隨著電子技術的不斷發展,對于精密微小(納米級)的微電子器件,表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生,利用高精度微探針將被測原件的內部訊號引導出來,便于其電性測試設備(不屬于本機器)對此測試、分析。探針臺執行機構由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調節旋鈕,控制固定在針座上的探針桿做三向移動,移動范圍12mm,移動精度可以達到0.7微米。這樣可以把探針很好的點到待測點上(說明探針是耗材,一般客戶自己準備),探針探測到的信號可以通過探針桿上的電纜傳輸到與其連接的測試機上,從而得到電性能的參數。對于重復測試同種器件,多個點位的推薦使用探針臺安裝探卡進行測試。探...
探針臺是檢測芯片的重要設備,在芯片的設計驗證階段,主要工作是檢測芯片設計的功能是否能夠達到芯片的技術指標,在檢測過程中會對芯片樣品逐一檢查,只有通過設計驗證的產品型號才會量產。晶圓測試一般在晶圓廠、封測廠或專門的測試代工廠進行,主要用到的設備為測試機和探針臺。半導體行業向來有“一代設備,一代工藝,一代產品”的說法。半導體設備價值普遍較高,一條先進半導體生產線投資中,設備價值約占總投資規模的75%以上。隨著全球半導體行業市場規模不斷擴大,半導體設備市場也呈增長趨勢。根據SEMI統計,全球半導體設備銷售額從2013年的318億美元增長至2018年的645億美元,年復合增長率約為15.2%,但受到半...
探針臺由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。而定子在加工過程中生產廠家根據不同的設計要求如分辨力等,用機加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽,線槽間的距離即稱為平面電機的齒距,而定子則按不同的細分控制方式,按編制好的運行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實現步進運動。對定子的損傷將直接影響工作臺的步進精度及設備使用壽命,損壞嚴重將造成設備無法使用而報廢。由于平面電機的定子及動子是完全暴露在空氣中,所以潮濕的環境及長時期保養不當將很容易使定子發生銹蝕現象,另外重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷,而影響平面電機的步進精度及使用壽命。探針臺從操作上來區分有:手動,半...
晶圓探針器是用于測試集成電路的機器(自動測試設備)。對于電氣測試,一組稱為探針卡的微觀觸點或探針被固定在適當的位置,同時真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動到電接觸狀態。當一個管芯(或管芯陣列)經過電氣測試后,探針臺將晶片移動到下一個管芯(或管芯),下一個測試就可以開始了。晶圓探針臺通常負責從載具(或盒子)裝載和卸載晶圓,并配備自動模式識別光學器件,能夠以足夠的精度對準晶圓,以確保晶圓上的接觸墊和探針針尖之間的準確對準。測試信號的完整性需要高質量的探針接觸,這與接觸電阻(CRes)直接相關。陜西高溫探針臺要多少錢重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷,而影響平面電機的步進精度及使用壽命,對于...
如何判斷探針卡的好壞:1.可以用扎五點來判斷,即上中下左右,五點是否扎在壓點內,且針跡清楚,又沒出氧化層,針跡圓而不長且不開叉.2.做接觸檢查,每根針與壓點接觸電阻是否小于0.5歐姆.3.通過看實際測試參數來判斷,探針與被測IC沒有接觸好,測試值接近于0。總之,操作工只要了解了探針卡故障的主要原因:1.探針氧化.2.針尖有異物(鋁粉,墨跡,塵埃).3.針尖高度差.4.針尖異常(開裂,折斷,彎曲,破損)。.5.針尖磨平.6.探針卡沒焊好.7.背面有突起物,焊錫線頭.8.操作不當。平時操作時應注意:1.保護好探針卡,卡應放到氮氣柜中.2.做好探針卡的管理工作.3.規范操作,針尖不要碰傷任何東西。同...
如何判斷探針卡的好壞:1.可以用扎五點來判斷,即上中下左右,五點是否扎在壓點內,且針跡清楚,又沒出氧化層,針跡圓而不長且不開叉.2.做接觸檢查,每根針與壓點接觸電阻是否小于0.5歐姆.3.通過看實際測試參數來判斷,探針與被測IC沒有接觸好,測試值接近于0。總之,操作工只要了解了探針卡故障的主要原因:1.探針氧化.2.針尖有異物(鋁粉,墨跡,塵埃).3.針尖高度差.4.針尖異常(開裂,折斷,彎曲,破損)。.5.針尖磨平.6.探針卡沒焊好.7.背面有突起物,焊錫線頭.8.操作不當。平時操作時應注意:1.保護好探針卡,卡應放到氮氣柜中.2.做好探針卡的管理工作.3.規范操作,針尖不要碰傷任何東西。同...
