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湖州納米陶瓷頂針

來源: 發布時間:2021-11-11

    本發明涉及半導體制造領域,尤其涉及一種空氣頂針式芯片膜上分離裝置。背景技術:在半導體芯片的制作過程中,整個晶圓制作完成后,首先需要把晶圓貼到粘性膜上,進行劃片,把晶圓切割成一顆顆單獨芯片,之后需要把單獨的芯片從粘性膜上取下來,轉入托盤,料帶或者直接貼裝在基板上。從粘性膜上吸取芯片的過程中,因為膜有粘性,直接用吸嘴從膜上吸取,真空力無法克服膜的粘力,取不下來。需要把芯片從膜上頂起來,使芯片的大部分與膜脫離,只剩下很下的部分還和膜粘著,這樣吸嘴從上面吸取芯片,所需要克服的粘力就很小了,就可以很順利的把芯片吸走了?,F有的把芯片從膜上頂升,讓芯片和膜剝離的方法,主要是頂針的方法,芯片頂升時,頂升座用真空吸附住膜,從芯片的正下方,頂起一根或多根,頂針前端磨細,針尖做成圓弧,保證既可以減少接觸面積,又不會頂破膜。頂針頂升時,因為周邊的膜被真空吸附在下面的頂升座上,只有頂針冒出把芯片頂升,芯片周邊的膜會從芯片上剝離開,只剩下頂針處還有很小面積的膜還接觸著芯片,這樣膜的粘力就很弱了,上面的真空吸嘴就可以把芯片吸走了。頂針的方法,可以對應厚度超過100微米的芯片,厚的芯片,剛性比較好,頂針頂升時。頂針探針是通過自身的彈性接觸面以及力度來保證與電子產品的有效接觸。湖州納米陶瓷頂針

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    芯片上方的真空吸嘴和頂升頭400同步向上移動,頂升頭400伸出至高出頂壁約2mm左右后,停止上升,緊接著在真空吸嘴繼續上升的同時,打開與氣管接頭412連接的電磁閥370,向方形凹腔541內充氣,從而使得粘性膜對應在凹腔541上的區域形成向上突起的鼓包,這時,芯片四周邊緣就會與粘性膜分離,隨著凸起越來越高,芯片的邊緣開始脫離,脫離部分越來越多,直到芯片與膜之間只有一小部分粘連,粘力很小,這時再驅動真空吸嘴將芯片吸走。***,將凹腔541中的氣體排出并驅動頂升頭400下降并停止真空吸頭抽真空,使整個裝置還原到初始狀態后通過移動粘性膜使下個芯片與頂升頭400的凹腔541對準,以進行下一輪芯片與膜的剝離。本發明采用空氣頂針的模式,替換傳統的鋼制頂針,不會有受力集中的問題,能夠對厚度為100微米以下的芯片進行剝離,而不會損傷芯片,相比現有技術取得了***的進步。但是,本技術領域中的普通技術人員應當認識到,以上的實施例*是用說明本發明,而并非用作為對本發明的限定,只要在本發明的實質精神范圍內,對以上所述實施例的變化、變型都將落在本發明的權利要求書范圍內。采用這樣的結構,使進氣機構的氣路與真空吸頭330的氣路相對穩定。

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目前中國的實體經濟由于用人成本的增加。湖州納米陶瓷頂針

    作為本發明的一種推薦實施方式,還包括c形基座,所述基座包括設于所述第二滑塊上的底板、連接于底板一端的豎板以及連接于所述豎板頂端與所述底板相對布置的頂板,所述頂板上設有支撐筒,所述真空吸頭連接于所述支撐筒上。采用這樣的結構能夠避免升降驅動機構與支撐筒間的安裝***。作為本發明的一種推薦實施方式,所述支撐筒的外壁上設有氣嘴,所述支撐筒內設有連通所述真空吸頭與所述氣嘴的***氣道。能夠通過氣嘴進行抽氣來控制真空吸頭對粘性膜進行吸附。作為本發明的一種推薦實施方式,所述升降驅動機構包括設于所述豎板上的升降裝置以及設于所述支撐筒中的頂桿,所述頂桿頂部與所述頂升頭相連,所述升降裝置能夠驅動所述頂桿帶動所述真空吸頭進行升降。作為本發明的一種推薦實施方式,所述升降裝置包括安裝于所述豎板上的第三伺服電機,所述第三伺服電機具有伸至所述頂板下方的電機軸,所述電機軸上設有凸輪,所述頂桿底端穿過頂板上的通孔與所述凸輪相抵。采用這樣的結構,能夠通過凸輪的轉動來控制頂升頭的升降。作為本發明的推薦實施方式,所述進氣機構包括設于頂桿上的氣管接頭、設于所述頂桿中且連通所述氣管接頭的第二氣道。湖州納米陶瓷頂針

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