氦檢儀的基本原理是采集被檢件中的氣體將其電離，根據不同種類氣體離子質荷比不同的特點，利用磁偏轉分離原理將其區分開來。儀器只對示漏氣體氦氣有相應信號，而對其他氣體沒有反應，屬于唯1性氦檢儀器。檢漏過程中，一旦出現信號，就說明有氦氣通過漏孔進入被檢件，從而指示出漏孔的位置與大小。而之所以選擇氦氣作為示漏氣體，主要是因為氦質量輕，易于穿過漏孔，擴散快，對分析設備制造的要求相對簡單；同時氦氣在空氣中含量少，本底壓力小，又為惰性氣體，不易發生反應等等，都為提高儀器靈敏度創造了條件。氦質譜檢漏儀的保養項目有更換機械泵油、更換過濾網、更換過濾器。溫州真空氦質譜檢漏儀定制

提高氦質譜檢漏儀靈敏度方法：1、盡量開大節流閥。2、盡量減小外接泵對工件的分流或采用不分流檢漏(當工件抽上真空后，關閉工件與外接泵之間的閥門)。3、將工件用塑料袋包扎，袋內再充入氦氣，(但此法不能測出具體漏點)。4、使用液氮，全開節流閥，采用不分流檢漏，必要時可將抽速閥關小。氦質譜檢漏儀日常維護：1、定期更換燈絲，清洗冷規。2、定期更換機械泵油，適時對機械泵加油。3、如加液氮，需定期清洗冷阱。4、拆卸氦質譜檢漏儀部件后，安裝時要避免安裝處出現泄漏。5、適時對氦質譜檢漏儀可能出現的泄漏處(如放氣閥)進行清洗，排除漏點。無錫臺式氦質譜檢漏儀大概多少錢氦檢儀現已普遍應用于半導體設備檢漏。

氦質譜檢漏儀為什么會選擇氦氣作為主要的示漏氣體？1、氦氣的質量輕，易于穿過漏孔，進入系統時流動和擴散快，因此響應快，檢漏靈敏度高。2、氦離子質荷比小，因此可以減小磁分析器偏轉半徑的尺寸和選用較弱一點的磁場。同時一階氦離子的質荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大，利于離子分離，可以適當降低對分析器制造精度的要求，使質譜室中氦離子通過的各個縫隙，從而提高氦離子的傳輸率。3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少，在材料出氣中氦氣也很少，因此本底壓力小，檢漏時本底信號小。

在針對氦檢儀選擇和安裝真空計時，必須考慮其特性和真空測量的特性：由于真空室中存在潛在的壓力梯度，恰當選擇安裝位置。表面和密封材料呈現脫氣現象。因此真空計可指示的壓力高于真空室壓力。連接法蘭因此應該盡可能的短，且密封件數量減少到蕞小。電離真空計具有抽氣效應，因此指示的壓力低于真空室中的實際壓力。冷陰極真空計具有固有的濺射效應，這在中真空范圍內與重型氣體（如氬）一起抽空時尤為明顯。這可導致不一致和不準確的讀數。當烴類存在時，電離真空計受到有機分子分解產物的污染。如同濺射效應一樣，讀數可以干燥擾或不一致。必須選擇電離真空計的開關點，以避免因上述現象導致的污染。強磁場和電場會影響真空計的性能。尤其對于電離真空計而言。為能夠產生超高真空，必須對真空設備，包括真空計進行烘烤。必須遵守技術要求中規定的蕞大烘烤溫度和條件。氦檢儀選擇無毒、無破壞性、質量輕的惰性氣體氦作為探索氣體，所以安全可靠。

氦質譜檢漏儀特點：1.檢測時間和周期非常短，可以達到5s以內；2.檢測的介質比較常用，只需壓縮空氣即可；3.不會受到主觀因素判斷的影響；4.檢測的數據精確；5.自動生成數據保存，可追溯數據來源。氫質譜檢漏儀能為不同的應用提供不同的測試方法，含有渦輪分子泵、內置機械泵、外置機械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面，以及可選功能組件。氨質譜檢漏儀在許多領域里得到普遍的應用，例如，在航空航天領域里宇宙飛船、航天飛機、火箭、衛星、飛機等這些都要用到真空檢漏技術。氦檢儀適用于工業、分析研究、鍍膜市場等。溫州無損氦質譜檢漏儀大概多少錢

氦質譜檢漏儀的的可檢漏率是多少？溫州真空氦質譜檢漏儀定制

氦檢儀靈敏度降低應該如何維護？當發現氦檢儀的靈敏度降低，而氦檢儀的工作真空度狀態良好，放大器的各級工作電壓也符合標準要求，就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質譜分析管受到了嚴重污染。這個時候，就需要將氦檢儀的離子源分析管道拆下來進行徹底的清洗。具體的清洗方法如下：先用細的高標號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內表面及離子源各電極部件，這里不能用粗砂紙，因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電極部件；然后用航空汽油和無水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；較后用烘箱或電吹風進行干燥。整個清洗過程中需要注意，分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱，否則可能導致磁鐵退磁，使氦檢儀的靈敏度降低。如果操作正確，經過清洗維護后的氦檢儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。溫州真空氦質譜檢漏儀定制

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