晶圓光刻顯影、蝕刻光刻工藝的基本流程如圖1 [2]所示。首先是在晶圓（或襯底）表面涂上一層光刻膠并烘干。烘干后的晶圓被傳送到光刻機里面。光線透過一個掩模把掩模上的圖形投影在晶圓表面的光刻膠上，實現曝光，激發光化學反應。對曝光后的晶圓進行第二次烘烤，即所謂的曝光后烘烤，后烘烤使得光化學反應更充分。***，把顯影液噴灑到晶圓表面的光刻膠上，對曝光圖形顯影。顯影后，掩模上的圖形就被存留在了光刻膠上。涂膠、烘烤和顯影都是在勻膠顯影機中完成的，曝光是在光刻機中完成的。勻膠顯影機和光刻機一般都是聯機作業的，晶圓通過機械手在各單元和機器之間傳送。整個曝光顯影系統是封閉的，晶圓不直接暴露在周圍環境中，以減少環境中有害成分對光刻膠和光化學反應的影響 [2]。在一個自排列（CMOS）過程中，所有門層（多晶硅或金屬）穿過擴散層的地方形成晶體管。靜安區加工電阻芯片量大從優

1965-1978年 創業期1965年，***批國內研制的晶體管和數字電路在河北半導體研究所鑒定成功。1968年，上海無線電十四廠**制成PMOS（P型金屬-氧化物-半導體）集成電路。1970年，北京878廠、上海無線電十九廠建成投產。 [17]1972年，**塊PMOS型LSI電路在四川永川一四二四研究所制。1976年，中科院計算所采用中科院109廠（現中科院微電子研究所）研制的ECL（發射極耦合邏輯電路），研制成功1000萬次大型電子計算機。 [5]1978-1989年 探索前進期1980年，**條3英寸線在878廠投入運行。寶山區本地電阻芯片性價比中型集成電路（MSI英文全名為Medium Scale Integration）邏輯門11~100個或 晶體管101~1k個。

IC由很多重疊的層組成，每層由視頻技術定義，通常用不同的顏色表示。一些層標明在哪里不同的摻雜劑擴散進基層（成為擴散層），一些定義哪里額外的離子灌輸（灌輸層），一些定義導體（多晶硅或金屬層），一些定義傳導層之間的連接（過孔或接觸層）。所有的組件由這些層的特定組合構成。在一個自排列（CMOS）過程中，所有門層（多晶硅或金屬）穿過擴散層的地方形成晶體管。電阻結構，電阻結構的長寬比，結合表面電阻系數，決定電阻。電容結構，由于尺寸限制，在IC上只能產生很小的電容。

廣義:將封裝體與基板連接固定，裝配成完整的系統或電子設備，并確保整個系統綜合性能的工程。芯片封裝實現的功能1、傳遞功能；2、傳遞電路信號；3、提供散熱途徑；4、結構保護與支持。封裝工程的技術層次封裝工程始于集成電路芯片制成之后，包括集成電路芯片的粘貼固定、互連、封裝、密封保護、與電路板的連接、系統組合，直到**終產品完成之前的所有過程。***層次:又稱為芯片層次的封裝，是指把集成電路芯片與封裝基板或引腳架之間的粘貼固定、電路連線與封裝保護的工藝，使之成為易于取放輸送，并可與下一層次組裝進行連接的模塊(組件)元件。電阻結構，電阻結構的長寬比，結合表面電阻系數，決定電阻。

C=0℃至60℃（商業級）；I=-20℃至85℃（工業級）；E=-40℃至85℃（擴展工業級）；A=-40℃至82℃（航空級）；M=-55℃至125℃（**級）封裝類型：A—SSOP；B—CERQUAD；C-TO-200，TQFP﹔D—陶瓷銅頂；E—QSOP；F—陶瓷SOP；H—SBGAJ-陶瓷DIP；K—TO-3；L—LCC，M—MQFP；N——窄DIP﹔N—DIP;；Q—PLCC；R一窄陶瓷DIP （300mil）；S—TO-52，T—TO5，TO-99，TO-100﹔U—TSSOP，uMAX，SOT；W—寬體小外型(300mil)﹔ X—SC-60(3P，5P，6P)﹔ Y―窄體銅頂；Z—TO-92，MQUAD；D—裸片；/PR-增強型塑封﹔/W-晶圓。2023年4月，國際科研團隊將能發射糾纏光子的量子光源完全集成在一塊芯片上 [15]。上海通用電阻芯片批量定制

先進的集成電路是微處理器或多核處理器，可以控制計算機到手機到數字微波爐的一切。靜安區加工電阻芯片量大從優

**早的電路故障診斷方法主要依靠一些簡單工具進行測試診斷，它極大地依賴于**或技術人員的理論知識和經驗。在這些測試方法中，**常用的主要有四類：虛擬測試、功能測試、結構測試和缺陷故障測試。虛擬測試不需要檢測實際芯片，而只測試仿真的芯片，適用于在芯片制造前進行。它能及時檢測出芯片設計上的故障，但它并未考慮芯片在實際的制造和運行中的噪聲或差異。功能測試依據芯片在測試中能否完成預期的功能來判定芯片是否存在故障。靜安區加工電阻芯片量大從優

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