深硅刻蝕工藝在高深寬比結構中的技術突破：深硅刻蝕（DRIE）是制備高深寬比微流道的主要工藝，公司通過優化Bosch工藝參數，實現了深度100-500μm、寬深比1:10至1:20的微結構加工。刻蝕過程中采用電感耦合等離子體（ICP）源，結合氟基氣體（如SF6）與碳基氣體（如C4F8）的交替刻蝕與鈍化，確保側壁垂直度>89°，表面粗糙度<50nm。該技術應用于地質勘探模擬芯片時，可精確復制地下巖層的微孔結構，用于油氣滲流特性研究；在生化試劑反應腔中，高深寬比流道增加了反應物接觸面積，使酶促反應速率提升40%。公司還開發了雙面刻蝕與通孔對齊技術，實現三維立體流道網絡加工，為微反應器、微換熱器等復雜器件提供了關鍵制造能力，推動MEMS技術在能源、環境等領域的跨學科應用。支持 0.5-5μm 微米級尺度微流控芯片加工，滿足單分子檢測等高精需求。浙江微流控芯片檢測系統

目前微流控創新的許多應用都被報道用于惡性tumour的檢測和cure。據報道，apparatus微流控芯片用于研究特定身體（如大腦，肺，心臟，腎臟，腸道和皮膚）的生理過程。值得注意的是，微流控創新在之前的COVID 19大流行形勢中發揮著重要作用，特別是在cure策略和冠狀病毒顆粒分析中，通過與qRT-PCR策略相結合。因此，微流控創新技術已證明它是一種優越的技術。基于這些事實，可以得出結論，微流控芯片在復制生物體的復雜性之前還有很長的路要走。河北數字微流控芯片微孔陣列技術實現液滴陣列化，用于數字 PCR、高通量藥物篩選等場景。

硅片微流道加工在微納器件中的應用拓展：硅片作為MEMS工藝的主流材料，在微流控芯片中兼具機械強度與加工精度優勢。公司利用深硅刻蝕（DRIE）技術實現高深寬比（>20:1）微流道加工，深度可達500μm以上，適用于高壓流體控制、微反應器等場景。硅片表面通過熱氧化或氮化處理形成絕緣層，可集成微電極、壓力傳感器等功能單元，構建“芯片實驗室”（Lab-on-a-Chip）系統。例如，在腦機接口柔性電極芯片中，硅基微流道與鉑銥電極的集成設計，實現了神經信號記錄與藥物微灌注的同步功能，其生物相容性通過表面PEG涂層優化，可長期植入體內穩定工作。公司還開發了硅片與PDMS、玻璃的異質鍵合技術，解決了不同材料熱膨脹系數差異導致的應力問題，推動硅基微流控芯片在生物醫學、環境監測等領域的跨學科應用。

模型生物微流控芯片的設計Choudhary等人設計了多通道微流控灌注平臺，用于培養斑馬魚胚胎并捕獲胚胎內各種組織和apparatus的實時圖像。其中包含三個不同的部分。這些包括一個微流控梯度發生器，一排八個魚缸和八個輸出通道。在魚缸中，魚胚胎被單獨放置。流體梯度發生器平臺支持以劑量依賴性方式分析藥物和化學品，具有高重現性和準確性。它提供了一個獨特的灌注系統，確保介質均勻恒定地流向魚缸，并有可能有效去除廢物。除了內部組織和apparatus的實時成像外，魚缸中的胚胎運動受到限制。為了驗證開發微流控芯片的可重復性，以丙戊酸為模型藥物，在有/沒有丙戊酸誘導的情況下測試了魚類的胚胎發育。結果表明，用丙戊酸處理的胚胎發育異常。從設計到硬質塑料芯片成型的快速工藝，大幅縮短研發周期與試產成本。

通過微流控芯片檢測，有助于改進診斷性能、發現尚未被識別的致病性自身抗體。隨著微流控免疫芯片的推廣，自身抗體檢測成為微流控免疫芯片的重要研究方向之一。此類芯片的設計不同于其他免疫芯片，用于自身抗體檢測的微流控芯片須將自身抗原固定在芯片表面。Matsudaira等人通過光活性劑將自身抗原共價固定在聚酯平板上，利用光照射誘導自由基反應實現固定，不需要自身抗原的特定官能團。Ortiz等人將3種自身抗體通過羧基端硫醇化而固定在聚酯表面，用于檢測乳糜瀉特異性自身抗體，該微流控芯片的敏感性接近商品化酶聯免疫吸附試驗試劑盒。微流控芯片材料多樣，PDMS 軟硅膠適用于生物相容性場景，玻璃適合高透檢測。河北微流控芯片供應商家

微流控芯片的流體驅動與檢測。浙江微流控芯片檢測系統

在微流控芯片定制加工方面，公司已建立完善的PDMS芯片標準化產線，以自研產品單分子系列PDMS芯片產線為基礎，建立了完善的PDMS硅膠來料、PDMS芯片加工、PDMS成品質檢、測試小試產線。涵蓋硅膠來料處理、精密模具成型、成品質檢等環節，可批量交付單分子級檢測芯片、液滴生成芯片等產品。其微流控解決方案廣泛應用于毛細導流模擬、高通量測序反應腔構建、地質勘探流體分析等多元化場景，彰顯“MEMS+醫療”技術跨界融合的創新價值。通過工藝標準化與定制化能力的深度協同，正推動微納加工技術從實驗室原型向產業化應用的高效轉化。浙江微流控芯片檢測系統