濺射鍍膜不良膜層分析，改善方法： 1.白霧主要表現：膜層外觀一層白霧。 原因分析及改善：（白霧可擦拭）：外層膜松散粗糙；出爐溫差大；潮氣吸附；膜層結構不均勻；反應氣體不足/不均勻；外層膜應力大等。     （白霧不可擦拭）：殘留臟污；材腐蝕污染；膜層之間不匹配；反應氣體不足/不均勻；基材受潮污染；真空室臟有水汽；環境溫差大。 2.發蒙主要表現：膜層表面粗糙無光。 原因分析及改善：設備漏氣；反應氣體故障；膜層過厚；偏壓故障；       3.色斑主要表現：局部膜色變異。 原因分析及改善：腐蝕，局部折射率改變；前道工程夾具加工方法痕跡（形狀規則、部位一致、界限分明）； 周轉運輸庫存過程留下痕跡；研磨拋光殘留；多層膜系中，部分膜層過薄；機組微量返油。 4.打火 5.碰擦傷主要表現：劃痕碰傷。 原因分析及改善：劃痕有膜層：鍍前碰擦傷；劃痕無膜層（漏基材）：鍍后碰擦傷。

厚度適中：3mm左右，太厚，消耗部分磁強；太薄，容易變形。合肥Pt靶材圖片

任何本領域技術人員，在不脫離本發明的精神和范圍內，均可作各種更動與修改，因此本發明的保護范圍應當以權利要求所限定的范圍為準。本發明涉及靶材領域，具體涉及一種長壽命靶材組件。背景技術：目前，現有的半導體濺射用ilc1013系列靶材的濺射壽命已經到了一個極限，為提高靶材的使用壽命，節省多次更換靶材的重復性。現有的技術都是通過磁場強度，把靶材表面設計成曲面來延長壽命，公開了一種靶材，包括靶材本體及基體，所述基體的至少一面設有所述靶材本體，所述靶材本體是由高純度靶材合金粉末通過等離子弧噴涂機噴涂熔焊在所述基體上。所述基體與所述靶材本體的結合面為呈內凹的圓弧面。所述基體為矩形體或圓形。所述靶材的制造方法步驟如下：(1)準備合金粉體；(2)準備基體；(3)等離子轉移弧噴涂成型；(4)、清理被噴涂層表面，按照步驟(3)的要求再次噴涂處理，直至獲得要求厚度的靶材。本發明有益效果在于：一是生產的靶材無氣孔殘留；二是生產設備簡單、投資小；三是靶材可以修復再利用。

合肥Pt靶材圖片當濺射靶被化合物全部覆蓋的時候，靶完全中毒，在靶面上沉積一層化合金屬膜。

技術實現要素：本發明解決的問題是提供一種靶材拋光裝置，有助于提高作業效率。為解決上述問題，本發明提供一種靶材拋光裝置，包括：固定板，所述固定板包括頂板和位于所述頂板一側的側板；拋光片，位于所述固定板內側面上，其中位于固定板彎折處的拋光片呈弧狀。可選的，所述拋光片表面與靶材側壁表面及經圓角處理的側棱相匹配。可選的，所述固定板內側面彎折處形成夾角，位于所述固定板彎折處的所述拋光片的厚度不均。可選的，所述固定板內側面彎折處呈弧狀，位于所述固定板彎折處的所述拋光片的厚度均勻。可選的，所述固定板的材料為金屬或合金。可選的，所述拋光片為砂紙。可選的，所述靶材拋光裝置還包括：防護層，所述防護層位于所述固定板與所述拋光片之間。可選的，所述防護層為彈性材料。可選的，所述防護層的材料為***、橡膠或棉花。可選的，所述靶材拋光裝置還包括：把手，所述把手設置于所述固定板的外表面上。可選的，所述把手的數量為兩個，其中一個所述把手設置于所述固定板的頂部，另一個所述把手設置于所述固定板的側壁上。

