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浦東新區巴頓2M4TGTY60分子泵軸承

來源: 發布時間:2025-07-11

高速真空環境下的潤滑是分子泵軸承的技術難點。新巴頓采用油氣混合潤滑技術,通過微量油霧(0.01-0.05ml/h)與壓縮空氣的精確配比,在軸承滾道表面形成納米級潤滑膜,既避免傳統脂潤滑的積碳問題,又將摩擦功耗降低 60%。對于半導體行業的潔凈室需求,公司開發的全氟聚醚(PFPE)潤滑脂,其揮發分低于 0.1%,滿足 ISO 14644-1 Class 5 級潔凈標準,且在 10??Pa 真空度下仍保持穩定潤滑狀態。該潤滑方案使軸承維護周期從傳統的 3 個月延長至 12 個月,大幅降低半導體產線的停機成本。新巴頓分子泵軸承潤滑系統長效設計,減少機械維護頻次與成本。浦東新區巴頓2M4TGTY60分子泵軸承

分子泵軸承

分子泵高速旋轉時產生的陀螺力矩需通過角接觸軸承的接觸角優化來平衡。新巴頓的 7000 系列角接觸軸承采用 15°-40° 接觸角定制設計,當接觸角為 25° 時,可同時承受 3000N 軸向載荷與 1500N 徑向載荷,滿足 15 萬轉 / 分鐘工況下的轉子穩定性要求。通過有限元分析(FEA)優化滾道曲率半徑系數至 1.08 倍球徑,使接觸應力降低 25%,避免邊緣過載導致的疲勞剝落。某半導體刻蝕設備改用該設計后,軸承的 L10 壽命(90% 可靠性壽命)從 3000 小時提升至 8000 小時。崇明區C1904HX205Y113DF分子泵軸承巴頓分子泵軸承:高效節能設計,降低運行成本。

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新巴頓分子泵軸承的材料選擇聚焦機械行業的耐用性需求,采用強度更高的軸承鋼(如 GCr15SiMn)或陶瓷材料(Si?N?)。軸承鋼材質經淬火回火處理,硬度可達 HRC60-65,有效抵抗機械運轉中的交變載荷;陶瓷軸承則具備耐高溫、抗腐蝕特性,適用于半導體行業含腐蝕性氣體的真空環境。以鍍膜機為例,當蒸發源溫度達 500℃以上時,陶瓷軸承的熱穩定性可避免因溫升導致的尺寸變形,維持泵體轉速在 30000rpm 以上的穩定運行。材料表面的涂層處理(如 DLC 類金剛石涂層)進一步降低摩擦系數至 0.001-0.003,使機械能耗減少 15%-20%,契合機械行業節能降耗的發展趨勢。

針對機械行業可能面臨的沖擊工況(如真空泵啟停、機械碰撞),新巴頓分子泵軸承強化了抗沖擊設計。軸承滾道采用大圓角過渡(圓角半徑 R1.5-2.0mm),降低應力集中系數至 1.8 以下;滾子材料選用貝氏體淬火鋼,沖擊韌性≥30J/cm2,可承受 1000G(1G=9.8m/s2)的瞬時沖擊載荷。在包裝機械的真空抓取裝置中,當吸盤突然吸附重物時,軸承的抗沖擊設計可避免滾子斷裂或滾道壓痕,維持機械動作的連續性。通過落錘沖擊試驗(錘頭質量 1kg,落差 1m)測試,軸承在承受沖擊后,徑向游隙變化≤5%,振動頻譜無異常峰值,證明其在機械沖擊工況下的可靠性。巴頓分子泵軸承:嚴格的質量控制,確保產品性能好。

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針對機械行業高速運轉的發熱問題,新巴頓分子泵軸承采用熱傳導優化設計。軸承外圈開設散熱槽(槽深 1-2mm,間距 5-10mm),配合泵體的水冷系統(水溫 20-25℃),可將軸承溫度控制在 80℃以下。在磁懸浮分子泵中,軸承與電機的一體化熱管理設計,使熱量通過金屬殼體快速導出,溫度梯度≤5℃/mm。以真空鍍膜機為例,當連續工作 24 小時后,軸承溫度穩定在 75℃,比傳統設計降低 15℃,避免因熱膨脹導致的間隙變化,維持泵體抽速穩定在 95% 以上的額定值,保障機械加工的連續性。采用精密加工工藝,新巴頓分子泵軸承精度達 P4 級,適配機械精密設備。黃浦區巴頓C105HRRY14分子泵軸承

巴頓分子泵軸承:創新技術,分子泵軸承行業發展。浦東新區巴頓2M4TGTY60分子泵軸承

針對需要在低溫環境運行的機械(如航空航天的低溫泵、液化天然氣設備),新巴頓分子泵軸承具備優異的低溫適應性。采用低溫潤滑脂(如硅基脂,使用溫度 - 60℃至 + 200℃),在 - 40℃時的啟動力矩≤0.1N?m;軸承材料選用耐低溫鋼(如 1Cr18Ni9Ti),在 - 196℃時的沖擊韌性≥100J/cm2,避免冷脆失效。在衛星的真空熱試驗設備中,軸承可在 - 150℃至 + 120℃的溫度循環中穩定運轉,轉速波動≤1%,滿足航天機械對極端溫度環境的嚴苛要求,確保設備在太空環境下的正常工作。浦東新區巴頓2M4TGTY60分子泵軸承

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