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該升降驅動機構包括設于c形基座310上的升降裝置、穿設于支撐筒320中的貫通孔324內的頂桿410以及用于連接頂桿410與頂塊500的連接塊510。如圖5與圖7所示,頂桿410上由上至下依次套設有導套430與彈簧420,導套430與位于貫通孔324頂部的阻擋部325相抵,彈簧420與位于頂桿410底部的凸起端頭411相抵。頂桿410底部的凸起端頭411穿過基座310上的通孔314伸入基座310中。頂桿410的頂端穿出阻擋部325伸入真空吸頭330的殼筒334內。如圖6所示,連接塊510置于殼筒334內,連接塊510的底面上具有容置腔511,頂桿410頂端伸入該容置腔511內,連接塊510的外壁上設有滑槽513,該滑槽513內布置有定位桿514,定位桿514插設于支撐筒320頂壁上的定位插孔內,以此來避免連接塊510發生轉動。連接塊510的外壁上還設有連通容置腔511的連接孔515,通過穿入連接孔515并與頂桿410外壁相抵的螺栓實現頂桿410與連接塊510的連接固定。為便于組裝與拆卸,連接塊510與頂塊500間的連接方式如圖6所示:頂塊500的底面上設有放置腔,放置腔內設有圈形磁鐵560,連接塊510吸附于該圈形磁鐵560上。使連接塊510與頂塊500間能夠方便的通過磁力進行裝配與分離。如圖1和圖5所示。浙江頂針尾座不會因為對凹腔541進行充放氣操作影響真空吸頭330的運行。
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該頂桿410與支撐筒320的貫通孔324內壁間設有密封圈,由此實現支撐筒320與頂桿410間的氣密。該頂桿410外壁與連接塊510放置腔的內壁間設有密封圈512,由此實現第二氣道413與豎直貫孔間的氣密。該豎直貫孔與第三氣道550間通過圈形磁鐵560的吸附力實現氣密。如圖1和圖3所示,***滑塊104上還設有支架360,該支架360上設有分別連接氣嘴312與氣管接頭412的多個電磁閥370。其中的一個電磁閥370、氣管接頭412、第二氣道413、豎直貫孔、圈形磁鐵560與第三氣道550一起構成了一個能夠對頂塊500中的凹腔541進行充放氣的進氣機構。采用這樣的結構,使進氣機構的氣路與真空吸頭330的氣路相對**,不會因為對凹腔541進行充放氣操作影響真空吸頭330的運行。支架360上還連接有坦克鏈380,通過坦克鏈380實現電氣線路、氣管線路的跟隨運動。以上就是本發明的整體結構,工作時,首先,將真空吸頭330移動到放置有芯片的粘性膜下方,通過粘性膜的運動使粘性膜上的芯片對準頂升頭400上的凹腔541,角度一致。隨后,粘性膜上方的真空吸嘴下降,貼到芯片的表面上開始抽氣,吸附住芯片。打開與氣嘴321連接的電磁閥370,對真空吸頭330抽真空,使真空吸頭330吸住粘性膜。接著。在測試頭與底部測試夾具都需要精細處理,以便能保證測試細小的接觸電阻。
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貼膜400的長度始終為l,就不存在這樣的預緊力。具體的,參照圖2、圖3,通孔110垂直于帽蓋100的底面且以帽蓋100的**高點為中心圓周分布,分布圈數大于等于2,帽蓋100的球冠頂點設有通孔110,用以配合頂針300,在本實施例中,頂針300的數量為1個,當然在其他實施例中也可以為多個;參照圖3,外圈的通孔110的頂部高于帽體200的上頂面h的距離,h≥0;避免貼膜400與球缺形的帽蓋100接觸時,在帽體200內真空吸附的作用下,芯片500與帽體200拐角處直接接觸導致的破損。具體的,參照圖3,在本實施例中,帽體200的頂面設有安裝槽600,安裝槽600位于帽體200內壁上,主要通過帽蓋100本身的形變來擠壓帽體200使帽蓋100固定在帽體200上,帽蓋100邊緣處設有配合安裝槽600使用的安裝塊120,用以更好的可拆卸安裝在帽體200上,安裝塊120的形狀不做具體限制,當然在其他實施例中也可以不按此設置;安裝槽600靠近帽體200的外壁設有45度倒角210,倒角210的一邊與安裝塊120接觸,避免貼膜400與帽蓋100接觸時,在帽體200內真空吸附的作用下,芯片500與帽體200的90度拐角處直接接觸導致的破損。實施例二:本實施例與實施例一大體一致,如圖5所示,主要區別點在于。寧波頂針模具
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