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來源: 發布時間:2021-10-20

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    則在隨后的附圖中不需要對其進行進一步定義和解釋。在本實用新型的描述中,需要說明的是,術語“內”、“外”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系,或者是該實用新型產品使用時慣常擺放的方位或位置關系,*是為了便于描述本實用新型和簡化描述,而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作,因此不能理解為對本實用新型的限制。實施例一:參照圖1所示的一種球面頂針帽,包括帽蓋100、帽體200以及設置于帽體200內部的頂針300,帽蓋100為球缺且其球面頂點凸出于帽體200;帽蓋100上設有供頂針的針體穿過的通孔110,頂針300從通孔110中頂出,通孔110還作為帽體200內氣體的流通通道;球缺包括一個球冠和底面;球冠的表面積大于豎直投影下的平面面積,參照圖4,在同尺寸頂針帽的前提下,即帽體200橫截面直徑都為l,上頂的球缺形帽蓋100在帽體200內真空的吸附作用下會對貼膜400有適量的頂開力,導致貼膜400有輕微的形變,長度延伸至l’,從而使貼膜400會有向下的預緊力,此時單位面積內的芯片500數量不變,在配合頂針300從通孔110中頂出,有更大的作用力使芯片500從貼膜400上被分離;而同尺寸的傳統平面帽蓋。

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    本發明涉及半導體制造領域,尤其涉及一種空氣頂針式芯片膜上分離裝置。背景技術:在半導體芯片的制作過程中,整個晶圓制作完成后,首先需要把晶圓貼到粘性膜上,進行劃片,把晶圓切割成一顆顆單獨芯片,之后需要把單獨的芯片從粘性膜上取下來,轉入托盤,料帶或者直接貼裝在基板上。從粘性膜上吸取芯片的過程中,因為膜有粘性,直接用吸嘴從膜上吸取,真空力無法克服膜的粘力,取不下來。需要把芯片從膜上頂起來,使芯片的大部分與膜脫離,只剩下很下的部分還和膜粘著,這樣吸嘴從上面吸取芯片,所需要克服的粘力就很小了,就可以很順利的把芯片吸走了。現有的把芯片從膜上頂升,讓芯片和膜剝離的方法,主要是頂針的方法,芯片頂升時,頂升座用真空吸附住膜,從芯片的正下方,頂起一根或多根,頂針前端磨細,針尖做成圓弧,保證既可以減少接觸面積,又不會頂破膜。頂針頂升時,因為周邊的膜被真空吸附在下面的頂升座上,只有頂針冒出把芯片頂升,芯片周邊的膜會從芯片上剝離開,只剩下頂針處還有很小面積的膜還接觸著芯片,這樣膜的粘力就很弱了,上面的真空吸嘴就可以把芯片吸走了。頂針的方法,可以對應厚度超過100微米的芯片,厚的芯片,剛性比較好,頂針頂升時。本公司是集產品研發、生產、銷售為一體的高科技企業。定制頂針定做

主要試驗機有荷重-位移曲線機、全自動插拔力試驗機、三軸按鍵開關荷重位移曲線儀,電腦全自動扭力試驗機。常州頂針品牌

    該橫向直線導軌100包括***軌道101、設于***軌道101一端的***伺服電機102、設于***軌道101內且一端與***伺服電機102相連的***絲杠103、穿設于***絲杠103上并與***絲杠103嚙合的***滑塊104。使用時,***伺服電機102驅動***絲杠103旋轉,帶動***滑塊104進行橫向滑移。該縱向直線導軌200包括設于***滑塊104上且垂直于***軌道101的第二軌道201、設于第二軌道201一端的第二伺服電機202、設于第二軌道201內且一端與第二伺服電機202相連的第二絲杠203、穿設于第二絲杠203上并與第二絲杠嚙合的第二滑塊204。使用時,第二伺服電機202驅動第二絲杠203旋轉,帶動第二滑塊204進行縱向滑移。再如圖1所示,第二滑塊204上設有c形基座310,其包括固定于第二滑塊204頂面上的底板311、與底板311一側邊緣連接的豎板312以及連接豎板312頂部邊緣并與底板311相對布置的頂板313。該頂板313上設有支撐筒320,真空吸頭330固定于該支撐筒320上。如圖1與圖2與圖8所示,該真空吸頭330包括殼筒334與蓋板335,該殼筒334為上下端具有開口的圓筒,殼筒334下端安裝于支撐筒320上,殼筒334靠近頂部開口處的內壁上設有兩個相對布置的凸耳336,蓋板335蓋在殼筒334的頂部開口上并與凸耳336通過螺栓固定。常州頂針品牌

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