激光的出現(xiàn)在世界計(jì)量史上具有重大的意義。用穩(wěn)頻的氦氖激光器作為光源,由于它的相干長(zhǎng)度很大,干涉儀的測(cè)量范圍可以**的擴(kuò)展;而且由于它的光束發(fā)散角小,能量集中,因而它產(chǎn)生的干涉條紋可以用光電接收器接收,變?yōu)殡娪嵦?hào),并由計(jì)數(shù)器一個(gè)不漏的記錄下來(lái),從而提高了測(cè)量速度和測(cè)量精度,比如說(shuō)我國(guó)自行設(shè)計(jì)與制造的以氦氖激光器作為光源的光電光波比長(zhǎng)儀,可以在20分鐘之內(nèi)把1米線紋尺上1001條刻線依次自動(dòng)鑒定完畢,精度達(dá)到±0.2μm,這就是激光干涉儀的成功例證。它通過(guò)多次反射在兩個(gè)平面鏡之間形成干涉。虎丘區(qū)定制雙頻激光干涉儀性價(jià)比
常見(jiàn)的干涉儀包括:邁克爾遜干涉儀:由阿爾伯特·邁克爾遜發(fā)明,主要用于測(cè)量光的波長(zhǎng)、干涉條紋的變化等。它通過(guò)將光束分成兩部分,分別經(jīng)過(guò)不同的路徑后再合并,形成干涉圖樣。法布里-佩**涉儀:由查爾斯·法布里和阿爾弗雷德·佩羅發(fā)明,主要用于高精度的光譜分析。它通過(guò)多次反射在兩個(gè)平面鏡之間形成干涉。光纖干涉儀:利用光纖中的光波干涉現(xiàn)象,廣泛應(yīng)用于傳感器、通信等領(lǐng)域。干涉儀的應(yīng)用包括測(cè)量微小位移、折射率、波長(zhǎng)、材料的光學(xué)特性等。在科學(xué)研究和工業(yè)檢測(cè)中,干涉儀是一種非常重要的工具。吳中區(qū)耐用雙頻激光干涉儀設(shè)備廠家即使不做細(xì)分也可達(dá)到μm量級(jí),細(xì)分后更可達(dá)到nm量級(jí)。
1. 同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角2. 設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器3. 可選的無(wú)線遙控傳感器**長(zhǎng)的控制距離可到25米4. 可測(cè)量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù),并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性5. 全套系統(tǒng)重量*15公斤,設(shè)計(jì)緊湊、體積小,測(cè)量機(jī)床時(shí)不需三角架6. 集成干涉鏡與激光器于一體,簡(jiǎn)化了調(diào)整步驟,減少了調(diào)整時(shí)間7、激光干涉儀可以同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角等,以及測(cè)量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù),并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性等。
折射率測(cè)定兩光束的幾何路程保持不變,介質(zhì)折射率變化也可導(dǎo)致光程差的改變,從而引起條紋移動(dòng)。瑞利干涉儀就是通過(guò)條紋移動(dòng)來(lái)對(duì)折射率進(jìn)行相對(duì)測(cè)量的典型干涉儀。應(yīng)用于風(fēng)洞的馬赫-秦特干涉儀被用來(lái)對(duì)氣流折射率的變化進(jìn)行實(shí)時(shí)觀察。波長(zhǎng)的測(cè)量任何一個(gè)以波長(zhǎng)為單位測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)米尺的方法也就是以標(biāo)準(zhǔn)米尺為單位來(lái)測(cè)量波長(zhǎng)的方法。以國(guó)際米為標(biāo)準(zhǔn),利用干涉儀可精確測(cè)定光波波長(zhǎng)。法布里-珀**涉儀(標(biāo)準(zhǔn)具)曾被用來(lái)確定波長(zhǎng)的初級(jí)標(biāo)準(zhǔn)(鎘紅譜線波長(zhǎng))和幾個(gè)次級(jí)波長(zhǎng)標(biāo)準(zhǔn),從而通過(guò)比較法確定其他光譜線的波長(zhǎng)。其原因在于它是一種直流測(cè)量系統(tǒng),必然具有直流光平和電平零漂的弊端。
按照干涉光來(lái)源區(qū)分干涉儀可以分成波前分解和幅度分解兩類, 其差異在于是否利用波前上不同位置的子波源形成干涉。 例如楊氏雙縫干涉即屬于波前分解干涉儀(鐘錫華, 陳熙謀, 2002) [3]; 而等傾干涉和等厚干涉即為幅度分解干涉儀。干涉儀的應(yīng)用極為***,主要有如下幾方面:長(zhǎng)度測(cè)量在雙光束干涉儀中,若介質(zhì)折射率均勻且保持恒定,則干涉條紋的移動(dòng)是由兩相干光幾何路程之差發(fā)生變化所造成,根據(jù)條紋的移動(dòng)數(shù)可進(jìn)行長(zhǎng)度的精確比較或***測(cè)量。邁克耳孫干涉儀和法布里-珀**涉儀曾被用來(lái)以鎘紅譜線的波長(zhǎng)表示國(guó)際米。而雙頻激光干涉儀正好克服了這一弱點(diǎn),它是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。張家港安裝雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)
廣泛應(yīng)用:廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、機(jī)械工程、光學(xué)測(cè)量、精密制造等領(lǐng)域。虎丘區(qū)定制雙頻激光干涉儀性價(jià)比
多普勒效應(yīng):當(dāng)測(cè)量鏡移動(dòng)時(shí),測(cè)量光的頻率變?yōu)閒1±Δf,與參考光f2干涉后形成差頻信號(hào)|(f1±Δf)-f2|,該信號(hào)反映出位移引起的頻率變化。信號(hào)檢測(cè):光電探測(cè)器將光信號(hào)轉(zhuǎn)為電信號(hào),經(jīng)電路處理提取差頻變化量,然后通過(guò)相位比較或脈沖計(jì)數(shù)來(lái)計(jì)算位移。二、主要特點(diǎn)精度高:雙頻激光干涉儀以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行度量,即使不做細(xì)分也可達(dá)到微米(μm)量級(jí),細(xì)分后更可達(dá)到納米(nm)量級(jí)。應(yīng)用范圍廣:雙頻激光干涉儀可用于長(zhǎng)度的精密測(cè)量,配上適當(dāng)?shù)母郊€可測(cè)量角度、直線度、平面度、振動(dòng)距離及速度等。虎丘區(qū)定制雙頻激光干涉儀性價(jià)比
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