ThinXXS公司Thomas Stange博士認為，雖然原型設計價格高且有風險，微制造技術已不再是微流控產品商業化生產的主要障礙。對于他們公司所操縱的高價藥品測試和診斷市場，校準和工藝慣性才是主要的障礙。ThinXXS于6月推出了一款新的微芯片產品QPlate，同時宣稱該產品結合了MEMS硅微處理、微鑄技術以及印制電路板技術。QPlate是與丹麥Sophion Bioscience公司合作開發的，是QPatch-16 system的組成部分，QPatch-16 system可平行的測量16個細胞離子通道。國內微流控芯片制造商有哪些？MEMS微流控芯片產業化

高標準PDMS微流控芯片產線的批量生產能力：依托自研單分子系列PDMS芯片產線，公司建立了從材料制備到成品質檢的全流程標準化體系。PDMS芯片生產包括硅模制備、預聚體澆筑、固化切割、表面改性及鍵合封裝五大工序，其中關鍵環節如硅模精度控制（±1μm）、表面親疏水修飾（接觸角誤差<5°）均通過自動化設備實現，確保批量產品的一致性。產線配備光學顯微鏡、接觸角測量儀及壓力泄漏測試儀，對芯片流道尺寸、密封性能及表面特性進行100%全檢，良品率穩定在98%以上。典型產品包括單分子免疫檢測芯片、數字ELISA芯片及細胞共培養芯片，單批次產能可達10,000片以上。公司還開發了PDMS與硬質卡殼的復合封裝技術，解決了軟質芯片的機械強度不足問題，適用于自動化檢測設備的集成應用，為生物制藥與體外診斷行業提供了可靠的批量供應保障。湖南微流控芯片的傳感器推動微流控芯片技術的進步。

微流控芯片在石英和玻璃的加工中，常常利用不同化學方法對其表面改性，然后可以使用光刻和蝕刻技術將微通道等微結構加工在上面。玻璃材料的加工步驟與硅材料加工稍有差異，主要步驟有:1)在玻璃基片表面鍍一層 Cr，再用甩膠機均勻的覆蓋一層光刻膠；2)利用光刻掩模遮擋，用紫外光照射，光刻膠發生化學反應；3)用顯影法去掉已曝光的光膠，用化學腐蝕的方法在鉻層上腐蝕出與掩模上平面二維圖形一致的圖案；4)用適當的刻蝕劑在基片上刻蝕通道；5)刻蝕結束后，除去光刻膠，打孔后和玻璃蓋片鍵合。標準光刻和濕法刻蝕需要昂貴的儀器和超凈的工作環境，無法實現快速批量生產。

微流控芯片,這個會通過檢測血清中infection疾病的特異性抗體，有助于調查人群中疾病流行情況、監測疾病的傳播的情況，并確定infected患者。研究人員開發一種高通量的微流控熒光免疫芯片，可以同時檢測50份血清樣本中多種COVID 19抗體，在COVID 19的前兩周內，該方法的敏感度為95%、特異度為91%，對有癥狀患者，確診率為100%。Dixon等推出一款用于檢測風疹病毒IgG的數字微流控診斷平臺，無需樣品預處理且所有后續步驟都由平臺自動進行。硬質塑料微流控芯片可加工 PMMA、COC 等材質，滿足工業檢測與 POCT 需求。

玻璃基微流控芯片的精密刻蝕與鍵合工藝：玻璃因其高透光性、化學穩定性及表面平整性，成為光學檢測類微流控芯片的理想材料。公司采用濕法刻蝕與干法刻蝕結合工藝，在玻璃基板上實現1-200μm深度的微流道加工，配合雙面光刻對準技術，確保流道結構的三維高精度匹配。刻蝕后的玻璃芯片通過高溫鍵合（300-450℃）或陽極鍵合實現密封，鍵合強度可達5MPa以上，耐受高壓流體傳輸（如100kPa壓力下無泄漏）。典型應用包括熒光顯微成像芯片、拉曼光譜檢測芯片，其光滑的玻璃表面可直接進行生物分子修飾，用于DNA雜交、蛋白質吸附等反應。公司在玻璃芯片加工中攻克了大尺寸基板（如4英寸晶圓）的均勻刻蝕難題，通過優化刻蝕液配比與等離子體參數，將流道深度誤差控制在±2%以內，滿足前端科研與工業檢測對芯片一致性的嚴苛要求。完善 PDMS 芯片產線覆蓋來料加工、生產、質檢，支持高標準批量交付。黑龍江微流控芯片的技術服務

從設計到硬質塑料芯片成型的快速工藝，大幅縮短研發周期與試產成本。MEMS微流控芯片產業化

安捷倫在微流控技術平臺上的三個主要產品是Agilent 2100、 Bioanalyzer/5100、 Automated Lab-on-a-Chip （后有斯坦福大學Stephen Quake研究小組開發的微流體控制因素大規模地綜合應用和瑞士Spinx Technologies開發的激光控制閥門。澳大利亞墨爾本蒙納士大學的研究者正在開發可在微通道內吸取、混合和濃縮分析樣品的等離子體偏振方法。等離子體不接觸工作流體便可產生“推力”，具有維持流體穩定流動，對電解質溶液不敏感也不受其污染的優點。瑞士蘇黎士聯邦工業大學的David Juncker認為，流體的驅動沒有必要采用這類高新技術，利用簡單的毛細管效應就可以驅動流體通過微通道。MEMS微流控芯片產業化