立式氧化爐：主要用于在中高溫下，使通入的特定氣體（如 O?、H?、DCE 等）與硅片表面發生氧化反應，生成二氧化硅薄膜，應用于 28nm 及以上的集成電路、先進封裝、功率器件等領域。立式退火爐：在中低溫條件下，通入惰性氣體（如 N?），消除硅片界面處晶格缺陷和晶格損傷，優化硅片界面質量，適用于 8nm 及以上的集成電路、先進封裝、功率器件等。立式合金爐：在低溫條件下，通入惰性或還原性氣體（如 N?、H?），降低硅片表面接觸電阻，增強附著力，用于 28nm 及以上的集成電路、先進封裝、功率器件等。立式爐在制藥領域，嚴格把控溫度工藝。北京立式爐POCL3擴散爐

如今，環保要求日益嚴格，立式爐的環保技術創新成為發展的關鍵。一方面，采用低氮燃燒技術，通過優化燃燒器結構和燃燒過程，降低氮氧化物的生成，減少對大氣環境的污染。一些立式爐配備了脫硝裝置，對燃燒廢氣中的氮氧化物進行進一步處理，使其排放達到環保標準。另一方面，加強對燃燒廢氣中粉塵和顆粒物的處理，采用高效的除塵設備，如布袋除塵器、靜電除塵器等，去除廢氣中的雜質，實現清潔排放。此外，通過余熱回收利用，降低能源消耗，減少溫室氣體排放，實現立式爐的綠色環保運行，符合可持續發展的要求。濰坊一體化立式爐立式爐的智能化技術可實現遠程監控和工藝參數自動優化。

立式爐在節能方面具備明顯優勢。首先，其緊湊的結構設計減少了熱量散失的表面積，相較于一些臥式爐型，能有效降低散熱損失。其次，先進的燃燒器技術能夠實現燃料的充分燃燒，提高能源利用率。通過精確控制燃料與空氣的混合比例，使燃燒過程更加高效，減少不完全燃燒產生的能量浪費。此外，立式爐采用的高效隔熱材料，進一步降低了爐體表面的溫度，減少了熱量向周圍環境的散發。一些新型立式爐還配備了余熱回收系統，將燃燒廢氣中的余熱進行回收利用，用于預熱空氣、水或其他物料，實現能源的二次利用，降低了企業的能源消耗和生產成本。

展望未來，立式爐將朝著智能化、高效化、綠色化的方向發展。在智能化方面，進一步提升自動化操作和遠程監控水平，實現設備的自主診斷和智能維護，提高生產效率和管理水平。在高效化方面，不斷優化設計，提高熱效率和能源利用率，降低生產成本。在綠色化方面，加強環保技術創新，減少污染物排放，實現清潔生產。隨著新材料、新技術的不斷涌現，立式爐還將不斷創新和發展，滿足不同行業對加熱設備的需求，為經濟社會的發展做出更大的貢獻。立式爐的氣體循環系統能精確控制爐內氣氛，滿足特殊工藝需求。

在半導體制造領域，立式爐被大范圍用于晶圓的熱處理工藝，如氧化、擴散和退火。由于半導體材料對溫度和氣氛的敏感性極高，立式爐能夠提供精確的溫度控制和均勻的熱場分布，確保晶圓在高溫處理過程中不受污染。此外，立式爐的多層設計允許同時處理多片晶圓，顯著提高了生產效率。其封閉式結構還能有效防止外界雜質進入，保證半導體材料的高純度。隨著半導體技術的不斷進步，立式爐在晶圓制造中的作用愈發重要，成為確保芯片性能穩定性和可靠性的關鍵設備。立式爐通過自然對流實現熱量均勻分布，提高加熱效率。臺州賽瑞達立式爐

立式爐的快速冷卻系統可滿足快速升降溫的工藝需求。北京立式爐POCL3擴散爐

為確保立式爐長期穩定運行，定期的維護保養至關重要。日常維護包括檢查爐體外觀，查看是否有變形、裂縫等異常情況；檢查燃燒器的噴嘴和點火裝置，確保無堵塞和損壞。每周需對爐管進行無損檢測，查看是否有腐蝕、磨損等問題；檢查隔熱材料的完整性，如有損壞及時更換。每月要對控制系統進行校準和調試，保證溫度、壓力等參數的準確顯示和控制。每季度對風機、泵等輔助設備進行維護保養，更換潤滑油和易損件。每年進行一次整體的檢修，包括對爐體結構、燃燒系統、電氣系統等進行深度檢查和維護，確保設備處于良好運行狀態。北京立式爐POCL3擴散爐