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來源: 發布時間:2021-11-19

    帽蓋100與帽體200的安裝方式不同;具體的,帽體200的頂面設有安裝槽600,安裝槽600位于帽體200頂面中部,主要通過安裝塊120卡于安裝槽600的開槽位置來使帽蓋100固定在帽體200上,帽蓋100邊緣處設有配合安裝槽600使用的安裝塊120,用以更好的可拆卸安裝在帽體200上,安裝塊120的形狀不做具體限制,當然在其他實施例中也可以不按此設置;安裝槽600靠近帽體200的外壁設有45度倒角210,倒角210的一邊與安裝塊120的上表面接觸,避免貼膜400與帽蓋100接觸時,在帽體200內真空吸附的作用下,芯片500與帽體200的90度拐角處直接接觸導致的破損。實施例三:本實施例與實施例一大體一致,如圖6所示,主要區別點在于,帽蓋100與帽體200的安裝方式不同;具體的,帽體200的頂面設有安裝槽600,安裝槽600位于帽體200頂面中部,主要通過帽蓋100本身的彈性形變來使帽蓋100夾持固定在帽體200上,帽蓋100邊緣處設有配合安裝槽600使用的安裝塊120,用以更好的可拆卸安裝在帽體200上,安裝塊120的形狀不做具體限制;安裝槽600靠近帽體200的外壁設有45度倒角210,倒角210的一邊與安裝塊120的下表面接觸,避免貼膜400與帽蓋100接觸時,在帽體200內真空吸附的作用下。具體頂針探針阻抗彈力試驗機技術規格及參數或需求更多產品可來電查詢。杭州頂針批發

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    本發明涉及半導體制造領域,尤其涉及一種空氣頂針式芯片膜上分離裝置。背景技術:在半導體芯片的制作過程中,整個晶圓制作完成后,首先需要把晶圓貼到粘性膜上,進行劃片,把晶圓切割成一顆顆單獨芯片,之后需要把單獨的芯片從粘性膜上取下來,轉入托盤,料帶或者直接貼裝在基板上。從粘性膜上吸取芯片的過程中,因為膜有粘性,直接用吸嘴從膜上吸取,真空力無法克服膜的粘力,取不下來。需要把芯片從膜上頂起來,使芯片的大部分與膜脫離,只剩下很下的部分還和膜粘著,這樣吸嘴從上面吸取芯片,所需要克服的粘力就很小了,就可以很順利的把芯片吸走了。現有的把芯片從膜上頂升,讓芯片和膜剝離的方法,主要是頂針的方法,芯片頂升時,頂升座用真空吸附住膜,從芯片的正下方,頂起一根或多根,頂針前端磨細,針尖做成圓弧,保證既可以減少接觸面積,又不會頂破膜。頂針頂升時,因為周邊的膜被真空吸附在下面的頂升座上,只有頂針冒出把芯片頂升,芯片周邊的膜會從芯片上剝離開,只剩下頂針處還有很小面積的膜還接觸著芯片,這樣膜的粘力就很弱了,上面的真空吸嘴就可以把芯片吸走了。頂針的方法,可以對應厚度超過100微米的芯片,厚的芯片,剛性比較好,頂針頂升時。

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    探針頂針荷重行程阻抗試驗機簡介:探針頂針荷重行程阻抗試驗機適用于各種頂針、探針、按鍵、開關之荷重-行程-阻抗曲線測試。測試產品力值行程的同時可以測試接觸電阻。頂針探針一般行程零點幾毫米的時候力值才20克左右,力值小,行程精度高所以對試驗機要求較高。另外頂針探針的接觸電阻在幾毫歐以內,對測頭以及測試底板表面處理要求高。我司此款試驗機測試頂針探針荷重行程的同時可以測試其接觸電阻。探針頂針荷重行程阻抗試驗機我司有兩款,一款是單軸的,適合抽檢測試,工程分析測試。另外一款是三軸的適合整版頂針探針的荷重行程測試,同時顯示出接觸電阻。此機器還可以測試壽命測試。可以設定打擊多少次以后就進行壽命測試。目前我司試驗機技術先進:DSP數據采集系統,工業以太網傳輸數據,采樣速率高達27kHZ,***抗干擾能力。探針頂針荷重行程阻抗試驗機特點:量測曲線圖由電腦記憶,可隨時放大、縮小,一張A4紙可任意指定放置N個曲線圖。測定專桉可輸入上、下限規格值,測定結果可自動判定OK或NO。可輸入測定行程及荷重,電腦自動控制。荷重單位顯示N、Ib、gf、kgf可自由切換電腦直接列印及儲存荷重-行程曲線圖、檢查報表。(不需要方格紙。杭州頂針批發

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