非接觸式測量：激光干涉儀可以不接觸物體表面就測量其形狀，這對于測量易碎或精細(xì)的物體非常有用。多功能性：激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作。抗干擾能力強(qiáng)：雙頻激光干涉儀對由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感，因此抗干擾能力強(qiáng)。五、注意事項(xiàng)與維護(hù)注意事項(xiàng)：儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無振動(dòng)的環(huán)境中應(yīng)用。在移動(dòng)儀器時(shí)，應(yīng)托住底座以防止導(dǎo)軌變形。光學(xué)零件在不用時(shí)，應(yīng)在清潔干燥的器皿中進(jìn)行存放以防止發(fā)霉。用穩(wěn)頻的氦氖激光器作為光源，由于它的相干長度很大，干涉儀的測量范圍可以擴(kuò)展；太倉新款雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)

激光干涉儀是一種高精度的測量工具，以下是對其的詳細(xì)介紹：一、定義與原理激光干涉儀是以激光波長為已知長度，利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量工具。其工作原理基于干涉原理，即當(dāng)兩束波重疊并結(jié)合時(shí)，會(huì)產(chǎn)生新的波形模式。在激光干涉儀中，激光束被分為兩路，一路經(jīng)固定反射鏡反射，另一路經(jīng)可動(dòng)反射鏡反射，兩束光重新匯合時(shí)產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí)，干涉條紋的光強(qiáng)變化被轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，進(jìn)而計(jì)算出位移量。太倉新款雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)而雙頻激光干涉儀正好克服了這一弱點(diǎn)，它是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。

三角運(yùn)算給出其中疊加后的振幅為可以看到， 疊加后的振幅與兩列波的初始相位差有關(guān)。 由于幅度變化依賴于相位差的余弦函數(shù)， 這種幅度的變化有時(shí)候在空間表現(xiàn)為周期性的條紋。 這種條紋有時(shí)候叫做干涉條紋， 由于相位差變化引起的幅度變化有時(shí)也稱為條紋移動(dòng)。分類干涉儀的分類有不同分法按照結(jié)構(gòu)區(qū)分干涉儀可以分為單路徑干涉儀和多路徑干涉儀兩類， 其差異在于干涉的波是否通過同一路徑傳播。 例如邁克爾遜干涉儀就是常見的多路徑干涉儀， 而Sagnac干涉儀， 等傾干涉和等厚干涉等即為單路徑干涉儀（鐘錫華， 陳熙謀， 2002） [3]。

機(jī)床與加工設(shè)備：應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、磨床、鏜床、加工中心等設(shè)備的定位系統(tǒng)校準(zhǔn)及誤差修正，以提升加工精度。集成電路制造：支持半導(dǎo)體光刻技術(shù)的工件臺(tái)的精密定位。物理實(shí)驗(yàn)：測量位移、速度、加速度等動(dòng)力學(xué)參數(shù)。在線監(jiān)測控制：在大規(guī)模集成電路加工設(shè)備、精密機(jī)床中實(shí)現(xiàn)誤差的在線測量，以提升生產(chǎn)穩(wěn)定性。檢測儀器校準(zhǔn)：用于線性位移傳感器、角度傳感器、直線度檢測儀等幾何檢測儀器的標(biāo)定。雙頻激光干涉儀憑借其高精度、強(qiáng)環(huán)境適應(yīng)力、高實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)測速以及廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域，在精密制造、科研創(chuàng)新以及標(biāo)準(zhǔn)化檢測等方面發(fā)揮著關(guān)鍵作用。激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進(jìn)行測量的精密儀器。

按照干涉光來源區(qū)分干涉儀可以分成波前分解和幅度分解兩類， 其差異在于是否利用波前上不同位置的子波源形成干涉。 例如楊氏雙縫干涉即屬于波前分解干涉儀（鐘錫華， 陳熙謀， 2002） [3]； 而等傾干涉和等厚干涉即為幅度分解干涉儀。干涉儀的應(yīng)用極為***，主要有如下幾方面：長度測量在雙光束干涉儀中，若介質(zhì)折射率均勻且保持恒定，則干涉條紋的移動(dòng)是由兩相干光幾何路程之差發(fā)生變化所造成，根據(jù)條紋的移動(dòng)數(shù)可進(jìn)行長度的精確比較或***測量。邁克耳孫干涉儀和法布里-珀**涉儀曾被用來以鎘紅譜線的波長表示國際米。由于其高精度和高靈敏度，激光干涉儀在科學(xué)研究和工業(yè)應(yīng)用中都具有重要的地位。太倉新款雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)

接受信號(hào)為交流信號(hào)，前置放大器為高倍數(shù)的交流放大器，不用直流放大，故沒有零點(diǎn)漂移等問題。太倉新款雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)

激光干涉測量儀是一種基于激光干涉原理的高精度計(jì)量儀器，廣泛應(yīng)用于工程與技術(shù)科學(xué)領(lǐng)域 [1-2]。該儀器通過測量激光波長變化實(shí)現(xiàn)幾何量的檢測，具備抗干擾能力強(qiáng)、精度高等特點(diǎn)。主要應(yīng)用場景包括數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)、三坐標(biāo)機(jī)校準(zhǔn)、光學(xué)平臺(tái)校準(zhǔn)等，通過與不同光學(xué)組件結(jié)合，可檢測線性位移、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數(shù) [2]截至2020年11月，激光干涉測量儀的技術(shù)參數(shù)包括 [1]：標(biāo)準(zhǔn)量程：0-40米測量精度：±0.5 ppm分辨率：1納米比較大速率：240米/分鐘角度測量精度：0.2%太倉新款雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)

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