探針臺為研究和工程實驗室在測試運行期間移動通過多個溫度點時,提供前所未有的自動化水平。這種新技術使探針系統能夠感知,學習和反應以多溫度和特征的極其復雜的環境。隨著集成電路產品不斷進入汽車應用等更高發熱量的環境,在越來越寬的溫度范圍內表征器件性能和耐用性變得越來越重要。以前,大多數芯片在兩個溫度點進行晶圓級測試,通常為20?C(室溫)和90?C。現在,該范圍已經擴大到-40?C至125?C,并且可能需要在此范圍內的四個溫度步驟中進行一整套測試。某些情況下需要更普遍的范圍,如-55?C至200?C,晶圓可靠性測試可能要求高達300?C的溫度。一般,信號路徑電阻被用來替代接觸電阻,而且它在眾多情況下...
高性能密閉微暗室有效屏蔽:腔體采用導電的處理工藝,確保了各零件之間的導通狀態從而達到全屏蔽的效果,降低系統噪聲,有效屏蔽外界干擾,并提供低漏電流保護,為微弱電信號測試提供了合理的測試環境;同時也注意零件配合以及裝配的同時,保證內部的密封性。對于一些特殊的器件/晶圓需要在高低溫的情況進行環境的模擬測試,有效地避免了空氣中的水分在樣品上結露或者結霜的存在,通過氣流的特性,填充滿密封腔體內,使腔體里內的氣體露的點進行降低直至到一定的點。上海勤確科技有限公司以“真誠服務,用戶滿意”為服務宗旨。河北直流探針臺生產廠家晶圓測試基本的一點就是:晶圓測試必須能夠辨別芯片的好壞,并使合格芯片繼續進入下面的封裝工...
探針臺可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針尖銳端放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針尖銳端都被設置在正確的位置,就可以對待測物進行測試。對于帶有多個芯片的晶圓,使用者可以抬起壓盤,壓盤將探針頭與芯片分開,然后將工作臺移到下一個芯片上,使用顯微鏡找到精確的位置,壓板降低后下一個芯片可以進行測試。半自動和全自動探針臺系統使用機械化工作臺和機器視覺來自動化這個移動過程,提高了探針臺生產率。晶圓測試一般在晶圓廠、封測廠或專門的測試代工廠進行,主要用到的設備為測試機和探針臺。安徽高溫探針臺一般多少錢通常,參數測試系統將電流或電壓輸入被...
其實,在我們的身邊隨處都可以看到半導體的身影。例如你的電腦、電視,智能手機,亦或是汽車等。半導體像人類大腦一樣,擔當著記憶數據,計算數值的功能。探針臺從操作上來區分有手動,半自動,全自動從功能上來區分有高溫探針臺,低溫探針臺,RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺。一、探針的用途。電流或電壓信號通過探針的傳輸來測試線路板的開路(Open)或短路(Short)I=U/R,如果是開路(Open)電阻=∝:如果是短路(Short)電阻≌0。探針卡焊完后使針尖剛好回到壓點中心,同時針焊好后應檢查針尖的位置,檢查針的牢固性。重慶半自動探針臺探針臺可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測...
手動探針臺:普遍應用于,科研單位研發測試、院校教學操作、企業實驗室芯片失效分析等領域。一般使用于研發測試階段,批量不是很大的情況,大批量的重復測試推薦使用探卡。主要功能:搭配外接測試測半導體參數測試儀、示波器、網分等測試源表,量測半導體器件IVCV脈沖/動態IV等參數。用途:以往如果需要測試電子元器件或系統的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態,測試人員一般會采用表筆去點測。隨著電子技術的不斷發展,對于精密微小(納米級)的微電子器件,表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生,利用高精度微探針將被測原件的內部訊號引導出來,便于其電性測試設備(不屬于本機器)對此測試、...
探針臺是檢測芯片的重要設備,在芯片的設計驗證階段,主要工作是檢測芯片設計的功能是否能夠達到芯片的技術指標,在檢測過程中會對芯片樣品逐一檢查,只有通過設計驗證的產品型號才會量產。晶圓測試一般在晶圓廠、封測廠或專門的測試代工廠進行,主要用到的設備為測試機和探針臺。半導體行業向來有“一代設備,一代工藝,一代產品”的說法。半導體設備價值普遍較高,一條先進半導體生產線投資中,設備價值約占總投資規模的75%以上。隨著全球半導體行業市場規模不斷擴大,半導體設備市場也呈增長趨勢。根據SEMI統計,全球半導體設備銷售額從2013年的318億美元增長至2018年的645億美元,年復合增長率約為15.2%,但受到半...
