有很廣泛的應用。

目前，文獻中報道較多的干電極的制作材料主要包括：單晶硅、金屬（鈦、鎳、不銹鋼）、 高分子聚合物和玻璃等。有人在單晶硅片上采用深反應離子刻蝕技術工藝制備了高度較高的實心微針陣列。有人在鈦薄板上利用微加工工藝制備了鈦微針用于經皮給藥系統的研究。有人利用深曝光的方法制備了甲基丙稀酸甲酯（PMMA）微針用于腦機接口系統。雖然干電極的制作材料多種多樣，其基材的選擇主要考慮以下幾個因素：1）材料的生物相容性；2）微針陣列的機械強度；3）材料加工工藝的復雜度及工藝成本。生物醫學和MEMS的發展推動了微針在藥物傳輸與分析等相關領域的應用。江蘇超高晶微針生產

隨著新型加工材料和技術的進展,可以建立統一的微針技術標準,以提高微針技術的安全性。徐州中空微針技術

微針作為透皮給藥的新型方式,微針透皮給藥具有微創、易制備、患者易用藥優點,在病癥、自身免疫性疾病等方面能起到很好的效果。對于病癥這一方面,微針主要還是通過遞送免疫檢查點的抑制劑來進行的,利用微針可以進行局部給藥的特點,只需相對較低劑量的藥物就能夠達到預期的治效果,同時還可以降低自身免疫功能紊亂的風險。微針透皮給藥與皮下注射相比,微針在遞送不同抗原或多肽時,表現出的皮膚滯留時間更長,自身反應性細胞增殖減少,進而誘導耐受。徐州中空微針技術