選擇氦檢儀時主要考慮以下問題：（1）儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合正壓法檢漏；有些儀器沒有報廢漏率的設置功能，不宜作為批量產品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，此時應選擇有多工位的氦檢儀。（2）儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內外生產的不同類型的氦檢儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認真選擇。（3）被檢件如果害怕油的污染，就應選擇無油真空系統的氦檢儀。（4）被檢件容積如果較大，必須選用預抽泵抽速大的氦檢儀，否則就要外加預抽泵。（5）如果被檢對象不固定，體積時大時小，靈敏度要求時高時低，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的氦檢儀。（6）如果檢漏地點不固定，需要經常搬運儀器時，就要選擇小型便攜式儀器。（7）在滿足上述檢漏基本要求的基礎上，還要綜合考慮儀器的價格是否低、操作是否簡易、維修是否方便等方面的問題。氦檢儀在電廠檢漏領域被普遍使用。寧波氦質譜檢漏儀技術指導

氦檢儀進展的集中體現在如下幾個方面：（1）便攜式：較近各國推出的小型便攜式氦檢儀不只靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數百帕左右，對檢測大系統和有大漏的工件很有益。（3）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產的氦檢儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。（5）檢漏范圍寬：現今生產的四極氦檢儀，質量范圍很寬，不只可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。安徽移動式氦質譜檢漏儀注意事項敏度、反應時間、消除時間、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦質譜檢漏儀的主要性能指標。

氦質譜檢漏儀在使用時需注意哪些問題？1、氦質譜檢漏儀實際的檢漏靈敏度比理論計算值低，一是由于所噴出的氦氣流是散開的，故摻有一定數量的空氣，使氦氣的濃度有所降低。二是噴出的氣流的方向不可能完全對準漏孔的方向，此外、在凹缺處所存在的空氣會使得進入漏孔的氦氣濃度降低。2、檢漏次序：從被檢件物體的上方至下方，由近處向遠離檢漏儀處逐點進行噴氦檢查。3、檢出的大漏孔要經修補后再去找小漏孔。4、當存在兩個相距很近的可疑的漏孔點時，應先把一個點蓋住，再對另一點進行噴氦。5、當噴在某一點時，如果，檢漏儀上的顯示有變化，其上升速度很慢且顯示值不穩定表示鄰近其它地方有很大漏孔。

氦檢儀具有性能穩定、靈敏度高的特點。靈敏度、反應時間、清零時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦檢儀的主要性能指標。檢測氣體使用氦氣的主要原因如下：(1)對人體和自然環境沒有毒害；(2)不能燃燒，作業安全；(3)惰性氣體，和被檢測對象不會發生化學反應；(4)分子直徑和質量小，容易穿過微小縫隙，便于檢漏；(5)通常環境下保持氣體狀態，不會堵住微漏孔；(6)真空腔體自身放出的氣體中幾乎不包含氦氣；(7)氦氣在空氣中的存在量只為5ppm，容易定點查清漏氣位置。由于氦氣比空氣輕很多，向真空腔體噴氦氣檢漏時要從上往下依次操作，否則不利于判定漏點所在。當腔體構造復雜，或漏率極小時，可針對重點部位用塑料袋套住，然后向塑料袋內部充入氦氣，實現對特定重點部位的檢漏。掌握和了解氦質譜檢漏儀常見故障的維修技術，有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養。

氦檢儀開機如何操作？1、將總電源轉到“前級泵”，低真空表頭指示值應從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關，表頭示值也應能抽到原來位置，再關抽速閥。2、將總電源轉到“擴散泵”，燈亮，擴散泵開始加熱。3、等20分鐘左右，擴散泵排氣管應熱，開冷規開關，“質譜室壓強”表頭指針應從左打向右(即冷規已激發)再關冷規。4、開抽速閥，過幾分鐘后開冷規，表頭指針應從左打向右，再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時間開冷規，可等一會兒再開)，當真空示值超過1×10-2Pa后，可啟動燈絲，燈亮，“發射電流”有指示，開、關漏孔檢查氦檢儀靈敏度(可調加速電壓使信號指示Zda)，靈敏度達要求后關漏孔。將工件用外接泵抽上真空后，開節流閥至冷規指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間，對工件噴氦檢漏。檢漏完，關節流閥。氦檢儀在壓力容器中的常用方法有哪些？安徽小型氦質譜檢漏儀使用方法

噴氦法、吸氦法是氦質譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。寧波氦質譜檢漏儀技術指導

氦質譜檢漏儀的優點體現在以下幾個方面：（1）便攜式：很多小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數百帕左右，對檢測大系統和有大漏的工件很有益。（3）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。寧波氦質譜檢漏儀技術指導