（3）數控轉臺分度精度的檢測及其自動補償 現在，利用ML10激光干涉儀加上RX10轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置，以任意角度間隔進行全自動測量，其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術。它比傳統用自準直儀和多面體的方法不僅節約了大量的測量時間，而且還得到完整的回轉軸精度曲線，知曉其精度的每一細節，并給出按相關標準處理的統計結果。（4）雙軸定位精度的檢測及其自動補償 雷尼紹雙激光干涉儀系統可同步測量大型龍門移動式數控機床，由雙伺服驅動某一軸向運動的定位精度，而且還能通過RS232接口，自動對兩軸線性誤差分別進行補償。光電探測器將光信號轉為電信號，經電路處理提取差頻變化量，然后通過相位比較或脈沖計數來計算位移。蘇州安裝雙頻激光干涉儀銷售廠

激光干涉儀具有廣泛的應用領域，包括但不限于：科學研究：用于檢測引力波、測量微小位移和振動等。工業制造：用于精密機械加工、質量控制和機床校準等。在機床校準中，激光干涉儀能夠測量機床的線性定位誤差、直線度誤差、偏擺角、俯仰角和滾動角等，以及速度、加速度、振動等參數，并評估機床的動態特性。計量學：用于長度標準的校準。通信：用于光纖傳感和信號處理。四、主要特點高精度：激光干涉儀能夠實現亞納米級的測量精度，非常適合各種高精度測量應用。工業園區附近雙頻激光干涉儀產品介紹高精度：雙頻激光干涉儀能夠實現亞納米級別的測量精度，適用于微小位移的檢測。

激光平面干涉儀是基于菲索干涉原理設計的光學精密計量儀器，主要用于檢測光學元件表面面形精度和光學材料的均勻性 [1] [3-4]。該設備測量精度可達到1/10-1/100波長量級，采用半導體激光器（635nm）作為光源，具有防塵效果好、結構緊湊等特點，適用于光學車間、實驗室等場景的批量檢測 [3-4]。上海乾曜光學科技有限公司與北京海富達科技有限公司均具備相關生產能力，其中G150M、G200M及60-LP等型號產品采用標準化測量口徑設計，可滿足不同使用場景需求 [2-4]。截至2025年，相關企業產品已服務國內外科研院所及工業企業 [2]。

激光干涉測量儀通過雙頻激光技術實現高精度線性位移測量，適用于車間生產環境下的數控機床校準、三坐標機校準及光學平臺校準。其測量鏡組可擴展功能，支持直線度、垂直度等幾何量檢測 [2]。該儀器的系統包括 [2]：1.雙頻激光頭及附件2.環境補償單元3.測量軟件、分析軟件4.各類測量鏡組激光干涉測量儀的優勢包括緊湊設計、自動環境補償及符合測校國家標準的測量分析軟件。截至2023年8月，典型型號LH3000的測量速度可達2米/秒，頻差為7±0.5MHz [2]。其原因在于它是一種直流測量系統，必然具有直流光平和電平零漂的弊端。

激光干涉測量儀是一種基于激光干涉原理的高精度計量儀器，廣泛應用于工程與技術科學領域 [1-2]。該儀器通過測量激光波長變化實現幾何量的檢測，具備抗干擾能力強、精度高等特點。主要應用場景包括數控機床校準、三坐標機校準、光學平臺校準等，通過與不同光學組件結合，可檢測線性位移、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數 [2]截至2020年11月，激光干涉測量儀的技術參數包括 [1]：標準量程：0-40米測量精度：±0.5 ppm分辨率：1納米比較大速率：240米/分鐘角度測量精度：0.2%起初用于高精度的磨床、鏜床和坐標測量機上，以后又用于加工中心的定位系統中。姑蘇區銷售雙頻激光干涉儀產品介紹

測量精度不受空氣湍流的影響，無需預熱時間。蘇州安裝雙頻激光干涉儀銷售廠

邁克爾遜干涉儀，是1881年美國物理學家邁克爾遜和莫雷合作，為研究“以太”漂移而設計制造出來的精密光學儀器。它是利用分振幅法產生雙光束以實現干涉。通過調整該干涉儀，可以產生等厚干涉條紋，也可以產生等傾干涉條紋。主要用于長度和折射率的測量，若觀察到干涉條紋移動一條，便是M2的動臂移動量為λ/2，等效于M1與M2之間的空氣膜厚度改變λ/2。在近代物理和近代計量技術中，如在光譜線精細結構的研究和用光波標定標準米尺等實驗中都有著重要的應用。利用該儀器的原理，研制出多種**干涉儀。 [1]蘇州安裝雙頻激光干涉儀銷售廠

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