靶材的比較大厚度為30mm；所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板；所述靶材呈凹形結構；所述靶材包括用于濺射的濺射面；所述濺射面包括***平面、第二平面和斜面；所述斜面與水平面的夾角為8°；所述斜面位于所述***平面和第二平面之間；所述***平面為圓形；所述第二平面為環形；所述靶材的材質包括鈦；所述背板的材質包括銅。所得靶材組件濺射強度好，使得濺射過程中薄膜厚度均勻，使用壽命增加。本實施例提供一種長壽命靶材組件，所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為5.8mm；所述靶材表面的硬度為22hv；其中，所述靶材的比較大厚度為28mm；所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板；所述靶材呈凹形結構；所述靶材包括用于濺射的濺射面；所述濺射面包括***平面、第二平面和斜面；所述斜面與水平面的夾角為3°；所述斜面位于所述***平面和第二平面之間；所述***平面為圓形；所述第二平面為環形；所述靶材的材質包括鉭；所述背板的材質包括銅。壓靶蓋旋的過緊，沒有和靶材之間留下適當的距離，調整距離即可。

靶材的比較大厚度為25mm；所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板；所述靶材呈凹形結構；所述靶材包括用于濺射的濺射面；所述濺射面包括平面、第二平面和斜面；所述斜面與水平面的夾角為5°；所述斜面位于所述平面和第二平面之間；所述平面為圓形；所述第二平面為環形；所述靶材的材質包括鋁；所述背板的材質包括鋁。所得靶材組件濺射強度好，使得濺射過程中薄膜厚度均勻，使用壽命增加。實施例2提供一種長壽命靶材組件，所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為6mm；所述靶材表面的硬度為30hv；其中，所述靶材的比較大厚度為30mm；所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板；所述靶材呈凹形結構；所述靶材包括用于濺射的濺射面；所述濺射面包括***平面、第二平面和斜面；所述斜面與水平面的夾角為8°；所述斜面位于所述***平面和第二平面之間；所述***平面為圓形；所述第二平面為環形；所述靶材的材質包括鈦；所述背板的材質包括銅。導電膠：采用的導電膠要耐高溫，厚度在0.02-0.05um。河南銅靶材

制備過程嚴格控制雜質元素的引入。合肥Pt靶材圖片

真空鍍膜機在塑膠行業的應用  真空鍍膜機應該普遍，在塑料行業的應該也很普遍。而塑膠在生活，工業，電器，航空等領域都有涉及。塑膠具有易成型，價格便宜，質量輕，防腐蝕等優點，但塑膠的缺點也比較突出，其缺點也制約了塑膠的應用范圍，如不美觀、易老化、機械性能差、易碎易變型、耐熱差等。通過真空鍍膜機的應用，使塑膠表面鍍上特定膜層，東莞匯成真空自主研發生產的蒸發真空鍍膜設備將鍍膜機材料和塑膠產呂完美結合，提高了塑膠制品的物理、化學性能。 一、改善表面硬度，原塑膠表面比金屬軟而易受損害，通過真空鍍膜，硬度及耐磨性增加； 二、使塑料表面有導電性； 三、容易清洗，不吸塵； 四、改善塑膠外觀，表面光滑，金屬感強，色澤光鮮，裝飾性提高。

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江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市，是一家專業生產濺射靶材和蒸發材料的公司，濺射靶材充分借鑒國外的先進技術，并通過與國內外知名研發機構合作，整合各行業資源優勢，生產出多系列高品質濺射靶材產品。 公司目前主要生產金屬，合金，陶瓷三大類靶材產品。經過幾年的發展和技術積累，已經擁有：真空熱壓，冷壓燒結，真空熔煉，熱等靜壓，等離子噴涂等技術。另外也可根據客戶要求研發新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業提供高品質的靶材：平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業領域。同時也為國內外各大院校和研究所提供了很多常規和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺，冷壓燒結爐一臺，真空熔煉設備兩臺，等靜壓設備一臺，等離子噴涂兩套，綁定平臺兩套，各類機加工設備七臺，檢驗設備若干，確保出廠的每件產品都能達到甚至超過客戶的預期。 江陰典譽秉承：“一切以客戶的需求為導向，客戶的所有需求一次做好。”的發展理念。