B.2.1.2計(jì)數(shù)效率測量U描述符所用體系的計(jì)數(shù)效率應(yīng)落在圖B.1的陰影之內(nèi)[1]。該陰影區(qū)為性能達(dá)標(biāo)區(qū)，其中心對(duì)應(yīng)的選定粒徑超微粒子的計(jì)數(shù)效率為50%，粒徑示為U。超微粒徑U的允差為土10%，見圖B.1中的1.1U和0.9U。這一計(jì)數(shù)效率允差的規(guī)定，是基于對(duì)擴(kuò)散元件透過率的計(jì)算，該擴(kuò)散元件對(duì)粒徑大于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不低于40%，對(duì)粒徑小于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不高于60%。若離散粒子計(jì)數(shù)器（DPC）或凝聚核計(jì)數(shù)器（CNC）的計(jì)數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外的右側(cè)，則不能用其測量或驗(yàn)證U描述符。若曲線落在陰影區(qū)之外的左側(cè)，則可使用B.2.1.3介紹的粒徑限制器來降低計(jì)數(shù)效率。此時(shí)，經(jīng)改進(jìn)的離散粒子計(jì)數(shù)器或凝聚核計(jì)數(shù)器的計(jì)數(shù)效率就成為原計(jì)數(shù)器的計(jì)數(shù)效率與粒徑限制器透過率的乘積。潔凈室檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性直接影響到產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性。安徽電子廠房環(huán)境檢測技術(shù)好

5.3.2潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)符合下列規(guī)定：1潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的表面應(yīng)平整、光滑、不起塵、避免眩光，便于除塵，并應(yīng)減少凹凸面。2踢腳不應(yīng)突出墻面。3潔凈室不宜采用砌筑墻抹灰墻面，當(dāng)必須采用時(shí)宜采用干燥作業(yè)，抹灰應(yīng)采用符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑裝飾裝修工程質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》GB50210中高級(jí)抹灰的要求。墻面抹灰后應(yīng)刷涂料面層，并應(yīng)選用難燃、不開裂、耐腐蝕、耐清洗、表面光滑、不易吸水變質(zhì)發(fā)霉的涂料。...............河北實(shí)驗(yàn)室檢測規(guī)范性強(qiáng)凈室被習(xí)慣 地應(yīng)用在對(duì)環(huán)境污染特別敏感的行業(yè)。

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說，所謂的無塵，并不是100%沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在極少量的單位。當(dāng)然，這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物，相對(duì)于我們常見的粉塵來說是非常小的，但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響。

（1）將所有的門關(guān)閉，將測定用膠管口徑比較好在5mm以下從墻壁上的孔洞伸入室內(nèi)在離壁面不遠(yuǎn)處，垂直于氣流方向設(shè)置周圍無阻擋氣流擾動(dòng)**小。（2）靜壓差的測定應(yīng)從平面上**里面的房間，通常也就是潔凈度級(jí)別比較高的房間，與其緊鄰的房間之間的壓差測起依次向外測定，直至測得**靠外的潔凈室與周圍附屬環(huán)境之間、與室外環(huán)境之間的壓差。（3）對(duì)于潔凈度高于5級(jí)的單向流層流潔凈室，還應(yīng)測定在門開啟狀態(tài)下離門口0.6m處的室內(nèi)側(cè)工作面高度的粒子數(shù)。5、檢測時(shí)的注意事項(xiàng)在進(jìn)行潔凈室靜壓差檢測之前，必須先驗(yàn)證在潔凈室或潔凈設(shè)施正常工作時(shí)，應(yīng)該關(guān)閉的門全部關(guān)閉條件下的送風(fēng)量與回風(fēng)量、排風(fēng)量是否與規(guī)定風(fēng)量相符。若達(dá)不到標(biāo)準(zhǔn)的要求應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量直至合格為止。潔凈室檢測通常包括空氣潔凈度、溫濕度、壓差等多個(gè)參數(shù)。

a.首先應(yīng)對(duì)測試儀器、培養(yǎng)皿表面進(jìn)行嚴(yán)格消毒，采樣器進(jìn)入被測房間時(shí)，先用消毒房間的消毒劑滅菌。用于5級(jí)潔凈房間的采樣器宜一直放在潔凈房間。b.采樣者應(yīng)穿戴潔凈服雙手要消毒。c.開動(dòng)真空泵抽氣使儀器中的殘余消毒劑蒸發(fā)時(shí)間不少于5min，并調(diào)好流量轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速。關(guān)閉真空泵放入培養(yǎng)皿蓋好蓋子后調(diào)節(jié)采樣器。d.置采樣口于采樣點(diǎn)后依次開啟采樣器、真空泵、轉(zhuǎn)動(dòng)定時(shí)器、根據(jù)采樣量選定采樣時(shí)間。全部采樣結(jié)束后，將培養(yǎng)皿倒置于30-35℃恒溫培養(yǎng)箱中，培養(yǎng)時(shí)間不少于48h。e.用肉眼直接計(jì)數(shù)，然后用5-10倍放大鏡檢查是否有遺漏，若平板上有兩個(gè)或兩個(gè)以上的菌落重疊分辨時(shí)，仍以兩個(gè)或兩個(gè)以上菌落計(jì)數(shù)。塵埃粒子的粒徑分布分析有助于評(píng)估潔凈室的過濾效率。河北實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)

潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣。安徽電子廠房環(huán)境檢測技術(shù)好

B.4.2.2送風(fēng)風(fēng)速風(fēng)速測點(diǎn)距過濾器出風(fēng)面約150mm~300mm。測點(diǎn)數(shù)量應(yīng)足以測定潔凈室和潔凈區(qū)的送風(fēng)量，測點(diǎn)數(shù)量取測量面積(以平方米計(jì))10倍的平方根,且不少于4個(gè)測點(diǎn)。每只過濾器或每臺(tái)風(fēng)機(jī)-過濾單元(FFU)的出風(fēng)面上至少要有一個(gè)測點(diǎn)。可使用軟簾阻擋對(duì)單向流的干擾。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),每點(diǎn)的測量時(shí)間應(yīng)足夠長。對(duì)多個(gè)測點(diǎn)而言,應(yīng)記錄風(fēng)速測量平均時(shí)間。B.4.2.2送風(fēng)風(fēng)速風(fēng)速測點(diǎn)距過濾器出風(fēng)面約150mm~300mm。測點(diǎn)數(shù)量應(yīng)足以測定潔凈室和潔凈區(qū)的送風(fēng)量，測點(diǎn)數(shù)量取測量面積(以平方米計(jì))10倍的平方根,且不少于4個(gè)測點(diǎn)。每只過濾器或每臺(tái)風(fēng)機(jī)-過濾單元(FFU)的出風(fēng)面上至少要有一個(gè)測點(diǎn)。可使用軟簾阻擋對(duì)單向流的干擾。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),每點(diǎn)的測量時(shí)間應(yīng)足夠長。對(duì)多個(gè)測點(diǎn)而言,應(yīng)記錄風(fēng)速測量平均時(shí)間。安徽電子廠房環(huán)境檢測技術(shù)好