探針臺工作臺由兩個步進電機分別驅動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動,導向部分采用精密直線滾動導軌。由于運動部分全部采用滾動功能部件,所以具有傳動效率高、摩擦力矩小,使用壽命長等特點。這種結構的工作臺應放置在溫度23±3℃,濕度≤70%,無有害氣體的環境中,滾珠絲杠、直線導軌應定期加精密儀表油,但不可過多,值得指出的是,這種結構的工作臺在裝配過程中,從直線導軌的直線性,上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復性,定位精度等都是用專業的儀器儀表調整,用戶一般情況不能輕易改變,一旦盲目調整后很難恢復到原來的狀態,所以對需要調整的工作臺應有專業生產廠家或經過培訓的專業人員完成。探針臺用于晶圓加工之...
探針臺主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。探針臺分類:探針臺從操作上來區分有:手動,半自動,全自動。從功能上來區分有:溫控探針臺,真空探針臺(低溫探針臺),RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺。經濟手動型根據客戶需求定制:chuck尺寸:4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選);X-Y移動行程:4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選);chuckZ軸方向升降10mm(選項)方便探針與樣品快速分離;顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯...
探針臺的作用是什么?探針臺可以將電探針、光學探針或射頻探針放置在硅晶片上,從而可以與測試儀器/半導體測試系統配合來測試芯片/半導體器件。這些測試可以很簡單,例如連續性或隔離檢查,也可以很復雜,包括微電路的完整功能測試。可以在將晶圓鋸成單個管芯之前或之后進行測試。在晶圓級別的測試允許制造商在生產過程中多次測試芯片器件,這可以提供有關哪些工藝步驟將缺陷引入終端產品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測試管芯,這在封裝成本相對于器件成本高的應用中很重要。探針臺還可以用于研發、產品開發和故障分析應用。上海勤確科技有限公司堅持科學管理規范、完善服務標準。北京探針臺哪家好近來出現的一種選擇是使用同軸射頻電纜...
探針臺市場占有率及行業分析:針對于電學量測分析設備,探針臺則是眾多量測設備之一,探針臺也是不可或缺的一部分,就目前國內探針臺設備的占有率來講,好的型產品主要集中在歐美以及日本品牌,中端設備主要集中在品牌,而對于量測精度而言,產設備具有一定的優勢,我公司探針臺系列產品量測組件均采用歐美品牌設備,所以在量測精度上來講,可以與歐美及日本品牌相媲美,價格適中,應用普遍,并與國內多家高校及研究所合作。這是由于射頻傳輸線和電壓探針之間缺乏阻抗匹配,插入常用電壓探針會使得結果出現很大偏差。探針卡使用一段時間后,由于探針加工及使用過程中的微小差異導致所有探針不能在同一平面上會造成。北京智能探針臺加工廠家晶圓是...
在工藝方面,常用的測試探針是由針頭、針管、彈簧這三個組件構成的,測試探針中的彈簧是測試探針使用壽命的關鍵因素,電鍍處理過的彈簧使用壽命高,不會生銹,也能提高測試探針是持久性和導電性。因此,電鍍工藝是生產半導體測試探針的主要技術,而國內的電鍍工藝尚且有待突破。長期以來,國內探針廠商均處于中低端領域,主要生產PCB測試探針、ICT測試探針等產品。總體來說,只要好的芯片、好的封測廠商才需要用到半導體測試探針,只有國內好的芯片和測試遍地開花,整個產業足夠大,國產配套供應商才能迅速成長起來。探針卡虛焊和布線斷線或短路,測試時都要測不穩。黑龍江溫控探針臺一般多少錢半導體設備的技術壁壘高。隨著半導體行業的迅...
探針卡沒焊到位,是因為焊錫時針受熱要稍微的收縮,使針尖偏離壓點區,而針虛焊和布線斷線或短路,測試時都要測不穩,所以焊針時,應憑自己的經驗,把針尖離壓點中心稍微偏一點,焊完后使針尖剛好回到壓點中心,同時針焊好后應檢查針尖的位置,檢查針的牢固性。技術員平時焊完卡后應注意檢查探針卡的質量如何,把背面的突起物和焊錫線頭剪平,否則要扎傷AL層,造成短路或斷路,而操作工也應在測試裝卡前檢查一下。針尖有鋁粉:測大電流時,針尖上要引起多AL粉,使電流測不穩,所以需要經常用灑精清洗探針并用氮氣吹干,同時測試時邊測邊吹氮氣,以減少針尖上的AL粉。探針尖磨損和污染也會對測試結果造成極大的負面影響。黑龍江直流探針臺多...
