氦檢儀中沒有手動閥，現已采用自控閥自動調節運轉時的誤差。同時用渦輪分子泵取代了油擴散泵,以消除可能造成的油返流。計算機技術也在氦檢儀中獲得應用。運轉、控制和輸出數據均由計算機自動操作完成。典型的示波器已由陰端射線管顯像屏所代替。整個操作只須按各種按鈕自動進行。氦檢儀現在已經滲透到航空航天、新能源、電子器件、閥門、電力、核電、制冷、家電等行業。氦檢儀在未來的歲月中還將在許多的工業領域中得到新的應用。氦檢儀質量范圍很寬，不只可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。分子泵排氣系統取代擴散泵排氣系統，不只解決了油蒸氣對質譜室的污染問題，而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。氦質譜檢漏儀靈敏度降低怎么維護？浙江國產氦質譜檢漏儀哪個牌子好

氦檢儀（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）為氣體工業名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到只對氦氣反應的工作狀態）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。專業用于電廠檢漏的氦檢儀。關鍵部件均為進口，性能穩定可靠。不只靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。南京智能氦質譜檢漏儀單位氦檢儀怎么選擇適合的檢漏方法？

氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了普遍應用。氦檢儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。質譜室里的燈絲發射出來的電子，在室內來回地振蕩，并與室內氣體和經漏孔進人室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進人磁場，由于洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦檢儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。

氦檢儀在使用過程中需特別注意以下幾點：①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內，電壓過低儀器啟動困難，且性能不穩定，電壓過高會燒壞電源，嚴重時還會燒毀母板的電路板和分子泵，應連接穩壓電源(UPS)。②儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉中，若搬動氦檢儀，容易使分子泵內的葉片與轉子的筒體相碰撞。③氦檢儀應按照說明書的要求定期進行保養，保養的項目有更換機械泵油、更換過濾網、更換過濾器。④氦檢儀在運行了2000h后應對前級泵進行維修和保養，運行7000h分子泵進行維護和保養。氦檢儀是真空檢漏技術中靈敏度較高，用得較普遍的氦檢儀器。

氦檢儀現已普遍應用于半導體設備檢漏。半導體設備及材料需要檢漏原因：1、半導體設備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發臺、ICP、PECVD等設備。出現泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間，耗時耗力；2、在高真空環境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現泄漏周圍環境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會對晶元造成污染，對半導體的特性改變并破壞其性能，因此在半導體器件生產過程中必須進行氦質譜檢漏；3、一些半導體設備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經過氦質譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設備能及時抽走未反應氣體和氣態反應產物，保障工作人員安全和大氣環境。4、芯片封裝，一旦出現泄漏，芯片就會失效。綜上所述，氦檢儀在半導體行業起著至關重要的作用。氦質譜檢漏儀具有性能穩定、靈敏度高的優點。浙江國產氦質譜檢漏儀哪個牌子好

氦質譜檢漏儀是真空檢漏技術中靈敏度較高，用得比較多的檢漏儀器。浙江國產氦質譜檢漏儀哪個牌子好

氦檢儀的工作原理：氦檢儀先在質譜室中將采集的被測氣體電離，再利用電磁場將不同荷質比的離子加以分離檢測,從中檢測出事先安排的示蹤氦離子，主要由三大組件構成:真空系統、質譜室和電子學控制單元。氦檢儀內部配有一臺旋片式真空泵,用以維持儀器內部的高真空。質譜室是氦檢儀的重點部分，它包括離子源、聚焦、質量分析器和測量部分。質譜室入口連接在渦輪分子泵的前級真空部分，分子泵對不同的氣體具有不同的壓縮比特性，氦氣的壓縮比很小，可以逆著分子泵的抽氣方向流動進入質譜室。在質譜室中氦氣被電離，氦離子通過質量分析器的篩選到達收集極，產生一個正比于離子數量的電流信號，該信號經過放大和處理即為泄漏率。浙江國產氦質譜檢漏儀哪個牌子好