微流控芯片在石英和玻璃的加工中，常常利用不同化學方法對其表面改性，然后可以使用光刻和蝕刻技術將微通道等微結構加工在上面。玻璃材料的加工步驟與硅材料加工稍有差異，主要步驟有:1)在玻璃基片表面鍍一層 Cr，再用甩膠機均勻的覆蓋一層光刻膠；2)利用光刻掩模遮擋，用紫外光照射，光刻膠發生化學反應；3)用顯影法去掉已曝光的光膠，用化學腐蝕的方法在鉻層上腐蝕出與掩模上平面二維圖形一致的圖案；4)用適當的刻蝕劑在基片上刻蝕通道；5)刻蝕結束后，除去光刻膠，打孔后和玻璃蓋片鍵合。標準光刻和濕法刻蝕需要昂貴的儀器和超凈的工作環境，無法實現快速批量生產。微流控芯片檢測技術是什么？天津微流控芯片之PI柔性器件

標準化PDMS芯片產線：公司自建的PDMS芯片產線采用全自動化模塑工藝，涵蓋原料混煉、真空脫泡、高溫固化（80℃/2 h）及等離子親水化處理等關鍵環節。產線配備高精度模具（公差±2 μm）與光學檢測系統，可批量生產單分子檢測芯片、液滴生成芯片等產品。例如，液滴芯片通過流聚焦結構生成單分散乳液（CV<3%），通量達10,000滴/秒，用于單細胞RNA測序時，細胞捕獲效率超過95%。此外，PDMS芯片的表面改性技術（如二氧化硅涂層）可降低生物污染，在長期細胞培養中保持表面親水性超過30天。該產線已為多家IVD企業提供定制化服務，例如開發的核酸快檢芯片，將樣本到結果的時間縮短至30分鐘，靈敏度達98%，成為基層醫療機構的主要檢測工具。浙江微流控芯片方法微流控芯片技術用于基因測序。

微流體的操控的難題：自動精確地操控液體流動是微流控免疫芯片的主要挑戰之一。目前通常依賴復雜的通道、閥門、泵、混合器等，通過控制閥門的開關實現多步驟反應有序進行。盡管各種閥門的尺寸很小，但使閥門有序工作需要龐大的外部泵、連接器和控制設備，從而阻礙了芯片的集成性、便攜性和自動化。為盡可能減少驅動泵等輔助設備以使系統小型化，Mauk等研究人員結合層壓、柔韌的“袋”和“膜”結構來減少或消除用于流體控制的輔助儀器，通過手指按壓充氣囊或充液囊實現流體驅動。此外研究人員還嘗試通過復雜的多層設計，更利于控制試劑加載、液體流動，如Furutani等人開發了一種6層芯片疊加黏合而成的光盤形微流控設備，每一層都有其特定功能，如加載孔、儲液池、反應腔等，盡可能避免降低敏感性。

微針電極與組織液提取芯片的創新加工技術：微針電極作為生物檢測與給藥的前沿器件，需兼顧機械強度與生物相容性。公司采用干濕結合刻蝕工藝，在硅或硬質塑料基板上制備直徑10-100μm、高度500-1000μm的微針陣列，針尖曲率半徑控制在5μm以內，確保穿刺過程的低創傷性。針對類***電生理記錄需求，開發了“觸凸”電極結構，在微針頂端集成納米級金屬電極（如金/鉑薄膜），實現對單個細胞電信號的高靈敏度捕獲。同時，微針陣列可用于組織液提取，通過中空結構設計與毛細作用，在30秒內完成微升量級體液采集，避免傳統**的痛苦與***風險。該技術結合表面親疏水修飾，解決了微針堵塞與生物污染問題，已應用于連續血糖監測芯片與藥物透皮遞送系統，為可穿戴醫療設備提供**組件支持。在微流控芯片上檢測所需要被檢測的樣本量體積往往只需要微升級別。

單分子檢測用PDMS芯片的超凈加工與表面修飾：單分子檢測對芯片表面潔凈度與非特異性吸附控制要求極高，公司建立了萬級潔凈車間環境下的PDMS芯片超凈加工流程。從硅模清洗（采用氧等離子體處理去除有機殘留）到PDMS預聚體真空脫氣（真空度<10Pa），每個環節均嚴格控制顆粒污染，確保芯片表面顆粒雜質<5μm的數量<5個/cm2。表面修飾采用硅烷化試劑（如APTES）與親水性聚合物（如PEG）層層自組裝，將蛋白吸附量降低至<1ng/cm2，滿足單分子熒光成像對背景噪聲的嚴苛要求。典型產品單分子免疫芯片可檢測低至10pM濃度的生物標志物，較傳統ELISA靈敏度提升100倍。公司還開發了芯片表面功能化定制服務，根據客戶需求接枝抗體、DNA探針等生物分子，實現“即買即用”的檢測芯片解決方案，加速單分子檢測技術的臨床轉化。利用微流控芯片對糖尿病做檢測。寧夏微流控芯片設備工程

單分子級 PDMS 芯片產線通過超凈加工，提升檢測靈敏度至單分子級別。天津微流控芯片之PI柔性器件

硬質塑料微流控芯片的耐候性設計與工業應用：在工業檢測與環境監測領域，硬質塑料微流控芯片因耐高低溫、抗化學腐蝕的特性成為優先。公司針對PMMA、PS等材料開發了紫外穩定化處理工藝，使芯片在-20℃至60℃溫度范圍內保持結構穩定，適用于戶外水質監測與工業過程控制。表面親疏水改性技術可根據檢測需求調整，例如在油液雜質檢測芯片中，疏水表面有效排斥油相，確保固體顆粒在流道內的高效捕獲；在酸堿濃度檢測芯片中，親水性涂層促進電解液均勻分布，提升傳感器響應速度。配合熱壓成型工藝的高精度復制能力，單芯片流道尺寸誤差<1%，滿足工業自動化設備對重復性的嚴苛要求。典型應用包括潤滑油顆粒計數芯片、化工反應過程監測芯片，其低成本與高可靠性優勢推動了微流控技術在非生物領域的規模化應用。天津微流控芯片之PI柔性器件