滾珠絲杠副和導軌結構x-y工作臺的維護與保養:由于運動部分全部采用滾動功能部件,所以具有傳動效率高、摩擦力矩小,使用壽命長等特點。這種結構的工作臺應放置在溫度23±3℃,濕度≤70%,無有害氣體的環境中,滾珠絲杠、直線導軌應定期加精密儀表油,但不可過多,值得指出的是,這種結構的工作臺在裝配過程中,從直線導軌的直線性,上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復性,定位精度等都是用專業的儀器儀表調整,用戶一般情況不能輕易改變,一旦盲目調整后很難恢復到原來的狀態,所以對需要調整的工作臺應有專業生產廠家或經過培訓的專業人員完成。探針臺可編程承片臺則安裝在動子之上。河北半自動探針臺供應重物的碰撞及堅銳器物...
探針臺概要:晶圓探針臺是在半導體開發和制造過程中用于晶片電氣檢查的設備。在電氣檢查中,通過探針或探針卡向晶片上的各個設備提供來自測量儀器或測試器的測試信號,并返回來自設備的響應信號。在這種情況下,晶片探測器用于輸送晶片并接觸設備上的預定位置。探針臺是檢測芯片的重要設備,在芯片的設計驗證階段,主要工作是檢測芯片設計的功能是否能夠達到芯片的技術指標,在檢測過程中會對芯片樣品逐一檢查,只有通過設計驗證的產品型號才會量產。晶圓測試一般在晶圓廠、封測廠或專門的測試代工廠進行,主要用到的設備為測試機和探針臺。探針臺是半導體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業重要的檢測裝備之一。黑龍江手動探針臺...
從功能上來區分有:高溫探針臺,低溫探針臺,RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺。縱觀國內外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結構的不同可為兩大類,即:平面電機型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導軌結構的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結構差別很大,所以其使用維護保養不可一概而論,應區別對待。晶圓級半自動面內磁場探針臺詳細參數:垂直或面內磁場探針臺,通用...
晶圓是制作硅半導體積體電路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種,然后慢慢拉出,形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經過研磨,拋光,切片后,形成硅晶圓片,也就是晶圓。半導體工業對于晶圓表面缺陷檢測的要求,一般是要求高效準確,能夠捕捉有效缺陷,實現實時檢測。較為普遍的表面檢測技術主要可以分為兩大類:針接觸法和非接觸法,接觸法以針觸法為象征;非接觸法又可以分為原子力法和光學法。在具體使用時,又可以分為成像的和非成像的。某些針尖位置低的扎傷AL層,對后續封裝壓焊有影響。河南磁場探針臺供應探針卡沒焊到位,是因為焊錫時針受熱要稍微的收縮,使針尖偏離壓點區,而針虛焊和布線斷線或短路,測試...
晶圓級半自動面內磁場探針臺詳細參數:垂直或面內磁場探針臺,通用性設計;容納12寸晶圓,且向下兼容8寸、6寸、碎片;兼容4組探針(RF或DC測試);提供Z軸探針平臺快速升降功能,實現高效測試;磁場強度≥330mT;直流探針(4組)或微波探針(4組);XY電控行程±150mm,調節精度2μm;T軸手動調節±5°,小至調節精度5’。晶圓級半自動二維磁場探針臺:詳細參數可對晶圓施加垂直或面內磁場,兼容性設計;容納12寸晶圓,且向下兼容8寸、6寸、碎片;兼容4組探針(RF或DC測試);提供Z軸探針平臺快速升降功能,實現高效測試;磁場強度≥0.7T;直流探針(4組)或微波探針(4組);XY電控行程±150...
探針(探針卡):待測芯片需要測試探針的連接,才能與測試儀器建立連接。常見的有普通DC測試探針、同軸DC測試探針、有源探針和微波探針等。探針頭插入單個探針臂并安裝在操縱器上。探針尖銳端尺寸和材料取決于被探測特征的尺寸和所需的測量類型。探針尖直接接觸被測件,探針臂應與探針尖匹配。探針夾具及電纜組件:探針夾具用于夾持探針、并將探針連接至測量儀器。電纜組件用于轉接、延展探針夾具上的電纜組件。操縱器(定位器):探針臺使用操縱器將探針放置在被測物上,它可以很容易地定位探針并快速固定它們。通常使用磁鐵或真空把它們固定在適當的位置。一旦固定,操縱器可以在X、Y和Z方向上精確定位探針尖銳端,并且在某些情況下提供...
