KASHIYAMA防腐蝕干式真空泵SDE603TX設備簡介（包括對功能的基本介紹）

       SDE603TX 立式螺桿真空干泵,尺寸： W:400×H:905×L:760ＭＭ，MAX排氣速度10000L/min，立式螺桿設計排氣線路短，不容易發生卡死。轉子材質為鎳合金，防腐蝕能力優越,使用時內部溫度高，適用于比較苛刻的工藝制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。

系統組成：

1) 羅茨泵  (SDE120TX) 1  

2) 機械增壓泵(KMB603) 1  

3) 電源盒  1  

4) 操作手柄1  

5) 連接件  1  

6) 消音器(SR-19) 1

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干式真空泵的應用范圍比較廣，主要有以下幾個方面：

1）低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；

2）半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

3）除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；

4）在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；

5）用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。

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干式螺桿真空泵選型

       干式螺桿真空泵在其工作壓力下，應能排走真空泵設備工藝過程中產生的全部氣體量。

每種泵都有一定的工作壓力范圍，因而，泵的工作點應該選擇在這個范圍之內，而不能讓它在允許工作壓力以外長時間工作。

       干式螺桿真空泵的極限壓力應該滿足該工藝的工作壓力。通常選擇泵的極限壓力低于工藝要求約一個數量級。

選擇真空機組：

       了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸汽，有無顆粒灰塵、有無腐蝕性等。選擇干式螺桿真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸汽、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。

       干式螺桿真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響，若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。

       干式真空系統還具有比較好的控制系統，有單獨的工作站和總線，能很好的解決了溫度、壓力、轉速、電機同步、開停機、閥門開關和泵本身自清洗控制等問題，并且可能存在溫升的地方都增加了測溫點，增強了系統的安全性。使干泵系統能適應化工、制藥里嚴苛的環境。主要由以下三部分組成：內置基本驅動模塊；數據總線控制柜；冷卻液泵的控制和防爆馬達控制中心。有些真空泵是兩個電機同步驅動，在確保全速和扭矩控制的同時，保證在泵運行時維持無部件相互接觸；無密封設計，確保無泄露；干式真空泵的無油環保特點成為了干式真空泵的主要賣點。

       評價爆裂有兩個指標：可燃物質的閃點及燃點。因為螺桿干式真空泵中的兩個螺桿在泵體內沒有摩擦，所以不會產生電火花，就沒有了火源，另外其通過自身的冷卻系統降低泵內溫度使被抽物質的燃點難以達到，從而杜絕爆裂！泵內既無與外界之間的軸封又無泵腔與冷卻循環水回路之間的密封，因此可以抽除有害介質。絕大部分泵的故障都是由軸封處磨損造成的,而此泵每個軸只有一處無接觸密封，不存在由軸封損傷帶來的停機，以及軸封泄露造成齒輪箱里的油被抽到泵里，造成真空環境及排氣口污染。浚和（上海）儀器有限公司專業干式真空泵供應商。南京NEODRY 60E干式真空泵

浚和（上海）儀器有限公司主營日本KASHIYAMA干式真空泵。成都NEODRY 36E干式真空泵維修點

日本KASHIYAMA MU1200P/H干式真空泵 技術參數&配置清單

一、 技術參數：

式樣：MU1200P/H

MAX排氣速度（L/min）：20000

達到壓力（Pa）：0.5

電源電壓：3相  AC200-220V

消費電力（KW）：1.05KW

外型尺寸WHL [mm]：380×655×820

質量【kg】：185kg

二、 配置清單：

設備原產地：日本

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浚和（上海）儀器有限公司是一家供應國內外先進儀器和設備的專業供應商和服務商，致力于為客戶提供專業的定制化解決方案。多年來，持續為醫藥、化工、高校、科研單位、檢測院等多個行業提供先進的產品和專業的服務。

浚和在不斷引進國內外先進儀器設備的同時，結合行業和市場需求，加強和客戶之間的溝通，并與國際上多家知名儀器設備制造商保持著長期穩定的合作關系，不定期地與合作商進行技術交流，努力加強自身技術力量。公司配備了數名有著多年行業經驗的技術人員，依靠雄厚的技術實力、科學合理的配置方案、專業的安裝調試和周到的售后服務，得到了廣大用戶的支持與信賴。

公司主要經營產品包括：等離子清洗機、真空泵、噴霧干燥器、數字PCR、高壓滅菌鍋、培養箱、切片機、水分測定儀、激光粒度儀、光譜儀、溫濕度記錄儀等，目前主要合作品牌有：日本雅馬拓YAMATO、日本KASHIYAMA、日本HORIBA、廣州永諾 、日本KEM等。同時，公司還提供專業的技術服務，如設備的維護、驗證等。

浚和儀器將始終以行業特點為立足點，以客戶需求為導向，不斷地提高自身專業技術能力，不停地完善客戶服務質量，在發展中保持創新的精神，力求與客戶共同進步，為行業的發展作出不懈的努力。