片傳動方式基本分為兩類:齒輪傳動:膠片在洗片機輸片片路中,大都由自由轉動的滑輪組支承并在滑輪間螺旋穿行,由滑輪組配備的傳遞動力的輸片齒輪通過影片片孔硬性傳動。這種方法結構簡單,容易保證張力均勻分布。摩擦傳動:用表面有凸起物的彈性塑料圈外套的摩擦輪帶動影片,摩擦輪的轉速由膠片張力自行調節。摩擦傳動不用齒輪,同一臺機器可以沖洗窄寬不同的多種規格的膠片,并且不會損傷片孔,因此用途極為***。機器具有速度誤差在±2%以內的無級調速裝置,供改變顯影時間之需要。在緊鄰供收片處有儲片緩沖裝置,因此在運行不間斷的狀態下,可在機器頭尾卡住膠片,收取沖洗完畢的影片和續接尚未沖洗的影片。PS版的顯影則是在印版圖文顯現出來的同時,獲得滿足印刷要求的印刷版面和版面性能。錫山區挑選涂膠顯影機量大從優
勻膠顯影機是完成除曝光以外的所有光刻工藝的設備,包括光刻材料的涂布、烘烤、顯影、晶圓背面的清洗以及用于浸沒式工藝的晶圓表面的去離子水沖洗等。勻膠顯影機一般由四部分組成。***部分是晶圓盒工作站(wafer cassette station),晶圓盒在這里裝載到機器上。機械手(robot arm)從晶圓盒中把晶圓抽出來,傳送到工藝處理部分(process block),即第二部分。工藝處理部分是勻膠顯影機的主體,增粘模塊(adhesion enhancement)、熱盤(hot plate)、冷盤(chill plate)、旋涂、顯影等主要工藝單元都安裝在這里,一個或兩個機械手在各單元之間傳遞晶圓。第三部分是為浸沒式光刻工藝配套的單元,包括晶圓表面水沖洗單元、背清洗單元等。第四部分是和光刻機聯機的接口界面(interface),包括暫時儲存晶圓的緩沖盒(buffer)、晶圓邊緣曝光(wafer edge exposure,WEE)和光刻機交換晶圓的接口等。 [1]濱湖區國產涂膠顯影機廠家供應根據印版的厚度范圍調節各膠輥之間的壓力,保證無竄液或竄液小。
同時,系統可在不按下車型按扭情況下工作,操作工可自由選擇工件,可單件或幾種工件一起組合,按下相應的工件指示燈(按扭式),相應工件的自動檢測開關開始工作,紅燈亮,裝夾好相應的工件后,工件到位檢測綠燈亮后,方可按下機器人起動按扭,機器人按檢測到的工件自動調用相應的程序自動點膠;點膠完畢機器人自動復位,程序結束指示燈亮;同樣,如果不更改工件號或工件組合,系統將默認上次程序內容進行工作直至更改工件或工件組合;
顯影是在印刷、影印、復印、曬圖等行業中,讓影像顯現的一個過程。顯影包括正顯影和反轉顯影。正顯影中顯影色粉所帶電荷的極性,與感光鼓表面靜電潛像的電荷極性是相反的,反轉顯影中感光鼓與色粉電荷極性是相同的。在復印機、打印機中顯影就是用帶電的色粉使感光鼓上的靜電潛像轉變成可見的色粉圖像的過程。顯影包括正顯影和反轉顯影。正顯影時,顯影色粉所帶電荷的極性,與感光鼓表面靜電潛像的電荷極性相反。顯影時,在感光鼓表面靜電潛像是場力的作用下,色粉被吸附在感光鼓上。靜電潛像電位越高的部分,吸附色粉的能力越強;靜電潛像電位越低的部分,吸附色粉的能力越弱。對應靜電潛像電位(電荷的多少)的不同,其吸附色粉量也就不同。多用在模擬復印機中。膠輥的硬度適應于印版,在保證上述要求的情況下,壓力盡可能小,壓力過大,增大顯影機負載,并易卡版。
操作:在使用涂膠顯影機之前,需要進行必要的準備工作,如確保設備正確安裝并接地、檢查電源線和連接部件是否完好等。根據工藝要求選擇合適的涂膠和顯影模式和參數,然后啟動設備進行相應的操作。維護:定期檢查設備的各項性能指標,確保設備處于良好的工作狀態。遵守設備的安全操作規程,避免發生意外事故。如發現設備異常情況,應立即停機檢查并聯系專業人員進行維修。綜上所述,涂膠顯影機是半導體制造過程中不可或缺的設備之一。其高效、精確的工作原理和功能特點為半導體產業的發展提供了有力支持。然后,將硅片轉移到曝光模塊下方,利用光刻技術將圖案投射到光刻膠表面。無錫質量涂膠顯影機供應商
定期清洗加熱段導軌(每周一次);錫山區挑選涂膠顯影機量大從優
顯影偏壓顯影偏壓由高壓板產生,并施加于顯影輥,用以提供圖像對比度。例如:顯影套筒的偏壓由交流電(AC)提供,如京瓷KM-1650機器:顯影偏壓Vp-p:所施加電壓的最大值和最小值之差;固定高壓:1.6kV;Vf:頻率;一般為2.7kHz,該值根據驅動時間預設值和環境校正的不同而不同;占空比:一個周期內正電壓所占的時間比例一般為45%;Vdc:顯影偏壓290V;Vo:感光鼓表面非圖像區域(未曝光區)的電壓;VL:感光鼓表面圖像區域(曝光區)的電壓。 [2]錫山區挑選涂膠顯影機量大從優
無錫凡華半導體科技有限公司匯集了大量的優秀人才,集企業奇思,創經濟奇跡,一群有夢想有朝氣的團隊不斷在前進的道路上開創新天地,繪畫新藍圖,在江蘇省等地區的電工電氣中始終保持良好的信譽,信奉著“爭取每一個客戶不容易,失去每一個用戶很簡單”的理念,市場是企業的方向,質量是企業的生命,在公司有效方針的領導下,全體上下,團結一致,共同進退,**協力把各方面工作做得更好,努力開創工作的新局面,公司的新高度,未來凡華供應和您一起奔向更美好的未來,即使現在有一點小小的成績,也不足以驕傲,過去的種種都已成為昨日我們只有總結經驗,才能繼續上路,讓我們一起點燃新的希望,放飛新的夢想!