激光平面干涉儀是基于菲索干涉原理設計的光學精密計量儀器，主要用于檢測光學元件表面面形精度和光學材料的均勻性 [1] [3-4]。該設備測量精度可達到1/10-1/100波長量級，采用半導體激光器（635nm）作為光源，具有防塵效果好、結構緊湊等特點，適用于光學車間、實驗室等場景的批量檢測 [3-4]。上海乾曜光學科技有限公司與北京海富達科技有限公司均具備相關生產能力，其中G150M、G200M及60-LP等型號產品采用標準化測量口徑設計，可滿足不同使用場景需求 [2-4]。截至2025年，相關企業產品已服務國內外科研院所及工業企業 [2]。邁克爾遜干涉儀：由阿爾伯特·邁克爾遜發明，主要用于測量光的波長、干涉條紋的變化等。吳江區耐用雙頻激光干涉儀單價

8、激光干涉儀的光源——激光，具有**度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。9、激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。1、儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環境中應用。2、在移動儀器時，為防止導軌變形，應托住底座再進行移動。3、儀器的光學零件在不用時，應在清潔干燥的器皿中進行存放，以防止發霉。4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應當小心擦拭，利用科學的方法進行清潔。蘇州本地雙頻激光干涉儀選擇常見的類型包括邁克爾遜干涉儀、法布里-佩涉儀和激光位移傳感器等。

多普勒效應：當測量鏡移動時，測量光的頻率變為f1±Δf，與參考光f2干涉后形成差頻信號|(f1±Δf)-f2|，該信號反映出位移引起的頻率變化。信號檢測：光電探測器將光信號轉為電信號，經電路處理提取差頻變化量，然后通過相位比較或脈沖計數來計算位移。二、主要特點精度高：雙頻激光干涉儀以波長作為標準對被測長度進行度量，即使不做細分也可達到微米（μm）量級，細分后更可達到納米（nm）量級。應用范圍廣：雙頻激光干涉儀可用于長度的精密測量，配上適當的附件還可測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等。

激光的出現在世界計量史上具有重大的意義。用穩頻的氦氖激光器作為光源，由于它的相干長度很大，干涉儀的測量范圍可以**的擴展；而且由于它的光束發散角小，能量集中，因而它產生的干涉條紋可以用光電接收器接收，變為電訊號，并由計數器一個不漏的記錄下來，從而提高了測量速度和測量精度，比如說我國自行設計與制造的以氦氖激光器作為光源的光電光波比長儀，可以在20分鐘之內把1米線紋尺上1001條刻線依次自動鑒定完畢，精度達到±0.2μm，這就是激光干涉儀的成功例證。由于其高精度和高靈敏度，激光干涉儀在科學研究和工業應用中都具有重要的地位。

干涉儀是一種使用干涉測量技術的光學計量儀器，其思想在于利用波的疊加性來獲取波的相位信息，從而獲得實驗所關心的物理量。以下是對干涉儀的詳細介紹：一、基本原理具有固定相位差的兩列準單色波的疊加將導致振幅發生變化，從而可以通過測量較容易測量的振幅來獲取波的相位信息。由于幅度變化依賴于相位差的余弦函數，這種幅度的變化有時候在空間表現為周期性的條紋，即干涉條紋。基本構成干涉儀一般由光源、分束器、反射鏡、干涉屏（或檢測器）等組成。光源發出的光經過分束器被分成兩束，分別經由反射鏡反射回來，并在干涉屏（或檢測器）上產生干涉圖樣。其中，各元件的功能如下：雙頻激光干涉儀是一種利用兩種不同頻率的激光光源進行干涉測量的儀器。高新區耐用雙頻激光干涉儀設備廠家

高精度：雙頻激光干涉儀能夠實現亞納米級別的測量精度，適用于微小位移的檢測。吳江區耐用雙頻激光干涉儀單價

檢驗光學元件泰曼干涉儀被普遍用來檢驗平板、棱鏡和透鏡等光學元件的質量。在泰曼干涉儀的一個光路中放置待檢查的平板或棱鏡，平板或棱鏡的折射率或幾何尺寸的任何不均勻性必將反映到干涉圖樣上。若在光路中放置透鏡，可根據干涉圖樣了解由透鏡造成的波面畸變，從而評估透鏡的波像差。引力波測量干涉儀也可以用于引力波探測(Saulson, 1994) [4]。 激光干涉儀引力波探測器的概念是前蘇聯科學家Gertsenshtein和Pustovoit在1962年提出的（Gertsenshtein和Pustovoit 1962） [5]。 1969年美國科學家Weiss和Forward則分別在1969年即于麻省理工和休斯實驗室建造初步的試驗系統（Weiss 1972） [6]吳江區耐用雙頻激光干涉儀單價

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