立式爐的基礎結構設計融合了工程力學與熱學原理。其爐膛呈垂直柱狀，這種形狀較大化利用空間，減少占地面積。爐體外殼通常采用強度高的碳鋼，確保在高溫環境下的結構穩定性。內部襯里則選用耐高溫、隔熱性能優良的陶瓷纖維或輕質耐火磚。陶瓷纖維質地輕盈，隔熱效果出眾，能有效減少熱量散失；輕質耐火磚強度高，可承受高溫沖擊，保護爐體不受損壞。燃燒器安裝在爐膛底部，以切線方向噴射火焰，使熱量在爐膛內形成旋轉氣流，均勻分布，避免局部過熱。爐管呈垂直排列，物料自上而下的流動，充分吸收熱量，這種設計保證了物料受熱均勻，提高了加熱效率。立式爐的耐火材料，保障長期穩定運行。徐州立式爐化學氣相沉積

立式爐主要適用于6"、8"、12"晶圓的氧化、合金、退火等工藝。氧化是在中高溫下通入特定氣體（O2/H2/DCE），在硅片表面發生氧化反應，生成二氧化硅薄膜的一種工藝。生成的二氧化硅薄膜可以作為集成電路器件前道的緩沖介質層和柵氧化層等。退火是在中低溫條件下，通入惰性氣體（N2），消除硅片界面處晶格缺陷和晶格損傷，優化硅片界面質量的一種工藝。立式爐通過電加熱器或其他加熱元件對爐膛內的物料進行加熱。由于爐膛管道垂直放置，熱量在爐膛內上升過程中能夠得到更均勻的分布，有助于提高加熱效率和溫度均勻性?。8吋立式爐生產廠商立式爐在光伏行業中用于太陽能電池片的高溫處理。

立式爐溫控系統，多采用智能溫控儀，具備 PID 自整定、可編程等等的功能，能精確控制溫度。可實現自動升溫、保溫、降溫的功能，有的還能設置多段升降溫程序，控溫精度通常可達±1℃。立式爐其他部件：可能包括進料裝置、出料裝置、氣體通入和排出裝置、密封裝置等等。例如一些立式管式爐，上端有密封法蘭，可用于安裝吊環、真空計等，還能將熱電偶伸到樣品表面測量溫度等；有的配備水冷式密封法蘭，與爐管緊密結合，保證爐內氣氛穩定等。

如今，環保要求日益嚴格，立式爐的環保技術創新成為發展的關鍵。一方面，采用低氮燃燒技術，通過優化燃燒器結構和燃燒過程，降低氮氧化物的生成，減少對大氣環境的污染。一些立式爐配備了脫硝裝置，對燃燒廢氣中的氮氧化物進行進一步處理，使其排放達到環保標準。另一方面，加強對燃燒廢氣中粉塵和顆粒物的處理，采用高效的除塵設備，如布袋除塵器、靜電除塵器等，去除廢氣中的雜質，實現清潔排放。此外，通過余熱回收利用，降低能源消耗，減少溫室氣體排放，實現立式爐的綠色環保運行，符合可持續發展的要求。立式爐垂直結構設計，有效節省占地面積。

立式爐的工作原理主要基于熱傳遞過程。燃料在燃燒器中燃燒，產生高溫火焰和煙氣，這些高溫介質將熱量以輻射和對流的方式傳遞給爐膛內的爐管或物料。對于有爐管的立式爐，物料在爐管內流動，通過爐管管壁吸收熱量，實現升溫；對于直接加熱物料的立式爐，物料直接暴露在爐膛內，吸收高溫煙氣和火焰的熱量。在熱傳遞過程中，通過合理控制燃燒器的燃料供應、空氣量以及爐膛的通風情況等參數，能夠精確調節爐膛內的溫度，滿足不同物料和工藝的加熱需求。立式爐通過自然對流實現熱量均勻分布，提高加熱效率。6吋立式爐LTO工藝

自動化裝卸料，提高立式爐生產效率。徐州立式爐化學氣相沉積

立式爐的燃燒系統是其關鍵技術之一。先進的燃燒器采用預混燃燒技術，將燃料與空氣在進入爐膛前充分混合，使燃燒更充分，減少污染物排放。通過精確控制燃料與空氣的比例，可實現低氮燃燒，降低氮氧化物的生成。燃燒器的噴口設計獨特，能夠根據爐膛內的溫度分布和物料加熱需求，靈活調整火焰形狀和長度。例如，在物料初始加熱階段，火焰較短且集中，快速提升溫度；在穩定加熱階段，火焰拉長，覆蓋整個爐膛截面，確保物料受熱均勻。燃燒系統還配備智能控制系統，根據爐內溫度、壓力等參數實時調整燃燒器的工作狀態，保證燃燒過程的穩定與高效。徐州立式爐化學氣相沉積