C.1.1檢測目的檢測的目的是確認過濾系統安裝正確,使用過程中無滲漏發生,不要將已裝過濾器系統的檢漏與過濾器出廠時的效率檢測混為一談,過濾器出廠前應經過檢漏雨測試。此項檢測用于驗證過濾系統不存在影響設施潔凈狀況的滲漏;確認過濾系統下風向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設計潔凈度。C.1.2檢測過程檢測中,在過濾器的上風向注入氣溶膠,在下風向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描,或在風管中的過濾器下風向采樣。檢漏包括濾材、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內的整個過濾系統。已裝過濾系統的檢漏只在“空態”或“靜態”下進行,且該項檢測是在新建潔凈室調試時,或現有設施需要再檢測時,或更換了末端過濾器之后進行。非單向流潔凈室中都有渦流存在,不適宜用于高潔凈度的潔凈室中,宜用于6~9級的潔凈室中。實驗室環境潔凈室檢測值得推薦
C.1.3已裝過濾系統其過濾器檢漏C.1.3.1**的檢測項目,對安裝的過濾器進行檢漏。C.1.3.2調試過程中承建商的檢測已獲得業主認可,在緊接著的潔凈度項目檢測過程中,可進行抽檢或免檢。C.1.3.3有條件時,宜將過濾系統安裝調試過程的檢漏與檢測項目中**的過濾系統檢漏合并;過濾系統檢漏費時、費人力,整個潔凈室建造過程中只給出一定的作業時間周期。C.1.4檢漏方法檢漏方法通常有“氣溶膠光度計法”和“離散粒子計數器(DPC)法”。氣溶膠光度計是測量空氣中懸浮粒子的質量濃度,而離散粒子計數器是測量空氣中懸浮粒子的數量和粒徑,2種方法獲得的結果不能進行直接比較。北京塵埃粒子潔凈室檢測范圍無菌室,亦稱為凈化室或潔凈室,是一種專門設計用于控制環境污染的封閉空間。
4.1.2潔凈廠房內當布置有精密設備和精密儀器儀表,若它們有防微振要求時,為解決防微振問題,在廠址選擇或已建工廠內的潔凈廠房場地選擇過程中,需要對周圍振源的振動影響作出評價,以確定該廠址或場地是否適宜建設。周圍振源對精密設備、精密儀器儀表的振動影響,是若干單個振源振動的疊加結果。這種疊加,目前還沒有系統的參考數據及實用的計算方法。因此,應立足于實測。過去有的工廠,由于建廠前沒有對周圍各類振源的振動影響進行實測,建成后發現對精密設備、精密儀器儀表影響很大,有的甚至難以工作,給生產、試驗帶來很大困難,這說明實測振源振動影響是非常必要的。
D.3.7噪聲檢測,應符合下列規定:1潔凈室(區)內的噪聲檢測應采用帶倍頻程分析的聲級計。2潔凈室(區)內的噪聲檢測點應根據電子產品生產工藝要求確定。噪聲檢測點宜距地面1.1~1.5m,距墻應大于3m;檢測點的布置宜按潔凈室(區)面積均分,宜每100m2設一檢測點。D.3.8照度測試,應符合下列規定:1潔凈室(區)內照度檢測宜采用便攜式自動記錄照度計。2照度檢測應在室內溫度穩定、光源光輸出穩定后進行。潔凈室(區)照度檢測不應包括生產設備等的局部照明和備用照明。3照度檢測點應設在工作高度,宜距地面0.85m,應每25m2設一個測點。在潔凈室設計時生產工藝對環境參數的要求應該實事求是。
6.1.5設有上技術夾層、下技術夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構造,應滿足產品生產工藝、自動化運輸和公用動力設施安裝和維修的要求。6.1.6設有技術夾層、技術夾道的潔凈廠房,技術夾層、技術夾道的建筑設計應滿足各種風管和各種動力管線安裝和維修的要求。穿越樓層的豎向管線需暗敷時,宜設置技術豎井。技術豎井的形式、尺寸和構造應滿足風管、管線的安裝、檢修和防火要求。6.1.7對兼有一般生產區和潔凈室(區)的綜合性廠房,廠房的平面布局和構造處理,宜避免人流、物流運輸及防火方面對潔凈生產環境帶來不利影響。根據潔凈室特點,宜采用縫隙法或換氣次數法確定。北京無塵室3Q驗證潔凈室檢測分析
潔凈室(區)工業管道的設計應符合現行國家標準《工業金屬管道設計規范》GB50316的有關規定。實驗室環境潔凈室檢測值得推薦
10.3.1潔凈廠房內的干燥壓縮空氣系統應根據各類產品生產工藝要求、供氣量和供氣品質等因素確定,并應符合下列規定:1供氣規模應按產品生產所需供氣量和計入必要損耗量確定,并應設有一定的備用供氣量;2供氣品質應根據生產工藝對含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定;3供氣系統可集中設置在潔凈廠房內的供氣站或潔凈廠房外的綜合動力站;4應選用能耗少、噪聲低的設備,宜選用無油潤滑空氣壓縮機,5含水量要求嚴格時,宜選用加熱再生吸附干燥裝置。實驗室環境潔凈室檢測值得推薦