近年來,半導體作為信息產業的基石和兵家必爭之地成為本輪貿易戰的焦點。2019年,中美摩擦、日韓半導體材料爭端對全球半導體產業競爭格局也帶來了較大的影響。在自主可控發展策略指導下、在資本與相關配套政策扶植下,中國大陸正在也必將成為全球半導體產業擴張寶地,未來幾年半導體產能擴充仍將有較大需求。2019年國內半導體設備投資約為923.51億元,國內半導體檢測設備市場規模約為67.43億元。在疫病結束后國內半導體投資將反彈及恢復增長,檢測設備市場規模也將隨之增長,預計2022年將達到103.22億元。負責晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試。江西探針臺生產廠家近來出現的一種選擇是使...
探針治具的校準:我們希望校準過程盡可能的把測試網絡中除DUT外所有的誤差項全部校準掉,當使用探針夾具的方式進行操作有兩種校準方法:1一種方式是直接對著電纜的SMA端面進行校準,然后通過加載探針S2P文檔的方式進行補償;2第二種方法是直接通過探針搭配的校準板在探針的端面進行校準。是要告訴大家如果直接在SMA端面進行校準之后不補償探針頭,而直接進行測量的話會帶來很大的誤差。探針廠商一般都會提供探針的S2P文檔與校準片,校準片如下圖所示,上面有Open、Short、Load及不同負載的微帶線。探針臺從操作上來區分有:手動,半自動,全自動。天津磁場探針臺哪家好探針臺可以將電探針、光學探針或射頻探針放置...
近來出現的一種選擇是使用同軸射頻電纜安裝探針,它結合了探針臺準確性和可重復性的功能以及用探針可及性的功能。這些探針的邊緣類似于探針臺探針夾具——接地-信號-接地(GSG)或者接地-信號(GS)——一端帶有pogo-pin探針,另一端帶有典型的同軸連接器。這些新型探針可以達到40GHz,回波損耗優于10dB。探針的針距范圍在800微米到1500微米之間,這些探針通常使用的終端是3.5毫米母頭或2.92毫米母頭同軸連接器。與探針臺一樣,可以在特定的測試區域中設計一個影響小的焊盤端口,或者可以將探針放置在靠近組件的端子或微帶傳輸線上。隨著探針開始接觸并逐漸深入焊點氧化物和污染物的表層,接觸電阻減小而...
探針臺從操作上來區分有:手動,半自動,全自動。從功能上來區分有:高溫探針臺,低溫探針臺,RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺。縱觀國內外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結構的不同可為兩大類,即:平面電機型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導軌結構的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結構差別很大,所以其使用維護保養不可一概而論,應區別對待。適用于對芯片進行...
全自動探針臺相比手動探針臺和自動探針臺兩種添加了晶圓材料處理搬運單元(MHU)和模式識別(自動對準)。負責晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試。可以24小時連續工作,通常用于芯片量產或有一些特殊要求如處理薄晶圓、封裝基板等。全自動探針臺價格也是遠比手動/半自動探針臺要昂貴。軟件為探針臺系統增加了很多功能,使用者可以通過軟件或機械操縱桿以各種速度向任何方向移動載物臺,程序可以設置映射以匹配器件,可以選擇要檢測的器件。定子是基礎平臺,動子和定子間有一層氣墊,動子浮于氣墊上。黑龍江智能探針臺一般多少錢晶圓探針測試臺是半導體工藝線上的中間測試設備,與測試儀連接后,能自動完成對集成電...
晶圓探針器是用于測試集成電路的機器(自動測試設備)。對于電氣測試,一組稱為探針卡的微觀觸點或探針被固定在適當的位置,同時真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動到電接觸狀態。當一個管芯(或管芯陣列)經過電氣測試后,探針臺將晶片移動到下一個管芯(或管芯),下一個測試就可以開始了。晶圓探針臺通常負責從載具(或盒子)裝載和卸載晶圓,并配備自動模式識別光學器件,能夠以足夠的精度對準晶圓,以確保晶圓上的接觸墊和探針針尖之間的準確對準。自動探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導軌結構的x-y工作臺型自動探針測試臺。河北射頻探針臺價格探針臺可吸附多種規格芯片,并提供多個可調測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成...