干涉儀是一種使用干涉測量技術(shù)的光學(xué)計量儀器,其思想在于利用波的疊加性來獲取波的相位信息,從而獲得實(shí)驗(yàn)所關(guān)心的物理量。以下是對干涉儀的詳細(xì)介紹:一、基本原理具有固定相位差的兩列準(zhǔn)單色波的疊加將導(dǎo)致振幅發(fā)生變化,從而可以通過測量較容易測量的振幅來獲取波的相位信息。由于幅度變化依賴于相位差的余弦函數(shù),這種幅度的變化有時候在空間表現(xiàn)為周期性的條紋,即干涉條紋。基本構(gòu)成干涉儀一般由光源、分束器、反射鏡、干涉屏(或檢測器)等組成。光源發(fā)出的光經(jīng)過分束器被分成兩束,分別經(jīng)由反射鏡反射回來,并在干涉屏(或檢測器)上產(chǎn)生干涉圖樣。其中,各元件的功能如下:激光的出現(xiàn)在世界計量史上具有重大的意義。工業(yè)園區(qū)本地雙頻激光干涉儀維保
激光干涉儀具有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,包括但不限于:科學(xué)研究:用于檢測引力波、測量微小位移和振動等。工業(yè)制造:用于精密機(jī)械加工、質(zhì)量控制和機(jī)床校準(zhǔn)等。在機(jī)床校準(zhǔn)中,激光干涉儀能夠測量機(jī)床的線性定位誤差、直線度誤差、偏擺角、俯仰角和滾動角等,以及速度、加速度、振動等參數(shù),并評估機(jī)床的動態(tài)特性。計量學(xué):用于長度標(biāo)準(zhǔn)的校準(zhǔn)。通信:用于光纖傳感和信號處理。四、主要特點(diǎn)高精度:激光干涉儀能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級的測量精度,非常適合各種高精度測量應(yīng)用。姑蘇區(qū)通用雙頻激光干涉儀銷售廠在科學(xué)研究和工業(yè)檢測中,干涉儀是一種非常重要的工具。
環(huán)境適應(yīng)力強(qiáng):雙頻激光干涉儀采用交流放大器對干涉信號進(jìn)行放大,即使光強(qiáng)衰減90%,仍然可以得到有效的干涉信號。因此,它既可在恒溫、恒濕、防震的計量室內(nèi)使用,也可在普通車間內(nèi)為大型機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。實(shí)時動態(tài)測速高:現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測速普遍達(dá)到1m/s,有的甚至達(dá)到十幾m/s,適于高速動態(tài)測量。三、應(yīng)用領(lǐng)域幾何量精密測量:用于長度、角度、直線度、平行度、平面度、垂直度等幾何量的高精度測量。同時,既支持幾十米大量程的檢測(如大型機(jī)械),也可對手表零件等微米級運(yùn)動進(jìn)行測量。
(1)接受信號為交流信號,前置放大器為高倍數(shù)的交流放大器,不用直流放大,故沒有零點(diǎn)漂移等問題。(2)利用多普勒效應(yīng),計數(shù)器計頻率差的變化,不受激光強(qiáng)度和磁場變化的影響。在光強(qiáng)度衰減90%時仍可得到滿意的信號,這對于遠(yuǎn)距離測量是十分重要的,同時在近距離測量時又能簡化調(diào)整工作。(3)測量精度不受空氣湍流的影響,無需預(yù)熱時間。用激光干涉儀作為機(jī)床的測量系統(tǒng)可以提高機(jī)床的精度和效率。起初*用于高精度的磨床、鏜床和坐標(biāo)測量機(jī)上,以后又用于加工中心的定位系統(tǒng)中。測量精度不受空氣湍流的影響,無需預(yù)熱時間。
這路光束和由固定反射鏡反射回來*含有f1的光的光束經(jīng)偏振片2后會合成為f1-(f2±Δf)的測量光束。測量光束和上述參考光束經(jīng)各自的光電轉(zhuǎn)換元件、放大器、整形器后進(jìn)入減法器相減,輸出成為*含有±Δf的電脈沖信號。經(jīng)可逆計數(shù)器計數(shù)后,由電子計算機(jī)進(jìn)行當(dāng)量換算(乘 1/2激光波長)后即可得出可動反射鏡的位移量。雙頻激光干涉儀是應(yīng)用頻率變化來測量位移的,這種位移信息載于f1和f2的頻差上,對由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感,所以抗干擾能力強(qiáng)。它常用于檢定測長機(jī)、三坐標(biāo)測量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度,也可用作測長機(jī)、高精度三坐標(biāo)測量機(jī)等的測量系統(tǒng)。利用相應(yīng)附件,還可進(jìn)行高精度直線度測量、平面度測量和小角度測量。光程傳播:參考光束和測量光束分別經(jīng)過不同的路徑,可能會經(jīng)過被測物體或介質(zhì)。姑蘇區(qū)直銷雙頻激光干涉儀五星服務(wù)
和單頻激光干涉儀一樣,雙頻激光干涉儀也是一種以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進(jìn)行度量的儀器。工業(yè)園區(qū)本地雙頻激光干涉儀維保
反射光和透射光分別垂直入射到全反射鏡M1和M2,它們經(jīng)反射后回到G1(左)的半透半反射膜處,再分別經(jīng)過透射和反射后,來到觀察區(qū)域E。G2(右)為補(bǔ)償板,它與G1為相同材料,有相同的厚度,且平行安裝,目的是要使參加干涉的兩光束經(jīng)過玻璃板的次數(shù)相等,兩束光在到達(dá)觀察區(qū)域E時沒有因玻璃介質(zhì)而引入額外的光程差。當(dāng)M2和M1'嚴(yán)格平行時,表現(xiàn)為等傾干涉的圓環(huán)形條紋,移動M2時,會不斷從干涉的圓環(huán)中心“吐出”或向中心“吞進(jìn)”圓環(huán)。兩平面鏡之間的“空氣間隙”距離增大時,中心就會“吐出”一個個條紋;反之則“吞進(jìn)”。M2和M1'不嚴(yán)格平行時,則表現(xiàn)為等厚干涉條紋,移動M2時,條紋不斷移過視場中某一標(biāo)記位置,M2平移距離 d 與條紋移動數(shù) N 的關(guān)系滿足:d=Nλ/2,λ為入射光波長。工業(yè)園區(qū)本地雙頻激光干涉儀維保
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