單向流潔凈室的流動狀態從雷諾數看是湍流,所以所謂層流潔凈室中的層流和流體力學中的層流是完全不同的概念。因此,層流潔凈室一詞是不恰當的,國外的一些標準和文章也指出了這一點。例如,英國標準BS-5295曾將所謂的層流潔凈室定義為單向流潔凈室。層流在括號中表示。原聯邦德國標準VDl-2083使用“非湍流置換流”一詞,并在注釋中指出層流的概念只是為了區分比層流更早出現的湍流(turbulent)流潔凈室整理房間。在當時使用的成語中,“層流系統”的確切含義不是分層流,而是湍流的置換流。本章提到的概念是湍流的漸進流。在流體力學中,這種流動狀態也可以稱為平行流動或單向流動。1977年,我國在《清潔空氣技術措施》中選擇了“平行流”一詞,并指出習慣上在該詞后稱其為“層流”。靜電控制檢測對于電子制造業的潔凈室尤為重要。江西實驗室檢測服務至上
A、室內測試人員必須穿潔凈服,不得超過2人,應位于測試點下風側并遠離測試點,并應保持靜止。進行換點操作時動作要輕,應減少人員對室內潔凈度的干擾。B、設備要在校準期內使用。C、檢測前和檢測后設備“清零”D、在單向流區域,所選擇的采樣探頭應接近等動力采樣,進入采樣探頭的風速與被采空氣的風速偏差不應超過20%。若無法做到這一點,將采樣口正對氣流的主方向。非單向流的采樣點,采樣口應豎直向上。E、采樣口至粒子計數器傳感器的連接管應盡量短。遼寧生物安全柜檢測服務至上遵循GMP、ISO等國際標準進行潔凈室檢測,提升產品質量信譽。
6.2.1潔凈室(區)與周圍的空間必須維持一定的壓差,并應按工藝要求決定維持正壓差或負壓差。6.2.2不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa,潔凈區與非潔凈區之間的壓差不應小于5Pa,潔凈區與室外的壓差不應小于10Pa。6.2.3潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風量,根據潔凈室特點,宜采用縫隙法或換氣次數法確定。6.2.4送風、回風和排風系統的啟閉宜聯鎖。正壓潔凈室聯鎖程序應先啟動送風機,再啟動回風機和排風機;關閉時聯鎖程序應相反。負壓潔凈室聯鎖程序應與上述正壓潔凈室相反。6.2.5非連續運行的潔凈室,可根據生產工藝要求設置值班送風,并應進行凈化空調處理。
B.2.1.2計數效率測量U描述符所用體系的計數效率應落在圖B.1的陰影之內[1]。該陰影區為性能達標區,其中心對應的選定粒徑超微粒子的計數效率為50%,粒徑示為U。超微粒徑U的允差為土10%,見圖B.1中的1.1U和0.9U。這一計數效率允差的規定,是基于對擴散元件透過率的計算,該擴散元件對粒徑大于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不低于40%,對粒徑小于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不高于60%。若離散粒子計數器(DPC)或凝聚核計數器(CNC)的計數效率曲線落在圖B.1陰影區之外的右側,則不能用其測量或驗證U描述符。若曲線落在陰影區之外的左側,則可使用B.2.1.3介紹的粒徑限制器來降低計數效率。此時,經改進的離散粒子計數器或凝聚核計數器的計數效率就成為原計數器的計數效率與粒徑限制器透過率的乘積。單向流潔凈室氣流的特征是流線平行,以單一方向流動,并且在斷截面上風速一致,有垂直單向潔凈室。
潔凈室是空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內誘入、產生及滯留粒子。室內其它有關參數如溫度、濕度、壓力等要求進行控制。潔凈區是空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應減少空間內誘入、產生及滯留粒子。空間內其它有關參數如溫度、濕度、壓力等要求進行控制。潔凈區可以是開放式或封閉式。空氣潔凈度是指潔凈環境中空氣含塵微粒量多少的程度含塵濃度高則潔凈度低含塵濃度低則潔凈度高。空氣潔凈度的具體高低則是用空氣潔凈度級別來區分的,而這種級別又是用操作時間內空氣的計數含塵濃度來表示,也就是把從某一個低的含塵濃度起到不超過另一個高的含塵濃度止這一個含塵濃度范圍為某一個空氣潔凈度級別。懸浮粒子是指用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.15μm的固體和液體粒子。主要工作室一般照明的照度值宜為3001x。消毒液凈化車間環境檢測規范性強
潔凈室檢測中發現的任何問題都應立即記錄并跟蹤處理。江西實驗室檢測服務至上
潔凈室的主要作用是控制產品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產品能夠在良好的環境空間中生產制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數量來規定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點灰塵,而是控制在極少量的單位。當然,這個標準中符合粉塵標準的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學結構來說,哪怕是一點點的粉塵也會產生非常大的負面影響。江西實驗室檢測服務至上