在氦質譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個階段都要考慮檢漏工作，由于冶金、原子能、電子、宇航技術的發展，要求制造不同用途的高真空、超高真空，甚至極高真空設備。這些設備中的某些設備結構復雜，內部有很多管道和傳動機構，有的體積很大，達幾十立方米，甚至數百立方米，連接管道和內部管道的總長度可達幾公里，焊縫、氦質譜檢漏儀,氦檢儀圈的總長度可達數十公里，必須投人很大力量對設備嚴格進行檢漏，所以且應該從設備開始設計時起就考慮檢漏問題。如果等到進行安裝時再考慮檢漏間題就可能給氦質譜檢漏儀,氦檢儀的檢漏工作帶來很大困難。高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種，一個是離子流接收放大機輸出電路的噪聲，另一個是本底噪聲。上海自動氦質譜檢漏儀廠家

影響氦質譜檢漏儀檢測精度的原因是什么？穩定時間對檢測的影響，在充氣的時候，壓縮空氣會因為受壓狀態而進入一個密閉容器后，引起一系列的熱力學-動力學變化。即當一定體積的壓縮空氣迅速移至一密閉容器后，其壓力會發生降低，若此時進行測量，則這種壓力的變化會被視作一個由泄漏所引起的壓力變化，影響測量結果的準確性。這種“沖氣效應”受充氣壓力、測試容積及測試件材料影響。當充氣壓力或測試容積增加時，這種充氣引起的壓力降低隨之變得明顯。解決這個問題的辦法之一是在充氣與測量之間增加一段穩定時間來消除這種影響。南京智能氦質譜檢漏儀價格氦檢儀的實際應用方案很多，常用的三種檢漏方法有負壓法（抽真空），正壓法（吸入法）和背壓法（壓氦法）。

在使用氦檢儀時要如何保養？①如果儀器不是每天都使用，建議每周啟動并檢查一次，以保持儀器的高真空系統處于真空狀態，在后期使用過程中可以縮短儀器的啟動時間。②儀器部件（如離子源）拆卸后，安裝過程中應避免在安裝現場發生泄漏，儀器可用于泄漏檢測。③及時對泄漏處（如放氣閥等）進行自檢。）可能出現在儀器上，并在發現泄漏點后及時移除、清潔或緊固，以免在泄漏檢測過程中干擾泄漏檢測。④氦檢儀維護定期維護油泵。（散熱口粉塵處理及泵油的檢查和更換）⑤嚴禁在氦檢儀上，尤其是進氣口處掉落或噴灑任何異物。由于氦檢儀是一種高精度儀器，其儲存和使用環境應保持清潔衛生。只有經過培訓或合格的設備維護工程師才能使用該儀器。⑥使用時，請注意儀器的操作。一旦出現大振動、高噪音等狀況時，儀器在操作過程中不能移動。渦輪分子泵正在高速運轉。如果泄漏檢測器移動，渦輪分子泵中的葉片將很容易與轉子的圓筒碰撞。立即切斷電源并排除故障，否則會對氦檢儀造成不良影響。

氦質譜檢漏儀檢漏注意事項：1、工件要保持清潔、干燥。2、對工件噴氦應按以下順序進行：①從上往下。②從靠近測試口到遠離測試口。3、噴氦時應經常檢查噴口是否有氦氣噴出。4、檢完工件，必須將“節流閥”關閉，才能取工件。5、對同一工件，如有兩處以上漏點，應排除Zda的漏點后，再對其它地方檢漏。6、裝工件時應使連接處密封好，不能有漏。7、檢漏間應通風良好，避免氦氣濃度，但應避免強通風。8、氦氣屬貴重氣體，應避免泄漏浪費。氦質譜檢漏儀燈絲安裝時應先將離子源內的污漬用細砂紙打干凈，清洗后再裝。燈絲應正對電離盒電子入口，盡量靠近電離盒，但不能短路，三根引線間也不能相互短路。氦質譜檢漏儀安裝時要避免安裝部位出現泄漏，可用儀器進行自身檢漏。

氦質譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調整到只對氦氣反應的工作狀態)的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質量數小重量輕并且有滲透能力強的優點，達到了細檢漏的目的。噴氦法、吸氦法是氦檢儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。寧波無損氦質譜檢漏儀技術指導

氦質譜檢漏儀靈敏度降低怎么維護？上海自動氦質譜檢漏儀廠家

氦檢儀開機如何操作？1、將總電源轉到“前級泵”，低真空表頭指示值應從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關，表頭示值也應能抽到原來位置，再關抽速閥。2、將總電源轉到“擴散泵”，燈亮，擴散泵開始加熱。3、等20分鐘左右，擴散泵排氣管應熱，開冷規開關，“質譜室壓強”表頭指針應從左打向右(即冷規已激發)再關冷規。4、開抽速閥，過幾分鐘后開冷規，表頭指針應從左打向右，再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時間開冷規，可等一會兒再開)，當真空示值超過1×10-2Pa后，可啟動燈絲，燈亮，“發射電流”有指示，開、關漏孔檢查氦檢儀靈敏度(可調加速電壓使信號指示Zda)，靈敏度達要求后關漏孔。將工件用外接泵抽上真空后，開節流閥至冷規指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間，對工件噴氦檢漏。檢漏完，關節流閥。上海自動氦質譜檢漏儀廠家