氦檢儀中沒有手動閥，現已采用自控閥自動調節運轉時的誤差。同時用渦輪分子泵取代了油擴散泵,以消除可能造成的油返流。計算機技術也在氦檢儀中獲得應用。運轉、控制和輸出數據均由計算機自動操作完成。典型的示波器已由陰端射線管顯像屏所代替。整個操作只須按各種按鈕自動進行。氦檢儀現在已經滲透到航空航天、新能源、電子器件、閥門、電力、核電、制冷、家電等行業。氦檢儀在未來的歲月中還將在許多的工業領域中得到新的應用。氦檢儀質量范圍很寬，不只可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。分子泵排氣系統取代擴散泵排氣系統，不只解決了油蒸氣對質譜室的污染問題，而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。氦質譜檢漏儀是質譜儀器中的一種。紹興無損氦質譜檢漏儀工作原理

氦質譜檢漏儀是180°磁偏轉型的質譜分析計，其基本原理是根據離子在磁場中運動時，不同質荷比的離子具有不同的偏轉半徑來實現不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質譜室、真空系統及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空，當真空度P1優于200Pa時，打開入口閥1、2，關閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進入質譜室中被檢測出來，此時檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級泵繼續對檢漏接口抽真空，當P1降至20Pa時，入口閥2關閉，入口閥3打開，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應時間縮短，此時檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。浙江無損氦質譜檢漏儀哪家好氦檢儀適用于工業、分析研究、鍍膜市場等。

氦檢儀靈敏度降低應該如何維護？當發現氦檢儀的靈敏度降低，而氦檢儀的工作真空度狀態良好，放大器的各級工作電壓也符合標準要求，就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質譜分析管受到了嚴重污染。這個時候，就需要將氦檢儀的離子源分析管道拆下來進行徹底的清洗。具體的清洗方法如下：先用細的高標號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內表面及離子源各電極部件，這里不能用粗砂紙，因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電極部件；然后用航空汽油和無水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；較后用烘箱或電吹風進行干燥。整個清洗過程中需要注意，分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱，否則可能導致磁鐵退磁，使氦檢儀的靈敏度降低。如果操作正確，經過清洗維護后的氦檢儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。

氦質譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下，以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進行動態檢漏時所能檢測出的漏孔漏率。所謂“較佳工作條件”是指儀器參數調整到穩定值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動態檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統仍在正常抽氣。儀器的反應時間不大于3s。所謂“可檢率”是指檢漏訊號為儀器本底噪聲的兩倍時，才能認定有漏氣訊號輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內輸出儀表的較大的波動量，能較方便地估計檢漏效果。掌握和了解氦質譜檢漏儀常見故障的維修技術，有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養。

氦檢儀的組成部分有哪些？真空系統：冷阱。分子泵型真空系統一般不加冷阱。擴散泵型真空系統的冷阱加在質譜室、檢漏口與擴散泵之間，使三者被冷阱隔離，冷阱加入液氮后便可阻止擴散泵的油蒸氣和被檢件來的水蒸氣進入質譜室，保持質譜室的清潔，并幫助擴散泵迅速獲得較高真空。檢漏閥。按在質譜室和被檢件之間的管道上。真空規。一般采用冷陰極磁控放電真室規來測量質譜室中的壓力。也有用電阻規或熱偶規測量被檢件的預抽壓力和系統的前級壓力的。標準漏孔。一般儀器內都附有標準漏孔，用它來校準儀器的較小可檢漏率和對儀器輸出指示進行定標。氦檢儀的實際應用方案很多，常用的三種檢漏方法有負壓法（抽真空），正壓法（吸入法）和背壓法（壓氦法）。常州智能氦質譜檢漏儀廠家

氦質譜檢漏儀被普遍應用于壓力容器、航空航天、原子能、發電廠、制冷工業等領域。紹興無損氦質譜檢漏儀工作原理

氦質譜檢漏儀靈敏度降低怎么維護？當發現檢漏儀的靈敏度降低，而檢漏儀的工作真空度狀態良好，放大器的各級工作電壓也符合標準要求，就基本上可以確定檢漏儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質譜分析管受到了嚴重污染。這個時候，就需要將檢漏儀的離子源分析管道拆下來進行徹底的清洗。具體的清洗方法如下：先用高標號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內表面及離子源各電極部件，不能用粗砂紙，因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電極部件；然后用航空汽油或無水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；然后用烘箱或電吹風進行干燥。如果操作正確，經過清洗維護后的氦質譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。紹興無損氦質譜檢漏儀工作原理